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[发明专利]结构色功能纳米结构及其制备方法-CN202310133752.4在审
发明人：史丽娜;王冲;牛洁斌;尚潇;李龙杰;陈生琼;谢常青;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种结构色功能纳米结构及其制备方法，其中，该结构包括：介质衬底；位于介质衬底上的超表面结构，用于选择性的反射入射光；其中，超表面结构包括：金属膜，位于介质衬底上；介质层，位于金属膜上；金属纳米颗粒阵列，位于介质层上。
结构功能纳米及其制备方法

[发明专利]一种防伪彩色标签及其制作方法和印刷品的制备方法-CN202110466640.1在审
发明人：王冲;史丽娜;牛洁斌;尚潇;李龙杰;陈生琼;谢常青;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G09F3/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种防伪彩色标签及其制作方法和印刷品的制备方法，包括：金属薄膜；位于所述金属薄膜上的纳米级介质薄膜，所述纳米级介质薄膜包括裸露所述金属薄膜的多个椭圆孔所形成的椭圆孔阵列。本发明提供的防伪彩色标签，基于表面等离激元共振原理，当纳米级介质薄膜侧接入入射光后，通过椭圆孔阵列激发表面等离激元共振产生的结构色，进而实现彩色防伪功能。本发明提供的技术方案，避免现有采用化学染料形成防伪标签的情况，不仅使得防伪彩色标签绿色环保，而且易于制作且防伪图案分辨率高。
一种防伪彩色标签及其制作方法印刷品制备方法

[发明专利]一种OLED显示设备及其制造方法-CN202210553309.8在审
发明人：史丽娜;王冲;尚潇;李龙杰;陈生琼;胡劲宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明涉及纳米光子学技术领域，尤其涉及一种OLED显示设备及其制造方法，该OLED显示设备包括：OLED基底；位于所述OLED基底之上的全反射镜层，其中，所述全反射镜层包括超表面结构，所述超表面结构为圆柱阵列纳米结构；位于所述全反射镜层之上的平坦层；位于所述平坦层之上的阳极；位于所述阳极之上的发光层；位于所述发光层之上的阴极；位于所述阴极之上的覆盖层。该OLED显示设备提高了发光效率，提高显示出的三色光的色纯度，增强了分辨率，提升用户的体验度。
一种 oled 显示设备及其制造方法

[发明专利]一种实现结构色的纳米结构及其制备方法-CN202210319265.2在审
发明人：史丽娜;李泠;刘明;李龙杰;尚潇;王冲;陈生琼;牛洁斌;薛惠文;胡劲宇 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： B82B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及结构色超表面技术和显示技术领域，尤其涉及一种实现结构色的纳米结构及其制备方法，该实现结构色的纳米结构，包括：包括：衬底，位于衬底上的手性纳米结构，该手性纳米结构呈周期性阵列排布，该周期性阵列排布的参数为在x方向和y方向的排布周期均为200nm～500nm，以用于在各种观测条件下进行显色，该手性纳米结构具体采用大于预设折射率的介质材料，由于手性纳米结构的偏振转换能力以及材料的性质，可以降低损耗，提高显色分辨率。
一种实现结构纳米及其制备方法

[发明专利]一种防伪结构及其制备方法-CN202210320654.7在审
发明人：史丽娜;刘明;李龙杰;王冲;尚潇;陈生琼;牛洁斌;薛惠文;胡劲宇;李泠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G02B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及结构色超表面技术和显示技术领域，尤其涉及一种防伪结构及其制备方法，该防伪结构包括：单层衬底或者双层衬底；位于单层衬底或者双层衬底上秤阵列排布的手性结构，阵列排布的周期为：在x方向和y方向上的排布周期均为500nm～900nm；在采用交叉偏振观测时，可观测到肉眼观测不到的防伪信息，该防伪信息为手性结构按照不同的排布周期所形成的，通过周期排布的手性结构来记载防伪信息，进而在交叉偏振观测下看到肉眼看不到的防伪信息，实现了结构色的防伪效果。
一种防伪结构及其制备方法

[发明专利]一种基于介质纳米结构的拓扑边缘态波导及其制造方法-CN202210151255.2在审
发明人：胡劲宇;史丽娜;李龙杰;王冲;尚潇;陈生琼;薛惠文 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于介质纳米结构的拓扑边缘态波导及其制造方法，其中，所述基于介质纳米结构的拓扑边缘态波导，包括：衬底；设置在衬底上的埋氧层；以及设置在埋氧层上的纳米孔阵列层；纳米孔阵列层设置有由正六边形孔组成的第一纳米孔阵列和第二纳米孔阵列，第一纳米孔阵列和第二纳米孔阵列的交界处形成边缘态结构，边缘态结构用于选择性的接收和/或传播对应波长的光。本发明实施例在有限的尺寸范围内扩大了波导的带隙，并且兼容现有工艺，不增加工艺成本。
一种基于介质纳米结构拓扑边缘波导及其制造方法

[发明专利]防伪结构、防伪结构的制备方法和芯片-CN202111052314.2在审
发明人：史丽娜;尚潇;李龙杰;陈生琼;谢常青;李泠 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-09-08 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G09F3/02 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种防伪结构、防伪结构的制备方法和芯片，其中防伪结构包括：基底层；多个凸起结构，形成于所述基底层上，其中，用于制备所述凸起结构的材料的折射率大于1.4。当入射光照射在防伪结构上时，入射光会与多个凸起结构产生米氏共振现象，使得防伪结构的凸起结构上不同角度反射的光线不同，进而使得经由不同的角度看向防伪结构时会呈现不同的颜色，基于此即可实现防伪作用，本申请实施例提供的防伪结构基于结构色进行显色，无需依赖于颜料，分辨率高，使得防伪结构难以被仿制，且本申请实施例提供的防伪结构无需依赖于化学染料，能够降低对环境的污染。
防伪结构制备方法芯片

[发明专利]显色结构、显色结构的制备方法和防伪标识-CN202111037919.4在审
发明人：史丽娜;王冲;牛洁斌;尚潇;李龙杰;陈生琼 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-09-06 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G09F3/02 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种显色结构、显色结构的制备方法和防伪标识，其中显色结构包括：基底层；椭圆孔阵列层，形成于所述基底层上，所述椭圆孔阵列层包括多个椭圆状的通孔；第一显色颗粒层，设置在所述基底层上，位于所述通孔内，当光线入射到显色结构时，光线会在第一显色颗粒层和椭圆孔阵列层之间产生生米氏共振现象，光线能够在第一显色颗粒层和椭圆孔阵列层之间进行耦合，进而使得显色结构有选择性地反射入射光，从而产生生动的颜色，本申请实施例通过在椭圆状的通孔内设置第一显色颗粒层能够提高颜色的分辨率，特别是能够在亚波长范围内具有高分辨，且与目前技术中的化学染料和颜料相比具有环境友好性以及良好的耐久性。
显色结构制备方法防伪标识

[发明专利]基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法-CN202010256967.1有效
发明人：史丽娜;李龙杰;牛洁斌;陈生琼;尚潇;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法。其中，该图像显示装置包括：衬底，该衬底为硅和二氧化硅组成的双层衬底；硅圆柱纳米结构，形成于该衬底上，且该硅圆柱纳米结构通过对光的米氏共振作用产生结构色；金属掩膜铬，覆盖于该硅圆柱纳米结构上；其中，该硅圆柱纳米结构和形成于其上的金属掩膜铬共同构成一个硅‑铬圆柱纳米结构，多个该硅‑铬圆柱纳米结构呈阵列排布形成一个圆柱纳米结构阵列。本发明提供的该基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法，采用周期纳米结构，对环境友好，与半导体工艺兼容，不褪色，改变纳米结构的尺寸和纳米结构阵列的间隙便可使结构色发生变化，容易观察。
基于结构图像显示装置系统装置制作方法

[发明专利]基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法-CN202010256939.X有效
发明人：李龙杰;史丽娜;牛洁斌;尚潇;陈生琼;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法。其中，该图像显示装置包括：衬底，所述衬底为硅和二氧化硅组成的双层衬底；硅圆柱纳米结构，形成于该衬底上，且该硅圆柱纳米结构通过对光的米氏共振作用产生结构色；其中，多个该硅圆柱纳米结构呈阵列排布形成一个圆柱纳米结构阵列。本发明提供的该基于结构色的图像显示装置、系统及该装置的制作方法，采用周期纳米结构，对环境友好，与半导体工艺兼容，不褪色，改变纳米结构的尺寸和纳米结构阵列的间隙便可使结构色发生变化，容易观察。
基于结构图像显示装置系统装置制作方法

[发明专利]一种染料激光器及其制备方法-CN202110643108.2在审
发明人： 陈生琼;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H01S3/213 文献下载
摘要：本发明公开了一种染料激光器及其制备方法，包括：半导体衬底；位于所述半导体衬底上的第一绝缘介质层；位于所述第一绝缘介质层背离所述半导体衬底一侧的多条单晶硅线，所述单晶硅线沿第一方向延伸，且所述多条单晶硅线沿第二方向周期排列，所述第一方向和所述第二方向相交；及，覆盖所述多条单晶硅线、且填充相邻所述单晶硅线之间间隙处的第二绝缘介质层，所述第二绝缘介质层中包括有染料。本发明提供的染料激光器不仅结构简单，并且该染料激光器的制备工艺简单。
一种染料激光器及其制备方法

[发明专利]一种硅纳米结构的制备方法及激光器-CN202110562250.4在审
发明人： 陈生琼;史丽娜;牛洁斌;李龙杰;尚潇;谢常青 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： H01L21/308 文献下载
摘要：本公开提供一种硅纳米结构的制备方法及激光器，包括：在衬底上形成具有刻蚀图形的光刻胶层；在光刻胶层上依次蒸镀铬掩膜层、铝掩膜层；剥离光刻胶层；根据铬掩膜层、铝掩膜层的图形，刻蚀衬底，依次去除铝掩膜层、铬掩膜层，得到含纳米狭缝的双硅线结构。本公开的制备方法可制备含纳米狭缝的双硅线结构，制造工艺简单，且当外层涂覆一层含增益材料的薄膜时，此结构的光学特性体现出激光的性能，此结构可用于纳米激光器。本公开还提供了一种含双硅线结构的激光器。
一种纳米结构制备方法激光器

[发明专利]结构色功能纳米结构及其制备方法-CN202011637205.2在审
发明人：史丽娜;王冲;牛洁斌;尚潇;李龙杰;陈生琼;谢常青;李泠;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种结构色功能纳米结构及其制备方法，其中，该结构包括：介质衬底；位于介质衬底上的超表面结构，用于选择性的反射入射光；其中，超表面结构包括：金属膜，位于介质衬底上；介质层，位于金属膜上；金属纳米颗粒阵列，位于介质层上。
结构功能纳米及其制备方法

[发明专利]一种基于单根硅线的增益辅助超共振-CN201910221770.1有效
发明人：史丽娜;陈生琼;谢常青;牛洁斌;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明提供一种基于单根硅线的增益辅助超共振，所述增益辅助超共振包括：硅衬底层和二氧化硅层；在所述二氧化硅层上端面按照预设排布周期设置有单晶硅线；在所述二氧化硅和所述单晶硅线的表面覆盖有嵌入了增益材料的二氧化硅增益层。本发明能够使其能在510‑560纳米波段可以实现超共振，并且，利用四能级‑二粒子模型计算得到的发射谱，反射谱的谱线宽度与增益材料自身谱线宽度极大的缩小，同时，所述结构图形简单，工艺简单，可以形成超共振，极大的增强近场强度。
一种基于单根硅线增益辅助共振

[发明专利]一种含增益辅助的硅双线系统-CN201910221469.0有效
发明人：史丽娜;陈生琼;谢常青;牛洁斌;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明提供一种含增益辅助的硅双线系统，所述系统包括：二氧化硅衬底层；在所述二氧化硅衬底层上端面按照预设排布周期设置有硅双线组；在所述二氧化硅和所述硅双线组的表面覆盖有嵌入了增益材料的二氧化硅增益层。本发明能够使单晶硅线和外层二氧化硅层中所含有的增益材料产生耦合，并且两根单晶硅线之间也会产生近场耦合，从而极大的增强近场，发射谱和反射谱的谱线宽度也会极大减小，峰值极大增加。
一种增益辅助双线系统

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