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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]清洁体结构-CN202122925926.X有效
发明人： 顾致安;庄子彦;赵宏杰;张富强;蔡明瑾 -专利权人：东安开发股份有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： B08B1/04 文献下载
摘要：一种清洁体结构，包括载体以及清洁单元所构成，该清洁单元由数个清洁豆分别定位排列于该载体的表面上，该些清洁豆为梯形柱状体，具有一个与该载体表面平行的第一端面、及二个面向该载体圆周方向并间隔在二清洁豆之间的倾斜平面，该清洁豆的第一端面与该载体表面间的距离为6.5 mm±10%，而两侧该倾斜平面间的夹角为50°±10%，当清洁豆初始接触晶圆时，先由一侧该倾斜平面开始变形接触，令该清洁豆与该晶圆初始接触到离开该晶圆具有一平缓的面积变化趋势，使该晶圆受力稳定，以提升刷洗的清洁能力与晶圆表面摩擦力的稳定度。
清洁结构

[实用新型]组装式海绵刷-CN202120711353.8有效
发明人： 顾致安;庄子彦;赵宏杰;张富强 -专利权人：东安开发股份有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： A46B9/00 文献下载
摘要：一种组装式海绵刷，其包括一不吸水的塑性材质的载体、数个发泡材质且嵌设于该载体的每一沟槽中的海绵条、二对应套设于该载体且分别结合于其两端底座上的圆环形固定件、以及一包含数个触面海绵与数个喷嘴分别混合设于各该海绵条模孔上的清洁单元所构成。藉此，当各该触面清洁海绵（指状式或方柱式）接触晶圆时，一开始接触的是面，使接触面积大且受力均匀，除PVA触面清洁海绵提供刷洗同时提供出水，其余非海绵部分皆不提供出水，可集中出水位置于各该触面清洁海绵，以利提升清洁晶圆效果，不会因海绵的软硬影响其接触面积，造成清洁效果下降。
组装海绵

[实用新型]海绵清洁前处理装置-CN202020621113.4有效
发明人： 顾致安;庄子彦;赵宏杰;陈明良;叶威新 -专利权人：东安开发股份有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种海绵清洁前处理装置，包括晶圆夹持机构、晶圆驱动机构、海绵清洁机构、喷洒机构、加压调节机构以及控制机构。藉此，通过模拟客户机台生产环境的晶圆转速、清洗液流量、海绵刷转速与转动方向、海绵刷与晶圆之间的间距、以及海绵刷与晶圆之间的下压力（down force）等环境参数，模拟客户使用状况，让客户可在使用前先利用本装置提供海绵产品的活化，将海绵刷状况提升，能在不占用客户机台时间进行预防性维护（PM）的情况下提供客户减少使用自身机台的时间来做先试运转（pre break‑in），从而缩短机台回线时间，不仅能大幅减少客户使用生产的机台，更能提高产量并减少产品缺陷。
海绵清洁处理装置

[实用新型]清洁刷具结构-CN201921732291.8有效
发明人： 顾致安;庄子彦;赵宏杰;张富强 -专利权人：东安开发股份有限公司
申请日： 2019-10-16 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： A46B9/02 文献下载
摘要：一种清洁刷具结构，包含载体；以及双向螺旋式清洁单元，由数个清洁豆分别以双向螺旋形式定位排列于该载体的表面上，以及沿一基线以不等间距排列于该载体中心上，形成数条由该载体的中心向两端外侧以不同方向螺旋盘绕的双向螺旋形，而该些清洁豆形成围绕该载体并自中心向两端外侧沿周向延伸的二环形螺旋曲线通道；清洁电子组件时，附着于该载体上的液体或清洁剂可沿该环形螺旋曲线通道上数条螺旋切线方向排出。借此，本清洁刷具在旋转时兼具正、反方向，可造成由中心向两端外侧推出的水流的流场，可较传统矩阵式清洁结构更容易把脏污排走，也较单向螺旋式清洁结构更能提升水流分布，进而达到接触面大、清洁效率快以及去除脏污率高的功效。
清洁结构

[实用新型]清洁刷结构-CN201920206182.6有效
发明人： 顾致安;庄子彦;赵宏杰 -专利权人：东安开发股份有限公司
申请日： 2019-02-18 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： A46B9/00 文献下载
摘要：一种清洁刷结构，包含一载体；以及一清洁单元，由数个清洁豆分别以螺旋形式定位排列于该载体的表面上，形成一条由该载体的一端至另一端螺旋盘绕的螺旋形，而该些清洁豆形成围绕该载体沿周向延伸的一环形螺旋曲线通道。藉此，本创作利用由数个清洁豆分别以螺旋形式定位排列于载体表面上的螺旋式清洁单元，当旋转时它就是正方向，此螺旋式清洁单元会造成一个流场，除了对被清洗之物体有垂直方向，还会有一个横的方向，变成是一个平行方向的水流的流场，因此可较传统矩阵式清洁结构更容易把脏污排走，进而达到接触面大、清洁效率快以及去除脏污率高的功效。
清洁单元螺旋形式螺旋式清洁刷流场脏污清洁环形螺旋螺旋盘绕清洁结构清洁效率曲线通道载体表面周向延伸矩阵式螺旋形去除平行清洗创作

[实用新型]一体成型清洁结构-CN201420600558.9有效
发明人：郑东忠;顾致安;陈弘佳;毛嘉豪 -专利权人：郑东忠
申请日： 2014-10-17 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：一种一体成型清洁结构，其包含一面上设有固定单元的底座、以及一体成型包覆于该固定单元外侧的清洁单元。藉此，可将底座与所需的研磨机构结合，并利用清洁单元对晶圆进行清洁，而达到避免人员安装问题、有效防止清洁单元脱落、减少更换时间以及提高制成良率的功效。
一体成型清洁结构

[实用新型]清洁杆体结构-CN201120037630.8有效
发明人：郑东忠;顾致安;陈弘佳;毛荣滨 -专利权人：东安开发股份有限公司
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2011-12-14 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：一种清洁杆体结构，其包含一外侧面上设有数个凸点的杆体；一绕设于杆体外侧面上且与各凸点结合的网状载体；以及一套设于杆体外侧面上的清洁单元，而以各凸点及网状载体使清洁单元与杆体紧密结合。藉此，可利用凸点增加网状载体绕设于杆体时的强度，以提升清洁单元与杆体的接合性，可强化清洁单元在更高转速时的稳定性，而达到使清洁单元不会与杆体分离的功效。
清洁结构

[实用新型]清洁结构-CN200920304208.7有效
发明人： 顾致安;郑东忠;陈弘佳 -专利权人：东安开发股份有限公司
申请日： 2009-06-10 - 公布日： 2010-05-19 - 主分类号： B08B11/00 文献下载
摘要：一种清洁结构，包含一载体；以及数个分别设于载体表面上的清洁单元，而各清洁单元的端面分别具有一凹弧部，且各凹弧部的曲率介于70％～99％之间。藉此，可配合相关的致动机构运用于精密电子组件的表面清洁，使各清洁单元利用其端面凹弧部，而达到接触面大、清洁效率快以及去除脏污率高的功效。
清洁结构

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