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[发明专利]一种治具-CN202110768871.8有效
发明人： 魏中阳 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开是关于一种治具，所述治具为半导体刻蚀机用治具，所述治具包括：支撑机构，用于设置在所述半导体刻蚀机的静电卡盘的外侧底座上；清洁机构，可转动地设置在所述支撑机构上；至少一个清洁单元，设置在所述清洁机构上。本公开提供的技术方案应用于半导体刻蚀机中，能够代替人工操作，减少人员配备，解决人工操作导致的不统一性和不均衡性，还可以解决由于人工操作不当而造成的零部件损坏的问题，大大降低零部件损坏风险，减少更新零部件带来的费用增加，降低生产成本，同时，减少设备停机时间，提高设备的正常运行时长，提高产能。
一种

[实用新型]一种滴漏式移动花盆浇水装置-CN201720185933.1有效
发明人：胡船森;范磊;严露;许凯莉;魏中阳;凌孟玲 -专利权人：皖西学院
申请日： 2017-02-28 - 公布日： 2017-09-22 - 主分类号： A01G27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种滴漏式移动花盆浇水装置，包括盛水装置、喷洒装置、喷洒引流装置和多个伸缩自锁万向轮支撑装置；所述盛水装置包括过滤层、麦饭石层、盛水器空槽、推动扶手和外壁固定适配撑圈；所述喷洒装置包括阀门、渗漏滴水咀、小挂钩、喷洒器和喷洒器外壳；所述喷洒引流装置包括密排管道、魔术贴、挂环和引流外框；所述伸缩自锁万向轮支撑架装置包括螺母、伸缩架、万向轮和自锁扳手。该滴漏式移动花盆浇水装置设计合理，采用滴漏的形式浇水，节约水资源，可有效杜绝花盆中植物因浇水过量而导致的烂根现象；引流装置具有防溅洒功能，能够在浇水的时候避免水分外流，且能够积聚水分于花盆内部。
一种滴漏移动花盆浇水装置