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- [实用新型]360°旋转铌管靶-CN201320256701.2有效
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戚成伟
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陕西华创稀有金属科技有限公司
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2013-05-13
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2013-12-11
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C23C14/34
- 本实用新型涉及机械领域,尤其涉及360°旋转铌管靶。包含铌管靶,其为空心圆柱形,其直径为φ146mm,其为无缝管。所述铌管靶的长度为686mm。所述铌管靶两侧有安装槽。还包含可无缝套装在铌管靶上的外铌管靶。所述外铌管靶与铌管靶可分离安装。采用如上技术方案的本实用新型,相对于现有技术有如下有益效果:靶材可绕固定的条状磁铁组件旋转,因而360°靶面可被均匀刻蚀,利用率高达80%。铌的熔点范围为1580-1630摄氏度。这种Nb靶材组织内部的Nb的含量总和大于99.17%,晶粒度经过固溶处理后达到100μm左右的水平。
- 360旋转铌管靶
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