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- [实用新型]用于抛光机的自动加药装置-CN202220282365.8有效
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赵俊竹;肖迪
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2022-02-11
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2022-10-14
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B01F35/71
- 本实用新型提供了用于抛光机的自动加药装置，涉及抛光机的加药装置技术领域。计量装置安装在加药桶与浆料桶之间，计量装置中，量杯的上方连接着进液管、底部连接着出液管，进液管的进液端接在加药桶的下方，进液管的出液端安装着广口罩，出液管的出液端接在浆料桶上，第一电磁阀安装在进液管上，第二电磁阀安装在出液管上，量杯中安装着第二液位传感器，第一液位传感器、第一电磁阀、第二电磁阀及第二液位传感器分别与控制器电路连接。本实用新型在加药环节设置计量装置用于进行准确计量，可以省去人工量取药液步骤，方便实现提前计量，能够缩短加药用时；通过控制器实现自动控制加药，加药过程自动化，有效避免漏加药，而且操作方便。
- 用于抛光机自动装置
- [实用新型]单面研磨机抛头自动反冲洗装置-CN202220282368.1有效
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张兴法;肖迪
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2022-02-11
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2022-10-14
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B24B37/04
- 本实用新型提供了单面研磨机抛头自动反冲洗装置，涉及单面研磨机抛头反冲洗装置技术领域。抛头和冷机之间有实现水循环的冷却管路连通，冷机的出水口处安装着出水阀、回水口处安装着进水阀，还包括：冲洗液储罐和废液回收箱，冲洗液储罐与废液回收箱之间通过冲洗管路连通，冲洗液储罐的出水口处安装着第二阀，废液回收箱的进水口处安装着第三阀，抛头位于冲洗管路上，在冲洗管路中经过抛头的水流方向与在冷却管路中经过抛头的水流方向是相反的。抛头自动反冲洗装置采用自动控制和气水混合冲洗的方式，在设备每轮生产完成后自动开始冲洗，效率高，冲洗效果好，避免停机，预防管道堵塞。
- 单面研磨机自动冲洗装置
- [实用新型]一种双面研磨后晶片自动清洗装置-CN202220382667.2有效
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肖迪;吕可慧
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2022-02-24
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2022-10-14
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B08B3/10
- 本实用新型公开了一种双面研磨后晶片自动清洗装置，涉及自动清洗装置技术领域，包括清洗箱，清洗箱一侧面设有放置槽，放置槽内设有花篮，放置槽底面设有超声波发射器，清洗箱一侧面设有矩形腔，矩形腔内设有搅拌机构，矩形腔底面设有矩形槽，矩形槽内设有驱动机构；本实用新型通过驱动机构的使用，便于将搅拌机构移动到花篮内，并将搅拌机构的搅拌杆展开，从而便于对花篮内的晶片进行搅拌，使晶片与药液充分接触，避免花篮内的晶片堆积，而导致晶片清洗的不干净，进一步便于提高晶片清洗的工作效率；同时实现机械化对晶片进行清洗，避免工人手动对晶片进行清洗，降低工人的工作量，避免工人受伤，从而有利于工人的身体健康。
- 一种双面研磨晶片自动清洗装置
- [实用新型]晶片退火炉炉门双向固定结构-CN202220382562.7有效
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肖迪;郑东
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2022-02-24
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2022-08-30
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C30B33/02
- 本实用新型公开了晶片退火炉炉门双向固定结构，包括门板和固定框，竖条内部的两端均设置有第一锁紧螺栓，固定框顶部的两侧均设置有两个锁紧组件；锁紧组件包括安装片，安装片内部的两端均设置有第一固定螺栓，安装片远离固定框的一侧设置有连接环，连接环靠近门板的一侧设置有螺帽，螺帽的内部螺纹连接有第二锁紧螺栓。通过将固定框与门板之间由横向固定的方式改为竖向，并且在固定框的两侧均设置两个锁紧组件，加强了固定框与门板之间的连接效果，防止固定框外移使得门板中的耐火砖和保温棉间隙增大，从而避免漏热现象，减少漏热一小时可减少用电0.5度，一年每台炉节约用电3000度，并且增加了退火炉的使用寿命。
- 晶片退火炉炉门双向固定结构
- [实用新型]一种超薄片取片叉臂-CN202220280860.5有效
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张强;肖迪
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2022-02-11
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2022-07-05
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H01L21/687
- 本实用新型提供了一种超薄片取片叉臂，涉及超薄片取片装置技术领域。本体前端为插入部、后端为与驱动装置相连的固定部，在插入部与固定部之间设有承接超薄片的承片部，本体以其长轴对称，承片部处向内凹陷形成凹槽，凹槽的深度大于超薄片厚度，凹槽内部中间处挖有通孔，凹槽的外边缘至通孔的外边缘处设置多级渐缩式梯台。与现有技术相比，本实用新型有以下技术优点：该叉臂能够伸入至卡塞盒中承接晶片并取出，无需真空吸附，避免真空吸附压力产生碎片，加工稳定，更好地适应超薄晶片的自动化加工；通孔便于超薄片顶出，也便于在运载路径上设置光感装置，便于光感装置判断叉臂有无超薄片。
- 一种薄片取片叉臂
- [实用新型]一种刷洗陶瓷盘的刷洗装置-CN202220382558.0有效
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肖迪;郑东
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2022-02-24
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2022-07-05
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B08B9/36
- 本实用新型公开了一种刷洗陶瓷盘的刷洗装置，涉及刷洗装置技术领域，包括底座，底座顶面中部设有L型板，L型板顶面设有电动伸缩杆，电动伸缩杆的活动端设有连接板，连接板底部活动贯穿至L型板底面，连接板底部设有安装板，安装板底部设有矩形箱，矩形箱底面设有清洗机构，矩形箱一侧面设有用于向清洗机构内输送清洗液的输送机构；本实用新型的有益效果是：本实用新型通过复位弹簧和挡板的相互配合使用，便于控制清洗液的流动，避免清洗机构在不用时，清洗液继续从导液管流出，从而避免清洗液的浪费，节约资源，同时便于对周围环境进行保护。
- 一种刷洗陶瓷装置
- [实用新型]带有抛光布修整机构的抛光机-CN202022799873.7有效
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王鑫;郑东;肖迪
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2020-11-27
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2021-10-19
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B24B53/017
- 本实用新型公开了一种带有抛光布修整机构的抛光机，属于蓝宝石衬底晶片加工技术领域。其技术方案为：包括基座，基座上固设有下圆盘、左右支撑杆和横向支撑板，横向支撑板上设置抛光机构；抛光机构包括气缸架、升降气缸，升降气缸穿过气缸架并通过轴承转动连接有抛光轴，所述横向支撑板上还固设有伺服电机，伺服电机的输出轴上通过联轴器同轴固定有第一齿轮，抛光轴上同轴固定有第二齿轮；还包括抛光布修整机构和喷水机构，修整机构包括修整圆盘，修整圆盘的中心部位与抛光轴转动连接，四周设置若干凹槽，凹槽内设有中心柱，还包括与凹槽尺寸相适配的从动圆盘；本实用新型可以更加深层次进行抛光布表面的清洁，降低晶片在CMP过程中机械划伤的比例。
- 带有抛光修整机构抛光机
- [实用新型]改进型方管搅拌装置-CN202022714775.9有效
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郑东;肖迪
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2020-11-20
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2021-10-19
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B01F7/00
- 本实用新型涉及一种改进型方管搅拌装置，属于晶片研磨技术领域。本实用新型包括竖向设置的搅拌轴，以及沿搅拌轴均布的叶片，叶片自上而下若干扇叶片为一组，每组间隔设置，且位于上方的叶片尺寸大于位于下方的叶片尺寸；每扇叶片相对于水平面倾斜焊接在搅拌轴上，每扇叶片镂空有分散孔；叶片的边缘沿搅拌轴圆周方向设置有空心方管；每扇叶片内加装有交错设置的金属网。本实用新型所述的改进型方管搅拌装置，通过进行叶片方式改造，在叶片边缘加装方管和分散孔，使在加工过程中，带动液体搅拌流速，更好的达到分散效果。本实用新型可广泛运用于晶片研磨场合。
- 改进型搅拌装置
- [实用新型]陶瓷盘清洗机构-CN202022792237.1有效
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王鑫;郑东;肖迪
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2020-11-27
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2021-08-06
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B08B1/02
- 本实用新型涉及电子产品加工技术领域，公开了一种陶瓷盘清洗机构，其包括清洗台、安装于清洗台中心支撑并可驱动陶瓷盘旋转的圆柱形固定台、安装于清洗台一侧的机械手、清洁毛刷组件，机械手包括立柱和摆臂，圆柱形固定台上安装有吸附件，立柱内设有驱动电机和喷水管路，清洁毛刷组件包括上层毛刷、下层毛刷和立式边缘毛刷，上层毛刷与摆臂连接，上层毛刷包括若干圆形刷头，圆形刷头中部设有喷水口，喷水管路与喷水口连接，立式边缘毛刷位于清洗台上陶瓷盘圆周边缘处，清洗台上立式边缘毛刷与圆柱形固定台之间设有下层毛刷，摆臂与上层毛刷之间设有缓冲件。本实用新型结构简单，清洁度高。
- 陶瓷清洗机构
- [实用新型]圆盘清洗装置-CN202022799968.9有效
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张强;肖迪;郑东
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青岛嘉星晶电科技股份有限公司
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2020-11-27
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2021-08-06
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B08B1/04
- 本实用新型公开了一种圆盘清洗装置，属于蓝宝石加工技术领域。其技术方案为：包括平台、PLC控制系统、持运机构、清洗机构、接受机构、喷水机构和若干个滚轮，所述持运机构包括支撑杆和与支撑杆垂直方向固定连接的横杆，所述平台内的底面设置有若干个滚轮，滚轮的滚动面与圆盘底面相接触；平台内的底面还设置有若干个转动柱，转动柱与圆盘侧面相接触；本实用新型通过滚动柱的设置利用摩擦带动圆盘转动，同时下方滚轮承载圆盘，可以减少摩擦，实现圆盘的转动，极大的保证了圆盘在清洗过程中的稳定性，延长了圆盘的使用寿命，减少人工成本，降低人工作业对工作人员的危险性。
- 圆盘清洗装置
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