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[发明专利]基板烘烤装置-CN201611117363.9在审
发明人：王文杰;王丽;黄书同;王浩;徐陈林 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-12-07 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板烘烤装置，包括顶面开口的加热室、盖设于所述加热室顶部的盖板、设于所述加热室内的加热器以及设于所述加热器上方的热板，所述盖板内表面可拆卸地固定有与所述热板间隔设置的中间盖板。本发明通过在基板烘烤装置的盖板内表面设有中间盖板，基板加热后挥发产生的光阻凝结物不会凝结在盖板内表面，当光阻凝结物达到一定程度需要清洁时，只需要拆下中间盖板进行清洗或更换即可，快捷方便。
烘烤装置

[发明专利]一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法-CN201510355093.4在审
发明人：石旭;徐志龙;刘军;王小军;李冬青;黄书同;陈伟;张磊 -专利权人：合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2015-06-24 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及显示器设计制造技术领域，尤其涉及一种用于离线真空吸附玻璃基板的承载机构和基板传送方法。本发明提供的用于离线真空吸附基板的承载机构，在设有夹持器的承载框上设置真空吸附装置和分离装置，先通过夹持器对基板进行初步的固定，再通过真空吸附装置对基板进一步的固定，解决了单独使用夹持机构对基板固定时，基板在直立运输过程中存在晃动脱落的隐患的问题；同时，还设置了分离装置，分离装置能够将真空吸附装置和用于对真空吸附装置提供形成真空条件的真空管分开，同时在真空管与真空吸附装置分开后，真空吸附装置能够持续对基板进行吸附，实现离线吸附功能，可避免因真空管的长度而限制影响基板的传送。
一种用于离线真空吸附承载机构传送方法

[发明专利]用于运输基板中卡匣的传动系统-CN201410718271.0在审
发明人：石旭;徐志龙;李芳明;陈伟;黄书同;王小军 -专利权人：合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2014-12-01 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明公开一种用于运输基板中卡匣的传动系统，涉及基板运输技术领域，为解决现有技术中玻璃基板运输过程中卡匣容易发生左右偏移的问题而发明。该用于运输基板中卡匣的传动系统，包括传动装置，传动装置包括驱动单元，驱动单元与驱动轴的一端固定连接，用于驱动驱动轴转动；两个导向块固设在驱动轴上，导向块的端面上设有限位凸起；当传动系统运输基板时，卡匣位于两个导向块上，且卡匣的左右边框均抵靠两个限位凸起。本发明用于玻璃基板运输中的卡匣。
用于运输基板中卡匣传动系统