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[发明专利]一种非接触式双向直线位移作动装置及其作动方法-CN202111605652.4有效
发明人： 顾浩宇;徐明龙;翟崇朴;邵恕宝;刘开园;宋思扬;邵妍 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-12-25 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：一种非接触式双向高步进精度直线位移作动器装置及其作动方法，该作动装置包括固定在底座上的多对弹簧片和与之固结的永磁铁，永磁铁与底座凸台间安装有驱动器，能够双向直线运动的导电直板安装在底座支架上，并在其下方装有锁紧装置，上述结构共同构成实现导电直板的双向直线位移作动的结构；本发明还提供了作动方法，按照一定的规律驱动压电陶瓷，能够实现导电直板的双向直线位移作动，并且具有锁止能力；本发明采用非接触式作动方式，该作动器具有无摩擦，使用寿命长，精度高，控制波形简单，可满足多种使用场景的特点。
一种接触双向直线位移装置及其方法

[发明专利]一种非接触式双向角位移作动装置及其作动方法-CN202111605660.9有效
发明人：翟崇朴;徐明龙;顾浩宇;韩文文;张舒文;邵妍;邵恕宝 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-12-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H02N2/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种非接触式双向角位移作动装置及作动方法，该作动装置包括固定在底座上的一对弹簧片和通过夹具与弹簧片固结的永磁铁，一对驱动装置分别安装在底座和夹具的限位槽中，永磁铁与底座凸台间安装有，能够双向旋转的导电圆盘安装在底座支架上，并在其上装有锁紧装置，上述结构共同构成实现导电圆盘的双向角位移作动的结构；本发明还提供了作动方法，按照一定的规律驱动驱动装置，能够实现导电圆盘的双向角位移作动，并且具有锁止能力；本发明采用非接触式作动方式，该作动器具有长使用寿命，精度高，结构和控制波形简单的特点。
一种接触双向位移装置及其方法

[发明专利]基于压电材料保持特性的大钳位力作动器及其作动方法-CN202111668494.7有效
发明人： 顾浩宇;徐明龙;刘开园;田征;邵妍 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：基于压电材料保持特性的大钳位力作动器及其作动方法，该作动器通过两对钳位压电堆和一个作动压电堆间的相互配合，并结合其他辅助部件，可实现作动器的在钳位状态和位移输出状态间的转换；本发明还提供了作动方法，按照一定的控制方式对各压电堆施加相应的电压，可使作动器通过位移输出杆产生双向大行程的高精度直线位移输出，并且该作动器利用了压电陶瓷材料的形状记忆保持特性，使其在工作和断电状态下均具有较大的钳位力，断电锁止能力和负载能力获得很大提升，同时也在一定程度上降低了作动器在断电保持阶段输出位移的漂移现象，提高了作动器的位移保持能力；且仅通过调整作动电压就可以解决作动器因界面磨损导致的断电锁止能力下降的问题。
基于压电材料保持特性大钳力作及其方法

[发明专利]一种基于挠曲电效应的位移自传感压电作动器-CN202210417462.8在审
发明人： 顾浩宇;翟崇朴;徐明龙;张舒文;刘开园 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H02N2/04 文献下载
摘要：一种基于挠曲电效应的位移自传感压电作动器，通过在传统的压电陶瓷作动器的菱形环中安装一个由特殊材料制成的具有强挠曲电效应的梯形截面弹簧状传感元件，在低幅的振动环境下，该元件的两端会产生电荷积累，其电荷量取决于弹簧状传感元件的应变梯度，因此，通过测量产生的电荷量，即可得到弹簧状传感元件的变形量，也就表征出作动器的输出位移量；该装置将作动器的输出和传感功能一体化，避免了作动器在实际使用中需要额外增加配套位移传感装置的问题，扩大了作动器的使用范围；该装置的结构紧凑，体积小，并且采用挠曲电效应为原理的位移传感装置，具有作动精度和位移传感精度高的特点。
一种基于挠曲效应位移传感压电作动器

[实用新型]一种光罩-CN202023309034.9有效
发明人：杨鹏;陈胜;江勇;顾浩宇 -专利权人：苏州科阳半导体有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G03F1/38 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种光罩，用于在刻蚀槽处光刻形成金属重布线，刻蚀槽包括处于槽顶部的上拐角和处于槽底部的下拐角，刻蚀槽沿水平面上的第一方向延伸。光罩包括透明基板和阻光图形。阻光图形设置在透明基板上，阻光图形能够阻挡激光束或紫外光穿过透明基板，阻光图形包括沿水平面上第二方向延伸的第一阻光区，第一方向与第二方向相垂直，第一阻光区上设有加宽部和内凹部，加宽部凸设在第一阻光区的边缘处，内凹部凹设在第一阻光区的边缘处，且加宽部在刻蚀槽上的投影在上拐角处，内凹部在刻蚀槽上的投影在下拐角处。本实用新型降低了重布线在刻蚀槽处发生短路或断路的可能性，保证了重布线的功能，提高了产品的合格率。
一种

[发明专利]一种晶圆片的光刻胶涂布方法-CN202011599422.7在审
发明人：杨鹏;陈胜;江勇;顾浩宇 -专利权人：苏州科阳半导体有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及芯片制造技术领域，公开了一种晶圆片的光刻胶涂布方法，用于在以晶圆半径R为半径的圆形的晶圆片上涂布光刻胶层。方法包括：S1、通过胶管在晶圆片的圆心处滴落光刻胶，以第一旋转速度V1旋转晶圆片；S2、在距离晶圆片圆心的第一半径R1的位置处沿周向滴落光刻胶，以第二旋转速度V2旋转晶圆片，其中V1＞V2，R＞R1；S3、在距离晶圆片的圆心的第二半径R2的位置处沿周向滴落光刻胶，其中R＞R2＞R1，以第三旋转速度V3旋转晶圆片，其中V2＞V3，三次旋涂以形成覆盖在晶圆片上的第一光刻胶层。本发明提高了光刻胶层厚度的均一性，保证了光刻胶层的涂布质量，提高了晶圆产品的合格率。
一种晶圆片光刻胶涂布方法

[实用新型]一种UV光解废气处理装置-CN201922221440.0有效
发明人：任明远;曹欣;顾浩宇 -专利权人：金陵科技学院
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种UV光解废气处理装置，包括有臭氧发生装置、UV光解装置、除雾装置以及混合装置，还包括有连接管道，连接管道包括有进气口和出气口，除雾装置包括有除雾器，臭氧发生装置包括有臭氧发生器，混合装置包括有固定外壳和中空结构的转筒，转筒的内壁上粘贴有过滤纸层，连接管道的进气口连接于转筒内部，固定外壳上设置有出气口，出气口通过连接管道连接于UV光解装置，UV光解装置包括有UV光解箱，UV光解箱中设置有螺旋状透明玻璃管和UV紫外灯，本实用新型通过将臭氧与废气充分接触混合，增加了废气在UV紫外线下的照射时间，实现对废气的充分光解。
一种 uv 光解废气处理装置

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