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[实用新型]一种用于硅外延生长的石墨托盘-CN202320563799.X有效
发明人：周祖豪;雷宏涛;盛思义 -专利权人：广州志橙半导体有限公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅外延生长的技术领域，公开了用于硅外延生长的石墨托盘，包括：托盘组件和支撑转轴；本实用新型在托盘主体上设置了凹槽结构，以在托盘主体进行硅外延生长时减少托盘主体因受热膨胀而产生的应力集中现象，避免托盘主体和托盘主体表面的SiC涂层开裂，解决现有技术中石墨托盘受热膨胀，产生应力集中的现象，导致石墨托盘及表面涂层开裂，影响石墨托盘的使用寿命的问题。
一种用于外延生长石墨托盘

[实用新型]气浮旋转装置及碳化硅外延生长设备-CN202320763114.6有效
发明人：周祖豪;雷宏涛;盛思义 -专利权人：广州志橙半导体有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本实用新型提供一种气浮旋转装置及碳化硅外延生长设备。所述气浮旋转装置包括气浮托盘、石墨底座、螺杆和旋转测速装置，所述螺杆一端与所述气浮托盘可拆卸连接，另一端贯穿所述石墨底座后与所述旋转测速装置固定连接，所述石墨底座上设置进气口、至少两个分气孔和至少两个斜出气孔，所述分气孔分别与所述进气口连接的，所述斜出气孔分别与对应的所述分气孔连接，所述气浮托盘上设置旋转气道，流出的气体驱动所述气浮托盘浮起，所述螺杆和所述旋转测速装置跟随所述气浮托盘按照所述旋转气道的设定方向旋转。本实用新型提供的气浮旋转装置及碳化硅外延生长设备能够实现监控所述气浮托盘的实际转速，有效监控所述气浮托盘的旋转速率。
旋转装置碳化硅外延生长设备

[实用新型]石墨基座及硅外延生长设备-CN202320762544.6有效
发明人：周祖豪;吴文宗;雷宏涛 -专利权人：广州志橙半导体有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本实用新型提供一种石墨基座及硅外延生长设备。所述石墨基座包括包括基座本体和设置在所述基座本体一侧上用于生长外延片的多个口袋，所述基座本体的中心设置第一卡槽和第二卡槽，所述第一卡槽和所述第二卡槽设置在所述基座本体的同一面，所述口袋设置在所述基座本体的另一面。所述第一卡槽和第二卡槽为同圆心设置，所述第一卡槽和所述第二卡槽的形状为圆形或多边形，所述第一卡槽的直径小于所述第二卡槽的直径，所述第一卡槽和第二卡槽用于收容可拆卸的石英块。本实用新型提供的石墨基座及硅外延生长设备可以有效地稀释来自机械传动产生的外力，在相同的使用条件下，所述石墨基座及硅外延生长设备出现漏石墨的裂纹概率更低，其使用寿命更高。
石墨基座外延生长设备

[发明专利]一种用于外延生长的LPE设备-CN202211058114.2在审
发明人：蒋旭霞;朱佰喜;薛抗美;雷宏涛;邹明蓓 -专利权人：广州志橙半导体有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C30B19/06 文献下载
摘要：本发明涉及半导体外延生长设备的技术领域，公开了一种用于外延生长的LPE设备，包括：反应器和进出气装置；本发明通过将2个动力气孔连通动力气导流结构和托盘结构改为增加至3个及以上的动力气孔连通动力气导流结构和托盘结构，令动力气驱动转盘结构进行更加稳定的旋转，大幅提高晶片的外延性，本发明中的工艺气导流结构设置在中间腔室的两端，工艺气导流结构的两端开口为矩形，其面积大于传统工艺气导流结构中的孔洞式开口，因此能够令中间腔室中的工艺气充足，提升了外延片的寿命，解决了外延反应时工艺气在中间腔室内的均匀性不够高，导致生产出来的外延片的寿命较短的问题。
一种用于外延生长 lpe 设备

[发明专利]一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件-CN202210271334.7有效
发明人：邹明蓓;朱佰喜;薛抗美;雷宏涛;董志江 -专利权人：广州志橙半导体有限公司
申请日： 2022-03-18 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件，包括承载盘和盖板，所述承载盘上设有第一定位结构，所述盖板底部设有第二定位结构，所述第一定位结构与第二定位结构相互配合。所述第一定位结构为第一凹槽或第一凸台，所述第二定位结构为第二凸台或第二凹槽，所述第一凹槽与第二凸台相互配合，所述第一凸台与第二凹槽相互配合。在承载盘与盖板间使用外圆裙边作中心的定位，使用凹凸槽作承载盘与盖板间的旋转角度方向的定位，代替现有的通过两盘间的重力和摩擦力来限位的方法,克服了在旋转时因惯性和气流导致承载盘和盖板间发生相对移位，使产品的生长条件发生改变的缺点，从而有效提高产品的生长质量和良率。
一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件

[发明专利]一种可供冷、热能及提供应急电力的医院配气系统-CN202210682306.4在审
发明人：赵璞;雷宏涛 -专利权人：陕西省人民医院
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：一种可供冷、热能及提供应急电力的医院配气系统，包括压缩机、储气室、涡流管、蓄冷罐、储热罐、发电机、气体缓冲罐以及若干阀件和换热器；空气增压后储存在储气室中，在突发情况下可预热做功带动电动机发电，用作紧急电源，也可在需要时进入涡流管，产生冷气流和热气流；热气流除了用于常规消毒室外，剩余的热气流通过换热器回路，将热量储存在储热罐中用于供热；冷气流通过换热器回路，将冷量存储在蓄冷罐中作为药品冷藏室的冷侧，同时可用于供冷。与储热罐、蓄冷罐能量交换后的压缩空气进入缓冲罐，向各医院用户提供氧气，或直接提供压缩空气。本发明除了为医院提供常规压缩空气及氧气外，还可以作为冷、热侧及应急电源。
一种可供冷热能提供应急电力医院系统

[实用新型]一种外延石墨基座-CN202221563890.3有效
发明人：袁永红;周祖豪;雷宏涛 -专利权人：深圳市志橙半导体材料有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及外延生长技术领域，公开了一种外延石墨基座，包括基座本体以及多个载台；载台包括设置在载台内的多个控温凸台、设置在载台边缘处的多个载台台阶，载台具有一底面；多个载台台阶用于放置衬底，衬底面向载台的一面与底面之间的空间为隔温腔体；在竖直方向上，设置在载台内的多个控温凸台的的高度各不相同，以使衬底面向载台的一面与底面之间的隔温腔体成为不规则隔温腔体。本申请提供的外延石墨基座，通过多个控温凸台设置在载台内，设置在载台内的多个控温凸台的高度各不相同，使衬底与底面之间形成不同形状的不规则隔温腔体，以影响对应区域衬底与石墨基座间的温度；避免某个区域的外延片波长异常，提高整个外延片波长的均匀性。
一种外延石墨基座

[发明专利]多重保护式住院婴儿专用辅助安抚装置-CN201811439864.8有效
发明人：王小娟;赵桂娥;雷宏涛;马小宁;蔚永青 -专利权人：陕西省人民医院
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： A61J17/00 文献下载
摘要：本发明公开了多重保护式住院婴儿专用辅助安抚装置，包括橡胶板、放置槽、奶嘴、保护罩、杀菌灯、定时器、第一蓄电池、绑带、固定板、第二蓄电池、音乐播放器、音量调节开关，该多重保护式住院婴儿专用辅助安抚装置，结构巧妙，功能强大，操作简单，通过使用该装置，可辅助的安抚婴儿的情绪，防止婴儿在治疗的过程中出现抵触或烦躁的情绪，确保了婴儿的治疗进度。
多重保护住院婴儿专用辅助安抚装置

[发明专利]一种SiC涂层及其制备方法-CN201911393224.2有效
发明人：林培英;朱佰喜;雷宏涛 -专利权人：东莞市志橙半导体材料有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： C23C16/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种SiC涂层及其制备方法，该涂层通过CVD方法制备，其中，采用铝原子和磷原子进行掺杂，其中铝原子掺杂浓度为0.8×1018cm‑3至1.1×1018cm‑3、铝原子浓度与磷原子浓度为比例为0.05‑0.1，所述涂层电阻率达到2×106Ω·cm~4×106Ω·cm。本发明的有益效果是：该方法制备方法简单，制备的SiC涂层能够获得106Ω·cm以上的高电阻率。
一种 sic 涂层及其制备方法

[发明专利]儿童气管插管头部定位仪-CN201910222811.9有效
发明人：王小娟;马小宁;雷宏涛;张莉莉 -专利权人：陕西省人民医院
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： A61G13/12 文献下载
摘要：本发明公开了儿童气管插管头部定位仪，包括底座、第一放置槽、第一楔形块、滑柱、螺杆、第二楔形块、转动套、连接板、导向孔、支撑杆、连接杆、压板、固定板，该儿童气管插管头部定位仪，结构巧妙，功能强大，操作简单，通过使用该装置，无需医护人员用手即可将患儿的气道打开，且在患儿气道打开的后，该装置可将患儿的头部进行位置定位固定处理，以此便于医护人员给患儿进行气管插管治疗，不仅减少了医护人员的工作强度，还确保了患儿的治疗进度。
儿童气管插管头部定位

[实用新型]一种用于机加工的冷冻真空复合夹具-CN201922253523.8有效
发明人：黄春立;林培英;朱佰喜;雷宏涛 -专利权人：东莞市志橙半导体材料有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B23Q3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于机加工的冷冻真空复合夹具，包括顶板、中板、底板、进水口、出水口、控制阀，底板上依次安装有中板、顶板，顶板顶部设有多组穿孔，顶板上设有进水口、出水口，顶板底部与中板顶部之间设有弯型流道，弯型流道分别与进水口、出水口相连通，中板底部与底板顶部之间设有导气槽，导气槽上设置有多组与穿孔相对应的通气孔，底板侧边设有控制阀，控制阀与导气槽相连，导气槽上的通气孔与穿孔相连通，控制阀通过控制穿孔来调控所需真空装夹的工件大小。本实用新型的有益效果是：1.本实用新型的冷冻真空复合夹具由于融合了真空与冷冻技术，既可以做到应力装夹，也可以无应力装夹，固可以有效的提高产品平面度、减少加工变形。
一种用于加工冷冻真空复合夹具

[实用新型]一体式矿用液压多重断水保护器-CN202020264098.2有效
发明人：赵青社;王社旭;郭海霞;雷宏涛 -专利权人：陕西合阳风动工具有限责任公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： F16K11/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种一体式矿用液压多重断水保护器，阀体设置有若干相互平行的主通道，阀芯将主通道分隔为水压室和油压室，任意上下两层主通道之间设有水通道和油通道使上下两层的水压室和油压室分别对应贯通，主通道的两端设置有堵头，位于油压室一侧的堵头与所述阀芯之间设置有压缩弹簧。该多重断水保护器结构紧凑，特别是在煤矿井下，大功率液压切割工具使用乳化液马达，提高了原有乳化液泵站的利用率，最重要的是多级管路有效地解决了联动装置中断水机械故障，消除了液压切割工具使用中存在的安全隐患，同时一体式的结构降低了生产成本，节能环保，具有良好的社会效益和经济效益。
体式液压多重断水保护

[实用新型]一种气相沉积炉内气体悬浮装置-CN201922156987.7有效
发明人：黄洪福;蓝图;袁永红;雷宏涛 -专利权人：深圳市志橙半导体材料有限公司
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括平行设置并且旋转配合的石墨盘和底座，所述底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，所述第一分气孔、第二分气孔分别位于所述主进气孔的两侧，所述第一分气孔、第二分气孔分别与所述主进气孔交汇连通于同一点。本实用新型的有益效果是：在主进气孔的同一位置分出第一分气孔、第二分气孔，再分别通过第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔产生旋转气体，推动石墨盘悬浮并转动，保证了气体流动阻力一致，有效保证了两倾斜气体流量一样，悬浮效果好，旋转顺畅，可显著提高薄膜均匀性以及质量，并有效延长装置的使用周期。
一种沉积气体悬浮装置

[发明专利]婴儿多功能护理拍痰器-CN202010187615.5在审
发明人：王小娟;马小宁;雷宏涛;张莉莉 -专利权人：王小娟
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： A61H23/02 文献下载
摘要：本发明公开了婴儿多功能护理拍痰器，包括底板、限位机构、支撑柱、安装架、转动机构、驱动机构、拍打机构，该婴儿多功能护理拍痰器，无需医护人员人工手动即可对婴儿的背部进行反复式的拍打处理，以此将医护人员的双手腾出，便于医护人员给婴儿进行与拍痰护理治疗相配套的其它护理作用，此外，该装置对婴儿背部拍打的方式为软接触的拍打方式，防止因硬接触拍打对婴儿造成伤害，由此可知，通过使用本申请中的装置，降低了医护人员的工作难度，提高了婴儿的护理进度。
婴儿多功能护理拍痰器

[发明专利]一体式矿用液压多重断水保护器-CN202010147896.1在审
发明人：赵青社;王社旭;郭海霞;雷宏涛 -专利权人：陕西合阳风动工具有限责任公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： F16K11/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种一体式矿用液压多重断水保护器，阀体设置有若干相互平行的主通道，阀芯将主通道分隔为水压室和油压室，任意上下两层主通道之间设有水通道和油通道使上下两层的水压室和油压室分别对应贯通，主通道的两端设置有堵头，位于油压室一侧的堵头与所述阀芯之间设置有压缩弹簧。该多重断水保护器结构紧凑，特别是在煤矿井下，大功率液压切割工具使用乳化液马达，提高了原有乳化液泵站的利用率，最重要的是多级管路有效地解决了联动装置中断水机械故障，消除了液压切割工具使用中存在的安全隐患，同时一体式的结构降低了生产成本，节能环保，具有良好的社会效益和经济效益。
体式液压多重断水保护

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