“青柳昌宏”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果2个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于形成金微细结构体的化学镀金液以及使用该化学镀金液形成金微细结构体的方法和使用该化学镀金液的金微细结构体-CN201080011478.4有效
发明人：岩井良太;德久智明;加藤胜;横岛时彦;青柳昌宏;山地泰弘;菊地克弥;仲川博 -专利权人：关东化学株式会社
申请日： 2010-03-10 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： C23C18/44 文献下载
摘要：本发明要解决的技术问题是提供一种化学镀金液，其能够在短时间内包埋在覆盖于基板上的抗蚀剂上所形成的单个或多个开口部，该开口部具有微米量级的基底材料露出部的宽度，尤其是具有100μm以下的基底材料露出部的宽度，且高度为3μm以上。化学镀金液中含有微细部析出促进剂，形成100μm以下的微细图案从而解决上述技术问题。
用于形成微细结构化学镀金以及使用方法

[发明专利]微细金属凸点的形成方法-CN200780011773.8无效
发明人：五味善宏;青柳昌宏;仲川博;菊地克弥;冈田义邦;大里启孝 -专利权人：株式会社美高仁工业;独立行政法人产业技术总合研究所
申请日： 2007-03-30 - 公布日： 2009-04-22 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：提供能够使用气相沉积法，稳定地工业化地在形成于基板的一面侧的金属部件的规定位置形成微细的金属凸点的微细金属凸点的形成方法。该方法的特征在于，在被覆形成有布线图形(12)的基板(10)的一面侧的掩模层(30)形成直形凹部(34)，该凹部在底面露出布线图形(12)的规定位置，并且内壁面垂直于基板(10)的一面侧且出口角部有棱角，然后在基板(10)的另一面侧设置面积大于基板(10)的金属板作为散热片，接着将基板(10)和金属板放置在真空气氛中，通过气相沉积法在露出于直形凹部(34)的底面的布线图形(12)的露出面上形成尖细状的金属凸点(14)，同时利用作为散热片的金属板将基板冷却在低于形成掩模层(30)的树脂的耐热温度，保持直形凹部(34)的形状，上述气相沉积法是由喷嘴喷射使金属蒸发而得的金属微粒和载气、堆积在规定位置的方法，然后，从基板的一面侧剥离掩模层(30)，在布线图形(12)的规定位置形成尖细状的金属凸点(14)。
微细金属形成方法