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[发明专利]陶瓷静电卡盘装置及其制备工艺-CN201610446806.2有效
发明人：徐登峰;朱煜;杨鹏远;许岩;成荣;唐娜娜;侯占杰;雷忠兴;王建冲;韩玮琦 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷静电卡盘装置及其制备工艺，属于半导体晶片加工技术领域，所述陶瓷静电卡盘装置包括介电层、电极层、绝缘层，在所述介电层靠近所述电极层的表面设置有第一金属化层，在所述第一金属化层靠近所述电极层的表面设置有第一镀镍层，在所述绝缘层靠近所述电极层的表面设置有第二金属化层，在所述第二金属化层靠近所述电极层的表面设置有第二镀镍层。本发明的静电卡盘装置气密性高，静电吸附力均匀，并且制造方法简单易行、方便加工。
陶瓷静电卡盘装置及其制备工艺

[实用新型]表面节流空气轴承-CN202121882098.X有效
发明人： 雷忠兴 -专利权人：廊坊麦逊精密机械有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本申请提供有表面节流空气轴承，包括轴承套，所述轴承套的左右两侧设有开口，所述开口内设有空气轴承，所述轴承套的外侧设有保护套管，所述保护套管的右侧设有进气孔，所述轴承套的右侧固定连接有固定连接套管，便于对空气轴承内的空气进行节流调节，控制空气轴承的导向精度。
表面节流空气轴承

[实用新型]磁浮直线运动系统-CN202121882099.4有效
发明人： 雷忠兴 -专利权人：廊坊麦逊精密机械有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B65G54/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了磁浮直线运动系统，包括送料台、滑槽a、滑槽b、第一直线电机滑台、第二直线电机滑台、载料滑块、第一磁悬浮导轨、第二磁悬浮导轨，所述送料台上两端分别设有所述滑槽a和所述滑槽b，所述滑槽a和所述滑槽b上分别滑动连接所述第一直线电机滑台和所述第二直线电机滑台，所述第一直线电机滑台和所述第二直线电机滑台上分别滑动安装有所述载料滑块，所述第一直线电机滑台和所述第二直线电机滑台之间设有所述第一磁悬浮导轨和所述第二磁悬浮导轨,使物料传输效率提高，从而提高生产效率。
直线运动系统

[实用新型]碳化硅陶瓷导轨的气浮直线运动系统-CN202121882100.3有效
发明人： 雷忠兴 -专利权人：廊坊麦逊精密机械有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B65G47/248 文献下载
摘要：本实用新型公开了碳化硅陶瓷导轨的气浮直线运动系统，包括底座、导轨、运动台、轴套、直线电机、支撑板、固定板、线盒、凹槽、滑槽、活动座、连接块、滑块、齿部、齿轮盘、连轴、送料板、气缸，所述导轨的两端固接在所述底座的两侧壁板上，所述运动台内设置有所述轴套，所述轴套滑动套设在所述导轨上，所述线盒一端固接在所述支撑板上，所述线盒另一端与所述固定板底部固接。在导轨与轴套之间冲压气体实现高精度、无摩擦的直线运动，可以使碳化硅陶瓷导轨的气浮直线运动系统在保证更高速、高精度、高响应、高稳定的同时，又能实现送料板的翻转功能，提高碳化硅陶瓷导轨的气浮直线运动系统的运送效率。
碳化硅陶瓷导轨直线运动系统

[实用新型]磁浮旋转运动系统-CN202121883495.9有效
发明人： 雷忠兴 -专利权人：廊坊麦逊精密机械有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： F03D9/25 文献下载
摘要：本实用新型公开了磁浮旋转运动系统，包括主轴、隔绝外壳、磁悬旋转锥体、磁悬浮底块，所述主轴通过磁轴承固定穿过所述隔绝外壳的左端面和右端面，所述磁悬旋转锥体固定套取在所述主轴上，所述磁悬旋转锥体上设有旋转扇叶，所述磁悬浮底块固定在所述隔绝外壳内表面的底端面上，所述隔绝外壳上设有弧形棚A、弧形棚B和通风口，所述弧形棚A和所述弧形棚B均倾斜固定在所述隔绝外壳的外侧表面上，若干个所述通风口分别位于所述弧形棚A、所述弧形棚B端部的所述隔绝外壳上。本申请装置利用磁悬浮技术克服物体重力，利用风车转动原理，将风引入隔绝外壳内，作用于磁悬旋转锥体，使得磁悬旋转锥体带着发电机的主轴旋转，完成发电的工作。
旋转运动系统

[实用新型]微米级旋转基准法测量装配机构-CN202121830750.3有效
发明人： 雷忠兴 -专利权人：廊坊麦逊精密机械有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及装配机构技术领域，且公开了微米级旋转基准法测量装配机构，包括装配底座，所述装配底座的上表面开设有连接孔，所述装配底座的上端连接有限位环套，所述限位环套的左侧螺纹连接有左螺杆，本实用新型通过设置连接杆、连接弯杆、通孔、限位孔、紧固螺栓、螺母、伸缩杆和万向轮，利用它们之间的相互配合作用，从而可以实现对装配机构的高度进行调节，且可以对连接杆和连接弯杆的相对位置进行左右调节，使得灵活性增强，便于根据使用场地进行灵活的改变调节，其次可以实现便捷的移动，使用方便，另外通过设置左螺杆、右螺杆、左固定块和右固定块，可以对旋转基准法测量本体进行限位固定，提高其工作时的稳定性。
微米旋转基准测量装配机构

[实用新型]一种静压空气轴承高精密角度控制转台-CN202121911525.2有效
发明人： 雷忠兴 -专利权人：廊坊麦逊精密机械有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B25H1/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种静压空气轴承高精密角度控制转台，包括底板，所述底板的底部设置有支撑座，所述支撑座的内部安装有滚轮，且支撑座的底部四周套设有支撑垫，底板的上方安装有箱体，且箱体的顶部设置有驱动机，所述驱动机的上方安装有转台，驱动机的底部设置有支撑杆，支撑杆与驱动机固定连接，且支撑杆延伸至箱体的内部固定连接有伸缩电机。该静压空气轴承高精密角度控制转台，通过伸缩电机可以带动支撑杆的伸缩，进一步的带动驱动机的升降，伸缩不同位置的支撑杆，可以来调节驱动机的倾斜角度，从而便于调节转台的角度，且支撑杆上设置有刻度线，通过刻度线的设置便于控制调节的转台角度，从而提高角度调节的精度，进一步提高检测的精度。
一种静压空气轴承精密角度控制转台

[实用新型]一种小孔节流空气轴承-CN202121911532.2有效
发明人： 雷忠兴 -专利权人：廊坊麦逊精密机械有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种小孔节流空气轴承，包括主轴，所述主轴的前端连接有主轴活动止推板，而主轴活动止推板的内侧开设有螺孔，螺孔延伸于主轴的内腔当中，且螺孔的内腔当中固定安装有固定螺丝，而主轴的外侧通过焊接的方式固定安装有主轴固定止推盘，且主轴固定止推盘的内侧设有第一侧板，第一侧板设有两个，而两个第一侧板的底部固定安装有底板，且两个第一侧板的顶部连接有轴承座，轴承座的内侧开设有进气口，而主轴的下方设有第二侧板，第二侧板设有两个，且两个第二侧板的内侧开设有环形腔室。该小孔节流空气轴承，通过设置有密封圈，从而保证方便有效的封闭高压气体，避免环形腔室内部气体从其连接处泄漏。
一种小孔节流空气轴承

[发明专利]应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷及其制备方法-CN201610603222.1有效
发明人：杨鹏远;朱煜;徐登峰;许岩;侯占杰;成荣;雷忠兴;韩玮琦;王建冲;唐娜娜 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2016-07-27 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于J‑R型静电卡盘的氧化铝陶瓷及其制备方法，属于半导体材料领域。所述氧化铝陶瓷材料由以下重量份的组分组成：α‑氧化铝82‑88％、二氧化钛7‑10％、氧化镁0.5‑2％、二氧化硅2‑5.5％。上述氧化铝陶瓷的制备方法采用流延成型工艺，得到的氧化铝陶瓷材料体积电阻率在100‑1000V电压范围内能控制在109‑1011Ω·cm之间，可以作为理想的J‑R型静电卡盘的介电材料。
应用于静电卡盘氧化铝陶瓷及其制备方法

[发明专利]陶瓷静电卡盘装置及其制造工艺-CN201610447156.3在审
发明人：徐登峰;朱煜;许岩;杨鹏远;成荣;侯占杰;唐娜娜;雷忠兴;王建冲;韩玮琦 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷静电卡盘装置及其制造工艺，属于半导体晶片加工技术领域，所述陶瓷静电卡盘装置包括上层绝缘层、电极层和下层绝缘层，所述上层绝缘层和下层绝缘层采用氮化铝陶瓷，所述下层绝缘层的上表面金属化一层钨金属浆料形成电极层，所述下层绝缘层的上表面边缘区域设置有用于封接上层绝缘层和下层绝缘层的烧结区域，所述烧结区域印刷有氮化铝浆料。本发明可以降低电极层翘曲程度，保障平面度、使所述装置的静电吸附力均匀，同时本发明所采用的制造工艺简单，制造容易，成本较低，易推广及量产。
陶瓷静电卡盘装置及其制造工艺

[发明专利]二位三通阀及具有该二位三通阀的隔振系统-CN201510111540.1有效
发明人：朱煜;徐登峰;穆海华;黎远成;张昆鹏;雷忠兴;闫永固 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2017-05-17 - 主分类号： F16K11/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种二位三通阀及具有该二位三通阀的隔振系统，属于阀门技术领域。所述二位三通阀包括阀体下盖、固定设置在所述阀体下盖内部的阀套、以及滑动设置在所述阀套内部的阀芯，其中所述阀体下盖的侧面设置有位置相错的进气口和出气口；所述阀套的侧面与所述进气口和出气口相对应的位置分别设置有第一通气孔和第二通气孔；所述阀芯的上表面设置有排气口，所述阀芯的侧面周向开设有第一通气凹槽，所述第一通气凹槽的高度大于所述第一通气孔和第二通气孔的间距，所述阀芯的下轴肩的高度与所述第二通气孔的高度相同；本发明通过使阀芯上下移动微小行程就能实现不同状态之间的切换，使本发明保持较高的调节精度。
三通阀具有系统

[实用新型]陶瓷静电卡盘装置-CN201620611847.8有效
发明人：徐登峰;朱煜;许岩;杨鹏远;成荣;侯占杰;唐娜娜;雷忠兴;王建冲;韩玮琦 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2017-03-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种陶瓷静电卡盘装置，属于半导体晶片加工技术领域，所述陶瓷静电卡盘装置包括上层绝缘层、电极层和下层绝缘层，所述上层绝缘层和下层绝缘层采用氮化铝陶瓷，所述下层绝缘层的上表面金属化一层钨金属浆料形成电极层，所述下层绝缘层的上表面边缘区域设置有用于封接上层绝缘层和下层绝缘层的烧结区域，所述烧结区域印刷有氮化铝浆料。本实用新型可以降低电极层翘曲程度，保障平面度、使所述装置的静电吸附力均匀，同时本实用新型所采用的制造工艺简单，制造容易，成本较低，易推广及量产。
陶瓷静电卡盘装置

[实用新型]手持式静电吸盘装置-CN201620610230.4有效
发明人：朱煜;徐登峰;韩玮琦;许岩;杨鹏远;成荣;雷忠兴;王建冲;唐娜娜;侯占杰 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种手持式静电吸盘装置，属于搬运超薄片状材料的搬运设备，所述手持式静电吸盘装置包括聚酰亚胺静电膜和用于支撑所述聚酰亚胺静电膜的静电膜支撑板，所述静电膜支撑板通过连接壳体连接手柄，所述手柄上设置有用于调节手柄顶端角度的角度调节旋钮。本实用新型的手持式静电吸盘装置不仅吸附力均匀，可以将工件稳定的固定住，而且操作简便。
手持静电吸盘装置

[实用新型]陶瓷静电卡盘装置-CN201620610232.3有效
发明人：徐登峰;朱煜;杨鹏远;许岩;成荣;唐娜娜;侯占杰;雷忠兴;王建冲;韩玮琦 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种陶瓷静电卡盘装置，属于半导体晶片加工技术领域，所述陶瓷静电卡盘装置包括介电层、电极层、绝缘层，在所述介电层靠近所述电极层的表面设置有第一金属化层，在所述第一金属化层靠近所述电极层的表面设置有第一镀镍层，在所述绝缘层靠近所述电极层的表面设置有第二金属化层，在所述第二金属化层靠近所述电极层的表面设置有第二镀镍层。本实用新型的静电卡盘装置气密性高，静电吸附力均匀，方便加工。
陶瓷静电卡盘装置

[实用新型]平板型静电卡盘装置-CN201620610733.1有效
发明人：朱煜;徐登峰;韩玮琦;成荣;许岩;杨鹏远;雷忠兴;王建冲;唐娜娜;侯占杰 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2016-06-20 - 公布日： 2016-12-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平板型静电卡盘装置，属于超薄板件材料的加工辅助夹持设备技术领域，所述平板型静电卡盘装置包括金属底座和位于所述金属底座上的聚酰亚胺静电膜，所述聚酰亚胺静电膜包括聚酰亚胺膜和与所述聚酰亚胺膜贴合的导电体，所述导电体为金属箔，所述金属箔的正负两极相互交错且不连通。本实用新型的平板型静电卡盘装置不仅吸附力均匀，可以将工件稳定的固定住，而且操作简便。
平板静电卡盘装置

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