本发明一种平面定位系统与使用该平面定位系统的方法，包含：(i) 一个X 轴组合件，包含一个 X 轴线性启动器工具，该 X 轴线性启动器工具的排列与 Y 轴形成正交；(ii) 一个 Y 轴组合件，包含一对 Y 轴线性启动器工具，该 Y 轴线性启动器工具安装在该水平基座上而构成一种 H 型配置；(iii) 一个 Z 轴组合件，包含一个空气静力轴承机构，可浮在该水平基座顶部的外部压缩空气薄膜上；与一个 θ 轴启动器，该启动器固定于该 X 轴，可驱动承载一工件之该 Z 轴组合件，其中该 Z 轴组合件随着该转轴而旋转，使该 θ 轴垂直于该水平基座。
