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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种适用于蒸发台的玻璃清洗装置-CN202220834678.X有效
发明人：汪嘉;常俊;王常猛;徐虎;顾凯琰;陈兆萍;陈亮 -专利权人：江苏新顺微电子股份有限公司
申请日： 2022-04-12 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种适用于蒸发台的玻璃清洗装置，属于芯片制造技术领域。包括分体式提篮，所述分体式提篮内设有若干的玻璃，若干所述玻璃均匀间隔布置；所述分体式提篮上方设有升降杆，所述分体式提篮与升降杆可拆式连接，所述分体式提篮下方设有化剂槽，驱动所述升降杆上下运动，带动分体式提篮同步运动，使得分体式提篮浸设于或远离化剂槽。所述分体式提篮包括提篮本体，所述提篮本体底部设有底座，两者可拆式连接；所述底座上开设若干均匀间隔布置的置物槽。本申请对玻璃上的金属层进行化学处理和物理处理，能够有效的去除玻璃表面的金属层，保证了蒸发台的恒温效果，便于蒸发过程的监控。
一种适用于蒸发玻璃清洗装置

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