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[发明专利]真空泵、真空泵的控制装置及远程控制装置-CN202280017568.7在审
发明人：桥本正幸;大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供能够使用户、现场服务的工程师的作业负担减轻的真空泵、真空泵的控制装置及远程控制装置。真空泵(10)具备：涡轮分子泵(100)，将半导体制造装置(X)的内部的气体排出；以及控制装置(200)，进行对于涡轮分子泵(100)的控制。控制装置(200)具备远程信号接收机构，所述远程信号接收机构从对涡轮分子泵(100)进行远程控制的远程控制装置(300)接收指令信号，控制装置(200)基于远程信号接收机构接收到的指令信号，将与涡轮分子泵(100)的运转规格有关的设定变更。
真空泵控制装置远程

[发明专利]真空泵-CN201910604028.9有效
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2019-07-05 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： F04D27/00 文献下载
摘要：提供适合用于准确判断泵维护的必要性的真空泵。通过旋转体（2）的旋转将气体抽吸来排出的真空泵（P1）具备用于旋转体（2）的温度调整的温度调整零件（30）、控制温度调整零件（30）的控制机构（31）、以时间数列取得控制机构（31）的温度调整零件（30）的控制状态的取得机构（32）、通过监视由取得机构（32）取得的控制状态的时间数列的变化来推定泵内产物的堆积量从而判定泵维护时期的判定机构（33）。
真空泵

[发明专利]真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座部-CN201980049391.7有效
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2019-08-02 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供做成即使将制造时的尺寸公差放松一些也能够确保间隔件的一定的定位精度、且能够降低真空泵的制造成本的构造的真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座部。一种真空泵，在壳体内具备气体移送机构，所述壳体具有用来将气体从外部吸入的气体吸气口和用来将被吸入的气体向外部排出的气体排气口，所述气体移送机构具有在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片，所述真空泵具备：多个间隔件，被层积而将固定叶片在轴向上定位，呈环状；壳体，具有将被层积的多个间隔件的外周包围而配置的圆筒部和被安装于圆筒部的下部处的底座；以及上部径向定位部及下部径向定位部，分别设置在圆筒部内的上下两个位置，将被层积的间隔件的至少最上层的间隔件和最下层的间隔件同轴地保持。
真空泵以及使用圆筒底座

[发明专利]真空排气装置以及用于该真空排气装置的真空泵-CN202080081238.5在审
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种能够高精度且高速地控制被排气室内的压力的真空排气装置以及用于其的真空泵。具有：真空泵（1），具备通过旋转而将被排气室（4）的内部排气的转子、具有吸气口的壳体；阀（2），配置在真空泵（1）的吸气口与被排气室的排气口之间；控制装置（3），将被排气室（4）的内部的压力控制为与目标值一致。控制装置（3）中，在被排气室（4）的内部的压力与目标值的差的绝对值大于既定值时调整阀（2）的开度，在被排气室（4）的内部的压力与目标值的差的绝对值小于既定值时调整真空泵（1）的转子的旋转速度。
真空排气装置以及用于真空泵

[发明专利]真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法-CN201711103957.9有效
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2017-11-10 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法，其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化，高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化，从而减少反应生成物的堆积。旋转体（4）具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体（4A）与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体（4B），构成为在第2圆筒体（4B）的外周面上以多级配置有多个动翼（6），由第1圆筒体（4A）的内表面（S1）与第2圆筒体（4B）的内表面（S2）构成的圆筒内表面的至少一部分以及第1圆筒体（4A）的外表面（Q1）构成为放射率比动翼（6）的外表面小的低放射率部。
真空泵旋转体和静及其制造方法

[发明专利]真空泵和真空泵的控制装置-CN201980024000.6有效
发明人：深美英夫;大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2019-03-20 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：课题是提供一种即使在低速旋转的状态下也能够在不追加专用的旋转方向传感器的情况下求取旋转方向来进行旋转方向的修正的真空泵。解决方案是，至少可变为使转子轴21进行相对高速的自转的第一状态、以及使转子轴21一边在与保护轴承36之间的间隙H的范围内偏倚公转一边进行相对低速的自转的第二状态，取得径向方向位移传感器的输出信息，在第二状态下求取基于输出信息的转子轴21的旋转方向，判定旋转方向是否正常，在旋转方向不正常的情况下，停止旋转，使旋转速度向正常的旋转方向上升。
真空泵控制装置

[发明专利]真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法-CN202210043587.9在审
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2017-11-10 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法，其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化，高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化，从而减少反应生成物的堆积。旋转体（4）具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体（4A）与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体（4B），构成为在第2圆筒体（4B）的外周面上以多级配置有多个动翼（6），由第1圆筒体（4A）的内表面（S1）与第2圆筒体（4B）的内表面（S2）构成的圆筒内表面的至少一部分以及第1圆筒体（4A）的外表面（Q1）构成为放射率比动翼（6）的外表面小的低放射率部。
真空泵旋转体和静及其制造方法

[发明专利]真空泵、转子及垫圈-CN202080046700.8在审
发明人：横塚克久;大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2020-07-03 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供能够减小转子的振动的真空泵及垫圈、以及能够减小振动的转子。当作为绕z轴的惯性力矩与绕x轴或y轴的惯性力矩的比的惯性力矩比大于1时，固有振动频率ω2不会与旋转频率Ωz一致而是远离。如果固有振动频率ω2与旋转频率Ωz一致，则转子振动，进而发生旋转叶片的疲劳破坏。在将转子在旋转轴的半径方向上增大的情况下，将惯性力矩比的值设为大于1的值。
真空泵转子垫圈

[发明专利]真空泵和其螺纹槽泵部的固定零件-CN202080034045.4在审
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉;山口俊树 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供一种适合于防止从真空泵向真空腔室侧的粒子的倒流的真空泵。真空泵（P1）具备：涡轮分子泵部（PT），借助旋转叶片（7）和固定叶片（8）将气体分子排气；以及螺纹槽泵部（PS），设在比涡轮分子部靠下游，并且借助由圆筒状的旋转零件（圆筒部（6））和设在其外周的圆筒状的固定零件（螺纹槽泵部定子（9））形成的螺纹槽流路（R）将气体分子排气；在比涡轮分子泵部靠下游，设有防止从螺纹槽泵部向涡轮分子泵部的方向的粒子的弹回的防反弹机构（J）。
真空泵螺纹槽泵部固定零件

[发明专利]真空泵-CN202110464425.8在审
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供了能够在不受噪声或短周期的负载变动所影响的情况下判定泵内部的反应生成物的堆积、并能够促进与其判定结果对应的适当应对的真空泵。检测值31通过低通滤波器33，被A/D转换器35数字变换，之后，输入到对比部37。在对比部37中，与阈值39对比。阈值39例如根据生成物的量而具有HH水平、H水平、L水平这3阶段的值。然后，在所输入的检测值信号为该HH水平以上的情况下，由堆积物运算部27输出泵停止信号41。另一方面，在所输入的信号为该HH水平不足且H水平以上的情况下，由堆积物运算部27输出H水平警报信号43。此外，在所输入的信号为该H水平不足且L水平以上的情况下，由堆积物运算部27输出L水平警报信号45。
真空泵

[发明专利]真空泵及用于真空泵的密封部件-CN202080020392.1在审
发明人： 高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2020-03-13 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本发明提供零件个数少而密封性优异的真空泵。前述真空泵具备朝向吸气侧壳（14a）的中心设置的多个定子翼（19）、被内包于吸气侧壳（14a）而被旋转自如地支承的转子轴（21）、放射状地设置于转子轴（21）的周围的多个转子翼（20）、使转子轴（21）旋转的马达（16）、环状的密封部件（41），前述密封部件（41）承受由吸气侧壳（14a）和排气侧壳（14b）沿厚度方向夹紧的力而弹性变形，保持吸气侧壳（14a）和排气侧壳（14b）之间的气密性。密封部件在其截面具有在外周部被凹陷状地形成的变形促进部和将力在接近变形促进部的偏心位置承受的密封部。
真空泵用于密封部件

[发明专利]真空泵及被用于其中的转子及定子-CN201611217564.6有效
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供一种确保转子翼的强度并且抑制转子及定子的破损的真空泵及被用于其中的转子及定子。真空泵（1）具备转子（20）和定子（70），前述转子（20）具备转子翼（23），前述转子翼（23）经由圆环部（22）被连接于转子轴（21），前述定子（70）形成有被配设于转子翼（23）间的定子翼（72）。圆环部（22）遍及转子径向（R）形成为大致等厚。定子（70）在由于转子轴向（A）的挠曲变形而与转子（20）接触时，与圆环部（22）接触。
真空泵用于中的转子定子

[发明专利]真空泵-CN202080017949.6在审
发明人：江野泽秀树;野中学;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2020-03-09 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供一种适于确保包含多个旋转叶片以及粒子输送部的旋转体整体的平衡并且防止从真空泵向真空腔室侧的粒子的回流的真空泵。真空泵（P1）在从吸气口到排气口之间具备将气体分子进行排气的多个排气段（PT）、将粒子向气体分子的排气方向输送的粒子输送部（PN），粒子输送部为，通过在构成最上段的排气段的多个旋转叶片（7）中将至少一部分的上游端的高度增高或降低而作为最上段的排气段整体成为上游端的高度不同的阶差结构，从而作为将粒子向气体分子的排气方向输送的机构而起作用，由多个旋转叶片以及粒子输送部、支承该多个旋转叶片的圆筒部（6）构成的旋转体（R）为，针对该旋转体整体，修正由于前述阶差结构而上游端的高度变得比其他的旋转叶片高的旋转叶片的存在而产生的不平衡。
真空泵

[发明专利]真空泵及用于真空泵的连接端口-CN202080010208.5在审
发明人： 高阿田勉;时永伟 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2020-01-27 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：提供在不使排气性能下降的情况下能够小型化的真空泵及用于真空泵的连接端口。将真空泵（1）和辅助泵连接的排气端口（14）具备能够与真空泵（1）连接的卵圆状的第1开口（14a）和能够与辅助泵连接的圆形形状的第2开口（14b），在真空泵（1）的轴向方向上，第1开口（14a）的径向尺寸被设定成比第2开口（14b）的径向尺寸小。
真空泵用于连接端口

[发明专利]真空泵及在其中使用的分割静翼部-CN201611139867.0有效
发明人：大立好伸;前岛靖;高阿田勉 -专利权人：埃地沃兹日本有限公司
申请日： 2016-12-12 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： F04D29/54 文献下载
摘要：本发明提供一种能够有效地防止分割静翼部的抵接不良、适于得到良好的排气性能的真空泵。真空泵具备涡轮分子泵部，所述涡轮分子泵部具有静翼部和旋转的动翼部，由前述动翼部和前述静翼部将气体排出，所述静翼部通过将在圆周方向上形成的至少一个轮缘和具有与该轮缘一体地形成的多个叶片的多个分割静翼部（11A、11B）相互在圆周方向端部（12a、12a）上抵接而构成为环状；在至少一个前述分割静翼部的圆周方向端部，具有防止与其他的前述分割静翼部的圆周方向端部的抵接不良的抵接不良防止构造。
真空泵其中使用分割静翼部

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