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[发明专利]半导体工艺监控方法及装置-CN201911052705.7有效
发明人： 马学猛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺监控方法及装置，该方法包括：在当前工艺步骤开始之前，启用监控线程；在所述当前工艺步骤开始执行后，通过所述监控线程，在第一预设时长内每隔一预设时间段采集一工艺参数值，直至所述第一预设时长结束；统计所述工艺参数值的总量，判断所述工艺参数值的总量中异常参数值所占的比例是否大于预设阈值；如果是，则发出报警，并禁用所述监控线程。通过本发明，提高了设备的安全性。
半导体工艺监控方法装置

[发明专利]暖机控制方法、暖机控制系统和半导体处理设备-CN202110097983.5有效
发明人： 马学猛;黄蓉 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明提供一种暖机控制方法、暖机控制系统和半导体处理设备，该暖机控制方法用于半导体处理设备中，该半导体处理设备包括用于进行半导体工艺的工艺腔室，暖机控制方法包括：获取工艺腔室的当前空闲时长；根据预先配置的暖机配方中的暖机时长与空闲时长的对应关系，获得与当前空闲时长对应的当前暖机时长；将暖机配方中的暖机时长设定为当前暖机时长；执行设定后的暖机配方，对工艺腔室进行暖机工艺。本发明提供的暖机控制方法、暖机控制系统和半导体处理设备的技术方案，可以减少暖机时间的浪费，提高腔室恢复效率，从而可以提高产能。
控制方法控制系统半导体处理设备

[实用新型]一种紧凑型余隙无级调节气量执行机构-CN202120432832.6有效
发明人：顾兴坤;曲延鹏;赵兴华;马学猛;顾晓伟 -专利权人：山东易阳技术服务有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： F04B49/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种往复式压缩机气量调节系统，尤其涉及一种紧凑型余隙无级调节气量执行机构。包括：壳体，所述壳体内设有活塞，所述活塞与壳体之间滑动密封连接，所述活塞内部设有柱形空腔，壳体的敞口侧与活塞端面之间形成余隙腔，余隙腔的容积随活塞的位置变化而无级调节；导向隔板，所述导向隔板将活塞内部的柱形空腔分为液压工作腔I和液压工作腔Ⅱ两部分，所述导向隔板与活塞之间滑动密封连接，所述导向隔板与壳体固定相连，液压油经两条过流通道分别进入液压工作腔I和液压工作腔Ⅱ以驱动活塞相对于导向隔板运动或锁定。该执行机构安全可靠、结构紧凑、运动部件少、维修方便，尤其适用于安装空间受限的往复式压缩机余隙无级调节系统。
一种紧凑型无级调节气量执行机构

[发明专利]一种紧凑型余隙无级调节气量执行机构-CN202110215995.3在审
发明人：顾兴坤;曲延鹏;赵兴华;马学猛;顾晓伟 -专利权人：山东易阳技术服务有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： F04B49/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种往复式压缩机气量调节系统，尤其涉及一种紧凑型余隙无级调节气量执行机构。包括：壳体，所述壳体内设有活塞，所述活塞与壳体之间滑动密封连接，所述活塞内部设有柱形空腔，壳体的敞口侧与活塞端面之间形成余隙腔，余隙腔的容积随活塞的位置变化而无级调节；导向隔板，所述导向隔板将活塞内部的柱形空腔分为液压工作腔I和液压工作腔Ⅱ两部分，所述导向隔板与活塞之间滑动密封连接，所述导向隔板与壳体固定相连，液压油经两条过流通道分别进入液压工作腔I和液压工作腔Ⅱ以驱动活塞相对于导向隔板运动或锁定。该执行机构安全可靠、结构紧凑、运动部件少、维修方便，尤其适用于安装空间受限的往复式压缩机余隙无级调节系统。
一种紧凑型无级调节气量执行机构

[实用新型]一种挤压式尾矿干排机-CN201420135947.9有效
发明人：李秀;尹占军;罗向东;俞树孝;梁爽;马学猛 -专利权人：丰宁满族自治县汇江矿山机械制造有限责任公司
申请日： 2014-03-25 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： B01D33/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及矿山机械技术领域，尤其涉及一种挤压式尾矿干排机。挤压式尾矿干排机，包括用于传送尾矿和对尾矿进行挤压的上层传送带和下层传送带，其中，所述上层传送带和下层传送带之间的间距在沿两者传送方向上的间距逐渐减小。即该干排机通过上层传送带和下层传送带之间挤压空间呈梯形设置，尾矿在上层传送带和下层传送带之间传送过程中挤压力连续增大，最后排出干堆料，并将沥出水进行回收利用。同时该挤压式尾矿干排机能耗低、产量大、操作简单、环保耐用、可广泛应用于各种尾矿干排处理的挤压式尾矿干排机。
一种挤压尾矿干排机