专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有线性传送系统的半导体处理装置-CN98809734.6有效
  • 凯尔·汉森;马克·迪克斯;丹尼尔·J·伍德拉夫;韦恩·J·施密特;凯文·W·科伊尔 - 塞米图尔公司
  • 1998-01-06 - 2003-11-26 - H01L21/68
  • 提出了一种在处理工具(10)中操纵半导体晶片的传送系统。该系统包括:配置在处理工具(10)内的传送单元导向装置(66),当晶片传送单元在第一位置和第二位置之间移动时用于支撑晶片传送单元(61)。传送单元导向装置(66)包括框架(65)、安装在框架(65)上的横向导轨(63)和设置在传送单元导向装置(66)上最靠近横向导轨(63)的一串磁部件(71,74)。晶片传送单元(62)包括与横向导轨(63)可移动地连接的轨道(84)、操纵半导体晶片的晶片传送臂组件(86)。在轨道(84)上与磁部件(71,74)相配合的关系安装磁铁以沿导轨移动传送单元(62)。致动器用于控制传送单元(62)和传送臂组件(86)的位置,传感器用于判断传送单元(62)和传送臂组件(86)的位置。远离传送单元(62)配置控制器(101),该控制器响应传感器(91)利用致动器引导传送单元(62)和传送臂组件(86)的移动。在致动器、传感器和控制器(101)之间建立通信链路。最好,该通信链路是光纤链路。
  • 具有线性传送系统半导体处理装置
  • [发明专利]用于装卸微电子工件的机器人-CN99810360.8无效
  • 韦恩·J·施密特;托马斯·H·奥伯里特纳 - 塞米用具公司
  • 1999-07-09 - 2003-04-16 - B66C1/00
  • 一种改进型传送系统(20),用于在加工机床(14,16)中传送微电子工件(w)。该传送系统(20)包含一个在传送导轨(26)上滑动导引的传送单元(30,32),用于传送和操作工件(w)。传送单元(30,32)包含一个垂直构件(220),其与两臂部式机械臂(100)的基端相连。机械臂(100)在其末端具有一个末端执行器(108),它可受驱动抓取工件(w)的外围边沿。设置有第一旋转驱动器(200),使垂直构件(220)绕其轴线旋转,以使整个机械臂(100)旋转。还设置有第二旋转驱动器(240),通过一个皮带使机械臂(100)的第二臂部(114)相对于机械臂(100)的第一臂部(110)旋转。还设置有第三旋转驱动器(302),使末端执行器(108)绕其水平轴线旋转。第三旋转驱动器(302)使末端执行器(108)能够将微电子工件(w)在朝上和朝下之间翻转。
  • 用于装卸微电子工件机器人

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