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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种硅音叉增强型光声光谱气体检测系统-CN202011426380.7在审
发明人：尹永刚;施钧辉;任丹阳;陈睿黾 -专利权人：之江实验室
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅音叉增强型光声光谱气体检测系统，包含激光调制器、激光器、光路调整模块、气体检测传感器、电容检测模块、锁相放大器、计算机。所述气体检测传感器采用MEMS工艺加工，包括光声腔、硅音叉和固定电极等。激光穿过光声腔，由于光声效应激发出声波，声波与硅音叉产生共振，硅音叉两个音叉臂与固定电极之间形成电容，该电容值通过电容检测模块转化成电压信号。电容检测模块和激光调制器的输出信号作为锁相放大器的两个输入信号。锁相放大器的输出信号交给计算机处理，最终得出待测气体的浓度。相比于传统的石英增强光声光谱技术，本发明使用硅音叉作为声传感器，使用MEMS工艺加工、集成，体积小，可批量生产。
一种音叉增强声光气体检测系统

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