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- [实用新型]一种用于真空隔断的阀门-CN202321093781.4有效
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李长栋;魏承亚;魏俊杰;高峰;姜甸超
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山东沐东真空科技有限公司
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2023-05-09
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2023-10-13
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F16K31/122
- 本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，提出一种用于真空隔断的阀门，包括带阀口的阀体和带活塞杆的气缸，气缸的活动端设置有位于阀体内部的活塞杆，活塞杆的端部设置有连接头，阀体包括主腔和与主腔连通的侧腔，连接头的端部设置有中轴，中轴的两侧均设置有一对阀传动板，中轴与阀传动板通过带轴头的连杆连接，阀传动板朝向阀口的一侧设置有密封板，密封板沿侧腔和主腔长度方向活动且与两个阀口的中心线方向互相垂直，密封板朝向阀口的一侧设置有多个滚珠，密封板的两侧设置有沉槽，沉槽中设置有压簧柱，压簧柱与阀体的内端面活动接触。本装置设计合理、结构简单、驱动效率较好、密封效果较好且使用寿命较长，适合大规模推广。
- 一种用于真空隔断阀门
- [实用新型]一种用于免水冷的蒸发电极-CN202321093828.7有效
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李长栋;魏承亚;魏俊杰;高峰;姜甸超
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山东沐东真空科技有限公司
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2023-05-09
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2023-09-15
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C23C14/24
- 本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，提出一种用于免水冷的蒸发电极，包括安装法兰，所述安装法兰上设置有至少一对接线柱，接线柱与安装法兰的安装节点位置设置有绝缘件，接线柱之间设置有蒸发舟，安装法兰上还设置有用来通入反应气体的进气管，接线柱包括带轴肩的中心电极部，中心电极部上设置有一对铜压板，铜压板与另一个接线柱上的铜压板用来连接蒸发舟并令蒸发舟保持水平，轴肩与设置在绝缘件上的沉头口配合，绝缘件包括中空的T形隔垫，T形隔垫的顶部和底部分布设置有压盖和绝缘垫，压盖和绝缘垫分别位于安装法兰的上方和下方。本装置设计合理、结构简单、有利于节约成本、蒸发效果较好且使用寿命较长，适合大规模推广。
- 一种用于水冷蒸发电极
- [实用新型]一种真空蒸发结晶装置-CN202022045447.4有效
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李长栋;魏承亚;魏俊杰
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山东沐东真空科技有限公司
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2020-09-17
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2021-08-06
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B01D9/02
- 本实用新型公开了一种真空蒸发结晶装置，包括蒸发皿、密封盖和蒸发盘，所述蒸发皿的上表面活动连接有密封盖，所述密封盖的上端固定连接有提手，所述提手的一侧设置有抽取阀，所述抽取阀的上表面固定连接有弯管，所述蒸发皿的内部活动连接有转轴，所述转轴的数量为两个，两个所述转轴的一端均固定连接有蒸发盘。本实用新型通过蒸发坡的设置，在液体减少时能够汇聚液体，增加液体浓度，在液体减少后，能够通过调整转轴旋转，将结晶盘偏移旋转，将液体旋转，增加液体的表面积，方便蒸发结晶，通过转杆和限位杆的配合设置，能够限制转轴和结晶盘的旋转，避免结晶盘倾覆，方便液体结晶，加快结晶速度，工作效率高，省时省力。
- 一种真空蒸发结晶装置
- [实用新型]一种用于真空镀膜机的支架-CN202022045455.9有效
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李长栋;魏承亚;魏俊杰
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山东沐东真空科技有限公司
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2020-09-17
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2021-06-29
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的支架，包括安装台和底座，所述安装台的下端固定连接壳体，所述安装台的内壁设置有夹紧板，所述夹紧板的一侧固定连接有保护垫，所述夹紧板的下端固定连接有滑块，所述安装台的内部连接有防滑垫，所述螺纹杆的外表面螺纹连接有移动块，所述壳体的一侧固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端与螺纹杆固定连接。该用于真空镀膜机的支架，工作人员将真空镀膜机安装在支架上时，通过第一电机带动螺纹杆进行转动，通过移动块带动夹紧板进行对真空镀膜机进行加紧，保证了真空镀膜机的稳定性，避免在移动时，造成晃动，容易造成事故，对工作人员造成生命安全，起到了保护作用。
- 一种用于真空镀膜支架
- [实用新型]一种耐高温转盘用摆放装置-CN202022042700.0有效
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李长栋;魏承亚;魏茂奎
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山东沐东真空科技有限公司
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2020-09-17
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2021-06-22
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B25H3/06
- 本实用新型公开了一种耐高温转盘用摆放装置，包括箱体、底箱和摆放盒，所述底箱的内部嵌入安装有伸缩杆，所述底箱的上端面中间处固定有导入盒，所述导入盒的上端面开设有凹槽，且凹槽通过转轴等距转动安装有转轮，所述伸缩杆的上端位于凹槽内，所述箱体固定在底箱的上端面，且导入盒位于箱体内部底端，所述箱体的两侧均固定有限位框，所述摆放盒位于箱体内，所述摆放盒的两侧均固定有限位块，且限位块滑动安装在限位框内，所述箱体的两侧均阵列转动安装有转动套，且转动套内螺纹安装有螺柱，所述箱体的后端面上侧固定有把手，所述箱体的上端面后侧嵌入安装有控制面板。本实用新型具备防护性强，减小占地面积和便于拿取存放的优点。
- 一种耐高温转盘摆放装置
- [实用新型]一种真空镀膜机用清洁装置-CN202022042669.0有效
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李长栋;魏承亚;魏俊杰
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山东沐东真空科技有限公司
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2020-09-17
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2021-06-01
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C23C14/56
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机用清洁装置，包括真空镀膜机主体、固定板、电机、密封塞和密封盖，所述真空镀膜机主体的下端面环形阵列固定有支撑块，且支撑块共设有四个，所述真空镀膜机主体的一侧下端开设有通孔，所述密封塞活动安装在通孔的内部，所述固定板的下端面外侧固定有限位槽，所述固定板通过限位槽活动安装在真空镀膜机主体的上端，所述固定板的中间处固定有轴承，所述电机固定在固定板的上端面中间处，所述电机的下端中间处活动安装有转动杆，所述转动杆的下端延伸至真空镀膜机主体的内部，所述转动杆位于真空镀膜机主体内部的一端固定有毛刷。本实用新型方便了对真空镀膜机进行清洗，有利于对真空镀膜机进行使用的优点。
- 一种真空镀膜清洁装置
- [实用新型]一种用于真空蒸发设备的散热装置-CN202022042677.5有效
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李长栋;魏承亚;魏俊杰
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山东沐东真空科技有限公司
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2020-09-17
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2021-06-01
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C23C14/24
- 本实用新型公开了一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座和散热壳体，所述底座的上表面固定安装有散热壳体，所述散热壳体的内壁固定连接有散热鳍片，所述散热壳体的内底壁固定安装有冷却风扇，所述散热壳体的内部设置有S型冷凝管，所述S型冷凝管的一端固定连接有倒流管。本实用新型通过S型冷凝管缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温，通过散热鳍片将热量吸取进一步进行散热，通过通风支撑板对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温，通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率，避免真空腔体内部温度过高，导致真空腔体内部的机械结构发生形变，进一步提高产品质量。
- 一种用于真空蒸发设备散热装置
- [实用新型]一种真空蒸发镀膜装置-CN202022042689.8有效
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李长栋;魏承亚;魏俊杰
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山东沐东真空科技有限公司
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2020-09-17
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2021-06-01
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C23C14/24
- 本实用新型公开了一种真空蒸发镀膜装置，包括壳体和蒸发室，壳体的内底壁与蒸发室固定连接，蒸发室内部设置有加热设备，蒸发室的顶端开设有投射孔，壳体的内侧壁固定连接有固定板，固定板的一侧固定连接有齿条，齿条的表面啮合有齿轮，齿轮的内壁固定连接有电机，电机的两端转动连接有活动块，活动块远离固定板的一端固定连接有基板。本实用新型在镀膜完成后，冷气管通过电子阀向壳体内输入冷气进行降温，因外界的气压大于内部，通过单向阀防止外界的空气进入，当内部的气压大于外界时，内部的气体通过单向阀向外排气，同时温度检测仪检测排出气体的温度，当排出气体温度低于外界温度时，停止散热，达到提高散热效果的目的。
- 一种真空蒸发镀膜装置
- [实用新型]一种磁控溅射设备的换样片装置-CN202022042715.7有效
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李长栋;魏承亚;魏茂奎
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山东沐东真空科技有限公司
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2020-09-17
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2021-06-01
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种磁控溅射设备的换样片装置，包括设备主体，设备主体的内侧壁固定连接第一伸缩杆，移动板的一侧固定连接有压力板，设备主体的正面活动连接有拉门，支架的一端固定连接有放置架，放置架的一侧活动连接有样片主体，样片主体的一侧活动连接有卡板，卡板的一侧固定连接有第一弹簧，第一弹簧的一侧固定连接有第一固定板，第一固定杆的一侧活动连接有第二固定杆，第二固定杆的内部活动连接有限位杆，限位杆的一侧固定连接有第二弹簧。本实用新型通过第二弹簧的设置，能够使工人能够对设备的样片进行更换，使工人工作更加轻松便捷，通过第一弹簧的设置，能够使提高设备固定的牢固性，防止出现样片滑落的情况。
- 一种磁控溅射设备样片装置
- [实用新型]一种冷壁法CVD沉积装置-CN202022042738.8有效
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李长栋;魏承亚;魏茂奎
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山东沐东真空科技有限公司
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2020-09-17
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2021-06-01
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C23C16/458
- 本实用新型公开了一种冷壁法CVD沉积装置，包括底座、沉积管、马达和弹性块，所述底座的底表面固定安装有沉积箱，沉积箱的顶端内部贯穿安装有沉积管，所述沉积管的内部中间固定安装有轴座，轴座中间设有框架，且框架通过轴杆转动安装在轴座的中间，所述框架的内部开设有嵌口，嵌口的内部一侧开设有第二凹口，嵌口的内部另一侧设有第一凹口，第一凹口开设在抵板的内部。本实用新型在沉积管的内部中间固定安装了一个可翻转的框架，将需要加工的晶片嵌入固定在框架内部，在沉积加工晶片一面后工作人员可控制马达转动框架使其晶片另一面可被加工，达到了方便工作人员使用以及节省时力和材料的效果。
- 一种冷壁法cvd沉积装置
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