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- [发明专利]一种遮罩组件-CN201610015066.7在审
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袁子鹰;陈志彦;黄世雄
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友达光电股份有限公司
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2016-01-11
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2016-05-11
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C23C14/04
- 本发明提供一种遮罩组件,包括一精细金属遮罩和一金属框架。精细金属遮罩固定于金属框架且具有两个拉伸区与一图案区。拉伸区分别位于图案区的相对两侧,其中,每个拉伸区包括一半圆弧形的镂空部,藉由镂空部来改善拉伸过程中的应力分布。相比于现有技术,本发明在精细金属遮罩的拉伸区各切割形成一个半圆弧状的镂空部,藉由该镂空部可降低应力,使拉伸过程中的张力在精细金属遮罩的表面更加均匀的分布。此外,本发明还可减少或消除张网过程中的褶皱,提高对位量测的准确性,减少焊接过程中的焊点失败的可能。
- 一种组件
- [实用新型]一种位相增强型薄膜厚度测量系统-CN201520084479.1有效
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丁志华;沈毅;陈志彦;赵晨;鲍文;李鹏
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浙江大学
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2015-02-06
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2015-09-02
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G01B11/06
- 本实用新型公开了一种位相增强型薄膜厚度测量方法和系统。该系统采用宽带扫频光源,其测量光路和参考光路中分别设置有测量子循环腔和参考子循环腔,利用测量光和参考光在两个子循环腔中的高速(光速)光循环,能够对待测薄膜样品同一横向位置处的薄膜位相进行累积放大测量(放大倍数等于测量光和参考光的光循环级次),从而增强薄膜位相探测的灵敏度。并且,由于该系统在对薄膜位相进行累积放大测量的过程中,测量光束始终照射于待测薄膜样品的同一横向位置,因而不同于利用测量光束在待测薄膜样品中多次反射进而求取薄膜反射率的光谱方法,该薄膜位相增强方法不会牺牲系统对待测薄膜样品的横向分辨能力。
- 一种位相增强薄膜厚度测量系统
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