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[发明专利]制备单原子层氮化物的方法-CN202310535984.2在审
发明人：李春晓;宋文涛;吴伟汉;陈科蓓;韩厦;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C16/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备单原子层氮化物的方法，包括：提供金属单晶为衬底；选择金属有机物作为蒸发源，使其吸附于所述金属单晶的表面；将所述衬底升温至350℃‑450℃，所述衬底表面的金属有机物分解并发生表面在位化学反应，生成单原子层氮化物。本发明的制备单原子层氮化物的方法，其能够实现单原子层氮化物的可控生长，生长出的单层子层氮化物晶体结晶性好且高度平整，为高集成化的氮化镓器件制备奠定了良好的基础。
制备原子氮化物方法

[发明专利]二维氮化铝晶体的制备方法-CN202111594856.2有效
发明人：王雨微;宋文涛;徐耿钊;刘争晖;张春玉;陈科蓓;韩厦;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本发明揭示了一种二维氮化铝晶体的制备方法，所述制备方法包括：S1、提供衬底，并清洗；S2、于真空环境下，在衬底表面形成铝层；S3、将形成有铝层的衬底置于反应腔室中；S4、加热反应腔室至恒定温度，以使衬底上的金属处于熔融态；S5、向反应腔室中通入氮源，使氮原子传输到熔融态的金属表面，沿着熔融态的金属表面进行二维氮化铝晶体的生长。本发明可以实现二维氮化铝晶体在金属表面的生长，便于后续转移到不同衬底上组成不同的二维异质结，二维氮化铝晶体结晶性较好，为二维氮化物器件的制备奠定了良好的基础。
二维氮化晶体制备方法

[发明专利]二维氮化镓晶体的制备方法-CN202111584076.X有效
发明人：李春晓;宋文涛;徐耿钊;刘争晖;张春玉;陈科蓓;韩厦;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C30B25/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种二维氮化镓晶体的制备方法，所述制备方法包括：S1、提供金属片，并清洗；S2、加热融化镓金属，将熔融态的金属镓转移至金属片上；S3、将金属片及熔融态的金属镓置于反应腔室中，并对反应腔室进行抽真空；S4、加热反应腔室至恒定温度后，向反应腔室中通入氮源，使氮原子传输到金属镓表面，进行二维氮化镓晶体的生长。本发明二维氮化镓晶体的制备方法可以增加横向迁移率，使得超薄的sp3杂化方式及sp2杂化的六方相更容易获得，从而获得高结晶性、高平整的高质量二维氮化镓单晶材料，有望为深紫外光电及电力电子器件制备铺平道路。
二维氮化晶体制备方法

[发明专利]STM诱导单原子层氮化物生长的方法-CN202310414724.X在审
发明人：李春晓;宋文涛;吴伟汉;陈科蓓;韩厦;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种STM诱导单原子层氮化物生长的方法，包括：选择至少两种含有Ⅲ族金属的有机分子前体，通过STM的针尖向其注入电子束，使所述有机分子前体发生断键以获取有机分子前体内的所需基团；通过STM的针尖施加电压，引导所述有机分子前体内所需的基团进行聚合，生成单原子层氮化物。本发明的STM诱导单原子层氮化物生长的方法，其能够利用探针尖端精确操纵原子或者分子，诱导含有Ⅲ族金属的分子进行耦合重组，实现单层氮化物生长。
stm 诱导原子氮化物生长方法

[发明专利]单原子层二维氮化物的制备方法-CN202310285066.9在审
发明人：李春晓;宋文涛;吴伟汉;陈科蓓;韩厦;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了单原子层二维氮化物的制备方法，该方法在采用模板法生长二维氮化物的时候，避免长出层数较多的前体模板，而是通过控制PVT法中的气流量、反应升温曲线、源端和衬底的距离等因素，获得完美的单原子层厚度。此外尽量避免在整个氮化的过程中刻蚀现象严重，模板严重损坏难以得到平整低缺陷的单原子层氮化物。
原子二维氮化物制备方法

[发明专利]量子阱阱宽的光学测量方法及应用-CN202310374804.7在审
发明人：韩厦;宋文涛;陈科蓓;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种量子阱阱宽的光学测量方法及应用，该方法包括以下步骤：获取无激光照射时，待测目标对入射偏振光的第一反射信号；获取有激光照射时，所述待测目标对所述入射偏振光的第二反射信号，其中所述激光的能量大于所述待测目标的带隙；基于所述第一反射信号和第二反射信号，确定所述待测目标在带隙的吸收尾区域内各吸收峰的平均能量间距；基于所述平均能量间距，计算所述待测目标的量子阱阱宽。该方法能够在对测量样品不进行制样的基础上，降低测量过程的时间周期，提高测量结果的准确率。
量子阱阱宽光学测量方法应用

[发明专利]氮化铟晶体及其生长方法-CN202111164390.2有效
发明人：李凯;宋文涛;徐耿钊;刘争晖;张春玉;陈科蓓;韩厦;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C30B29/40 文献下载
摘要：本发明提供了一种氮化铟晶体的生长方法，其包括：将铟粒置于基片上，以形成待处理样品；将所述待处理样品置于等离子体真空设备中，并向所述等离子体真空设备中通入预定流量的氮气；在预定温度和预定时间内使由所述氮气被裂解电离形成的氮原子与液态的铟发生氮化反应，从而形成氮化铟晶体，其中，所述预定温度小于600℃。本发明还提供了一种由所述生长方法生长形成的氮化铟晶体。本发明能够实现在低温(不超过600℃，低于氮化铟的分解温度)下生长氮化铟晶体。此外，所生长出的氮化铟晶体具有高结晶性、高平整度、且具有明显原子台阶的特性。
氮化晶体及其生长方法

[实用新型]一种狭窄河道挡墙加固结构-CN202222812841.5有效
发明人：许益江;杜子康;王辉;陈烨;沈栋央;宋芝莉;余寿家;陈科蓓 -专利权人：浙江宇盛建设有限公司
申请日： 2022-10-25 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： E02B3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种狭窄河道挡墙加固结构，涉及水利工程技术领域，解决了目前没有一种紧凑型、方便施工的加固结构能够方便快速的在狭窄河道内对原有的河道挡墙进行加固的问题，包括锁止块，所述锁止块插接在定位柱a的外部。顶部加固结构的定位砼柱能够通过定位压台实现对砼挡墙顶部的定位和加固，使用稳定，施工作业均位于河道土体的顶部，施工方便，且底部加固结构是通过定位柱a和定位柱b的连接关系实现对河道土体两侧砼挡墙的连接限位使用，同样的底部加固机构直接对河道截流后在河道底部即可施工加固，无需额外开挖操作空间，使用方便灵活。
一种狭窄河道挡墙加固结构

[发明专利]半导体材料纳米尺度各向异性吸收系数的测量装置及方法-CN202010238050.9有效
发明人：王亚坤;刘争晖;徐耿钊;宋文涛;张春玉;陈科蓓;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体材料纳米尺度各向异性吸收系数的测量装置及测量方法，测量方法包括：关闭狭缝，利用扫描开尔文探针显微镜测试无光条件下导电针尖上的接触电势差NLCPD；开启狭缝，利用扫描开尔文探针显微镜测试在当前发光波长下的导电针尖上的接触电势差LCPD；多次改变发光的波长值，分别测量对应的NLCPD和LCPD，得出无光条件下接触电势差随波长变化的关系曲线NLCPD(λ)和加光条件下接触电势差随波长变化的曲线LCPD(λ)；根据DCPD(λ)＝LCPD(λ)‑NLCPD(λ)得到差值随波长变化的曲线DCPD(λ)；计算当前偏振角度激发光的吸收系数α；改变激发光的偏振角度，计算对应偏振角度下的吸收系数，即得各向异性吸收系数。本发明使测量吸收系数的空间分辨率大大提高，实现了纳米尺度光吸收系数各向异性的测量。
半导体材料纳米尺度各向异性吸收系数测量装置方法

[发明专利]二维氮化镓晶体的制备方法-CN202211351439.X在审
发明人：吴伟汉;宋文涛;徐耿钊;刘争晖;张春玉;陈科蓓;韩厦;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： C30B33/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种二维氮化镓晶体的制备方法，所述制备方法包括：S1、制备二维硒化镓或二维硫化镓晶体；S2、将二维硒化镓或二维硫化镓晶体置于等离子体发生装置的真空腔室中，并通入氮源使二维硒化镓或二维硫化镓晶体发生氮化反应，用氮原子替换硒原子或硫原子，得到二维氮化镓晶体。本发明通过对二维硒化镓或二维硫化镓晶体进行氮化，用氮原子替换硒化镓中的硒原子或硫化镓中的硫原子，可以实现二维氮化镓的低温生长，且可以控制氮化镓的生长厚度，生长出来的氮化镓结晶性好且高度平整，为高性能器件的制备奠定了良好的基础。
二维氮化晶体制备方法

[发明专利]用于扫描隧道显微镜中移动样品的装置和方法-CN202110540568.2有效
发明人：管兰萍;徐耿钊;刘争晖;宋文涛;张春玉;陈科蓓;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01Q30/20 文献下载
摘要：提供了一种用于扫描隧道显微镜中移动样品的装置，其包括拨叉以及方向移动器，所述拨叉的末端部安装在所述方向移动器上，所述拨叉的前端部具有通孔，并且所述前端部具有连通所述通孔的缺口，所述方向移动器用于在三维方向上对所述拨叉进行移动。还提供了一种用于扫描隧道显微镜中移动样品的方法。本发明在扫描隧道显微镜对样品进行扫描的过程中，缺口可以穿过探针而使探针处于通孔范围内，这样拨叉可以在不触碰探针的情况下将样品精确地移动到目标位置，从而实现对样品的定位下针，即能够扫描样品的特定位置，进而能针对表面不均一、性质各异的样品进行扫描。
用于扫描隧道显微镜移动样品装置方法

[发明专利]半导体材料纳米尺度少数载流子扩散系数测量装置和方法-CN202111387342.X在审
发明人：王亚坤;刘争晖;徐耿钊;宋文涛;张春玉;陈科蓓;韩厦;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：提供了一种半导体材料纳米尺度少数载流子扩散系数测量装置和方法。该测量装置包括：光源组件，用于产生单色光和脉冲光；样品台，用于承载半导体样品或石墨样品；导电针尖，用于逼近承载于样品台上的半导体样品的表面目标区域或石墨样品，且与半导体样品或石墨样品间隔设置；及扫描开尔文探针显微镜，连接导电针尖，且用于在无光和加单色光时分别获取逼近表面目标区域的导电针尖上的第一接触电势差和第二接触电势差，且用于获取逼近石墨样品的导电针尖上的第三接触电势差；光谱探测器，用于在加脉冲光时获取表面目标区域的少数载流子的寿命；计算装置，用于根据第一接触电势差、第二接触电势差、第三电势差以及少数载流子的寿命计算出所述扩散系数。
半导体材料纳米尺度少数载流子扩散系数测量装置方法

[发明专利]一种氮化镓单晶基片的氮极性表面的表面处理方法-CN202011493956.1有效
发明人：徐耿钊;李忠念;陈晖;刘争晖;张春玉;陈科蓓;宋文涛;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2020-12-17 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： C30B33/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮化镓单晶基片的氮极性表面的表面处理方法，表面处理方法包括：对氮化镓单晶基片的氮极性表面依序进行电化学腐蚀和化学腐蚀，或者对氮极性表面依序进行化学腐蚀和电化学腐蚀。采用本发明提供的表面处理方法来对氮化镓单晶基片的氮极性表面进行表面处理后，在该氮极性表面上能够获得具有原子级台阶高度和规则的六边形形状的台阶流表面。
一种氮化镓单晶基片极性表面处理方法

[发明专利]物镜光窗式法兰及采用该法兰的真空腔-CN201810853516.9有效
发明人：李爱杰;谢宇辰;徐耿钊;刘争晖;钟海舰;宋文涛;陈科蓓;张春玉;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2018-07-30 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种物镜光窗式法兰及采用该法兰的真空腔，包括一法兰盘及一透镜，所述法兰盘中心具有一通孔，所述通孔形成一光路通道，所述透镜设置在所述光路通道内，形成光窗，所述透镜作为一光学系统的物镜前透镜使用。本发明的优点在于，将物镜与法兰结合为一个整体。将常规法兰上的光窗用物镜代替，光束经物镜传输后不需要再经过平面透镜光窗，从而减小了光窗的反射造成的光源能量损失，同时可以使物镜工作距离缩短，工作距离短的物镜的数值孔径大，分辨率高。
物镜光窗式法兰采用空腔

[发明专利]基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法-CN201810215118.4有效
发明人：谢宇辰;徐耿钊;刘争晖;钟海舰;宋文涛;陈科蓓;张春玉;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所;中国科学院大学
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：本发明提供一种基于声表面波的原子力显微镜探针、制备方法及表征方法，原子力显微镜探针包括压电基底；信号发生器用于产生激励信号；输入输出换能器设置在压电基底上，输入输出换能器接收激励信号，并将激励信号转换为声表面波信号；反射器设置在压电基底上，并与输入输出换能器相对设置，反射器反射输入输出换能器输出的声表面波信号，输入输出换能器与反射器形成声表面波传播路径，输入输出换能器接收反射器反射的声表面波信号，并转换为电磁信号；针尖设置在压电基底上，并位于声表面波传播路径上，声表面波带动所述针尖震动；信号收集器收集所述电磁信号。优点是，在不引入激光检测针尖振动信号前提下，可实现对材料表面形貌高空间分辨测量。
基于表面波原子显微镜探针制备方法表征

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