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[发明专利]一种调控Pt膜层晶体生长取向的制备方法-CN202210695225.8在审
发明人：杨曌;丁燕;陆忠成;罗俊尧;李保昌;沓世我 -专利权人：广东风华高新科技股份有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明属于温度传感材料技术领域，涉及一种调控Pt膜层晶体生长取向的制备方法。本发明所述的制备方法包括如下工艺步骤：图案化掩膜、溅射镀膜、去除掩膜、退火处理。其中，通过溅射镀膜与退火处理工艺的结合，先后沉积缓冲层Ta层、功能层Pt层，通过调控溅射过程中氧气含量、退火处理的温度及保温时间，从而实现对Pt膜层晶体取向的调控。该方法得到的Pt膜层具有晶体取向多样、致密性高、TCR高及线性度好的优势，且该方法具有成本低、易操作、易实现批量或规模化生产、成品率高、稳定性高、所得的膜性能优越等特点，为推动Pt温度传感器的发展具有积极作用。
一种调控 pt 晶体生长取向制备方法

[发明专利]一种高性能ZIF-L/二氧化钒复合薄膜的制备方法-CN201911212754.2有效
发明人：田守勤;杨鑫伟;张勇强;刘秋芬;陆忠成;赵修建 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2019-12-02 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种高性能ZIF‑L/VO2复合薄膜的制备方法。以金属钒靶为溅射靶材，以氩气为反应气体，在石英玻璃基片上沉积得到钒膜；退火处理形成二氧化钒薄膜；化学法制备ZIF‑L溶胶；将化学法制备的ZIF‑L溶胶旋涂到所述二氧化钒薄膜上得到双层膜结构。本发明制备的ZIF‑L/VO2复合薄膜采用磁控溅射物理沉积法和化学法溶胶的结合，使得复合薄膜的可见光透过率和太阳光的调节效率得到了提升，所制备的ZIF‑L/VO2薄膜其可见光透过率为35.3％‑46.4％，太阳光调制效率为9.8％‑14.89％，具有广阔的应用前景。
一种性能 zif 氧化复合薄膜制备方法

[发明专利]一种二氧化钒基复合薄膜的制备方法-CN201910700292.2有效
发明人：田守勤;张勇强;赵修建;杨鑫伟;陆忠成 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种二氧化钒基复合薄膜的制备方法，包括以下步骤：以金属钒靶和氧化锌陶瓷靶溅射靶材，氩气为反应气体，在石英玻璃上沉积得到掺有氧化锌的钒膜；所得掺有氧化锌的钒膜放入退火炉中退火处理得到二氧化钒基复合薄膜。本发明磁控溅射过程中不需要对基片台进行加热处理，溅射过程简单，并将制备掺有氧化锌的钒膜与制备二氧化钒基复合薄膜过程分开处理，使得制备过程更易操控，后续的退火过程操作简单，不需要通入其他气体，符合大规模生产的要求。同时在保证二氧化钒一定量的基础上有钒酸锌生成，这极大的增加了薄膜的可见光透过率，且太阳光调制效率还略有提高，具有广阔的应用前景。
一种氧化复合薄膜制备方法

[发明专利]一种高耐久性二氧化钒薄膜的制备方法-CN201911022120.0有效
发明人：田守勤;陆忠成;张勇强;杨鑫伟 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2019-10-25 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C03C17/23 文献下载
摘要：本发明公开了一种高耐久性二氧化钒薄膜的制备方法。包括以下步骤：将介孔二氧化钒粉体加入到醋酸锌的乙醇溶液中超声‑磁力搅拌，同时缓慢滴加氨水至溶液有白色沉淀产生，转移至马弗炉中，加热得到高耐久性复合粉体；将聚乙烯吡咯烷酮与所得复合粉体置于二氧化锆球磨罐中，加入乙醇进行混合球磨，所得球磨液离心，取上层悬浮液干燥得到粉体，将粉体与无水乙醇混合制备得到镀膜液，利用旋涂法镀膜得到高耐久性二氧化钒薄膜。本发明制备得到的高耐久性二氧化钒薄膜，相对于传统的二氧化钒薄膜，具有很好的耐久性，同时拥有较好的太阳光调制效率和较高的可见光透过率。
一种耐久性氧化薄膜制备方法

[实用新型]车铣钻组合加工装备-CN201621229223.6有效
发明人：阳振峰;管延智;李强;尹洪佩;王海宣;陆忠成 -专利权人：北方工业大学
申请日： 2016-11-16 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： B23P23/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种车铣钻组合加工装备，包括底座、车削加工单元、钻孔加工单元、铣削加工单元和数控直驱转台单元；车削加工单元、钻孔加工单元和铣削加工单元呈“品”字形安装于底座之上；数控直驱转台单元位于车削加工单元、钻孔加工单元和铣削加工单元的中心位置。优点为车削、铣削、钻孔三个加工单元均可实现高度方向以及数控直驱转台的径向方向运动。数控直驱转台不仅可实现高速转动，还可实现分度转动。高速转动可在低于最高转速的范围内任意设定，分度转动可实现任意设定角度的转动。本实用新型主要用于大型圆盘类零件的加工，车削、铣削、钻孔加工可同时进行，不需要换刀，可有效提高零件的加工效率。
车铣钻组合加工装备

[发明专利]车铣钻组合加工装备以及车铣钻组合加工方法-CN201611017970.8在审
发明人：阳振峰;管延智;李强;尹洪佩;王海宣;陆忠成 -专利权人：北方工业大学
申请日： 2016-11-16 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： B23P23/02 文献下载
摘要：本发明提供一种车铣钻组合加工装备以及车铣钻组合加工方法，装备包括：底座、车削加工单元、钻孔加工单元、铣削加工单元和数控直驱转台单元；车削加工单元、钻孔加工单元和铣削加工单元呈“品”字形安装于底座之上；数控直驱转台单元位于车削加工单元、钻孔加工单元和铣削加工单元的中心位置。优点为：车削、铣削、钻孔三个加工单元均可实现高度方向以及数控直驱转台的径向方向运动。数控直驱转台不仅可实现高速转动，还可实现分度转动。高速转动可在低于最高转速的范围内任意设定，分度转动可实现任意设定角度的转动。本发明主要用于大型圆盘类零件的加工，车削、铣削、钻孔加工可同时进行，不需要换刀，可有效提高零件的加工效率。
车铣钻组合加工装备以及方法