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[发明专利]一种浸没式光刻设备-CN202110468842.X在审
发明人：仲凯;刘剑;杨辅强;罗晋;陈言亭 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种浸没式光刻设备。该浸没式光刻设备包括主基板、基础框架、浸没头、气液分离装置以及振动隔离装置；主基板与基础框架连接，基础框架用于支撑主基板；浸没头通过柔性结构与主基板连接，浸没头通过管路与气液分离装置连接，气液分离装置通过振动隔离装置与基础框架连接，以隔离气液分离装置对主基板和/或浸没头的振动。本发明实施例的技术方案，通过振动隔离装置隔离气液分离装置对主基板和/或浸没头的振动，可以有效提升浸没式光刻设备的性能。
一种浸没光刻设备

[发明专利]一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机-CN202011628770.2在审
发明人： 陈言亭;于宁 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及光刻机技术领域，公开一种管路柔性适应装置及浸没式光刻机，其中管路柔性适应装置包括：包括连接簧片和隔振结构的柔性连接装置，连接簧片的一端通过隔振结构连接于气液分离装置上，连接簧片的另一端自由释放，连接簧片沿气液分离装置的高度方向布置；浸没流场管路，浸没流场管路包括回收管路和注入管路，回收管路的两端分别连通于浸没头和气液分离装置，注入管路的一端连通于浸没头，注入管路远离浸没头的部分连接于连接簧片上且沿连接簧片的高度方向布置，注入管路和回收管路靠近浸没头的部分布置于同一水平面上。通过上述结构，该管路柔性适应装置能够减小管路对浸没头以及气液分离装置的影响，有利于提高浸没式光刻机的精度。
一种管路柔性适应装置浸没光刻

[实用新型]噪声防护装置-CN202122394640.3有效
发明人：唐培;戴思雨;陈言亭 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： E04B1/82 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种噪声防护装置，包括：防护框架及若干防护板，所述防护框架包括若干相互拼接的固定区，一个所述防护板密封固定在一个所述固定区内，所述防护框架与所述防护板限定出一容置腔；所述防护板包括隔噪腔及吸声板，所述隔噪腔内填充有第一隔噪材料，所述吸声板设置于所述隔噪腔的外侧并面向所述容置腔；本实用新型提升了噪声防护装置的全频段隔噪性能。
噪声防护装置

[发明专利]浸没头的集成工装及其集成方法和光刻机-CN201911380274.7有效
发明人： 陈言亭;余斌 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种浸没头的集成工装及其集成方法和光刻机，所述浸没头的集成工装包括：支撑单元，用于作为光刻机的投影物镜和浸没头的载体；垂向位置探测单元，用于检测投影物镜与浸没头之间的垂直距离、投影物镜的轴心与浸没头的轴心之间的水平距离以及投影物镜与浸没头的相对的面的水平度偏差；水平位置调整单元，用于调整浸没头在水平方向上的位置，以使得浸没头的轴心与投影物镜的轴心重合；垂向位置调整单元，用于调整浸没头在垂直方向上的位置，以使得浸没头与投影物镜的相对的面平行，且使得浸没头到达所需的安装位置。本发明的技术方案使得浸没头能够安全且准确地安装到投影物镜下方的所需的安装位置。
浸没集成工装及其方法光刻