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[发明专利]极紫外光光刻方法和系统-CN202110843419.3有效
发明人：马修泉;王长久;闻锦程;吴寒;王力波;孙克雄;马新敏;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光光刻方法、系统、计算机设备和存储介质。方法通过获取极紫外光光刻请求；根据所述极紫外光光刻请求生成液滴靶材，并生成液滴靶材对应的多路脉冲激光；将多路脉冲激光聚焦于液滴靶材，以使液滴靶材等离子体化，获取激光等离子体；采集激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源，基于光刻光源完成极紫外光光刻请求对应的光刻任务。本申请针对光源驱动能量不足的问题，将多路脉冲激光经过聚焦后作用于液滴靶材，从而生成激光等离子体，通过多路激光的叠加来获得打靶所需的高能量，可以有效提高光刻光源的发光效率，从而保证紫外光光刻质量。
紫外光光刻方法系统

[发明专利]极紫外光光刻方法和系统-CN202110843435.2有效
发明人：吴寒;闻锦程;马修泉;王力波;孙克雄;马新敏;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光光刻方法、系统、计算机设备和存储介质。方法通过获取极紫外光光刻请求；根据极紫外光光刻请求生成液滴靶材，并生成液滴靶材对应的高功率激光；将高功率激光作用于液滴靶材，以使液滴靶材等离子体化，获取激光等离子体；将高功率激光和预设电磁场同时作用于激光等离子体，以使激光等离子体维持几何形态和激发状态；采集激光等离子体发射的符合预设要求的光作为光刻光源，基于光刻光源完成极紫外光光刻请求对应的光刻任务。本申请将高功率激光和预设电磁场同时作用于激光等离子体，以使激光等离子体维持几何形态和激发状态，从而可以有效提高光刻光源的发光效率，从而保证紫外光光刻质量。
紫外光光刻方法系统

[发明专利]极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统-CN202110458736.3有效
发明人：马修泉;王力波;闻锦程;吴寒;刘怀亮;马新敏;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统。所述方法包括：输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；在液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器发射预脉冲激光，使液滴在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器发射主脉冲激光，使云雾团在主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，等离子体用于产生极紫外辐射。采用本申请实施例方法，能够有效提高等离子体极紫外辐射转换效率。
紫外辐射控制方法装置电子设备系统

[发明专利]极紫外光产生方法和装置-CN202110129878.5有效
发明人：马修泉;王奕淳;马新敏;吴寒;刘怀亮;闻锦程;王力波 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光产生方法和装置，该方法包括：包括：控制目标液滴产生器产生目标液滴；根据目标液滴产生器的启动时间，确定预设触发时间；控制激光光源装置在预设触发时间，发射脉冲激光并将脉冲激光聚焦于真空环境中的预设打靶位置，击打目标液滴，使目标液滴受到与目标液滴的运动方向反向的激光作用力，产生极紫外光；控制液滴消散装置产生交变电场处理脉冲激光击打后的目标液滴的剩余废液，并获取液滴消散装置发送的反馈信息；根据反馈信息，调整激光光源装置的工作参数。上述极紫外光产生方法，具有打靶激光能量转换效率高的优点。
紫外光产生方法装置

[发明专利]极紫外光产生方法和装置-CN202011630976.9有效
发明人：马修泉;王奕淳;吴寒;刘怀亮;闻锦程;王力波 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光产生方法和装置，该方法包括：液滴发生装置沿液滴运动路径产生液滴靶；液滴靶脱离液滴发生装置时，具备预设的初始自转角速度；激光光源装置产生辐射脉冲激光，并将辐射脉冲激光聚焦于真空环境中的预设打靶位置；辐射脉冲激光在预设打靶位置，沿垂直于液滴靶的转动平面的方向击打液滴靶，以使液滴靶受到激光作用并被等离子体化，产生极紫外光。上述极紫外光产生方法，液滴靶在沿液滴运动路径运动的同时自转，转变为饼状，辐射脉冲激光的传输路径垂直于饼状所在平面，有利于增大辐射脉冲激光的作用面积，使该辐射脉冲激光的能量被液滴靶充分吸收，进而提高打靶激光的能量利用率。
紫外光产生方法装置

[发明专利]极紫外光产生方法及装置-CN202010875810.7有效
发明人：马修泉;夏心宇;吴寒;王奕淳;何泓樟;王长久;张琳;闻锦程 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种极紫外光产生方法和装置，该方法包括：在真空环境中沿滴落方向产生靶材液滴串；生成频率与所述靶材液滴串的频率匹配的高功率激光；将高功率激光聚焦后沿滴落方向反向击打滴落的所述靶材液滴串，以使所述靶材液滴受到与所述滴落方向相反的激光作用并被等离子体化，进而产生极紫外光。一种极紫外光产生装置，包括靶材液滴发生器、高功率激光光源装置和聚焦透镜。本发明使用一套高功率激光光源装置，一次打靶产生所需的极紫外光，装置简单，设备调试和维护方便，有利于降低成本。
紫外光产生方法装置

[发明专利]一种利用激光实现两异质材料连接的方法及装置-CN202011580067.9在审
发明人：马修泉;张琳;吴寒;闻锦程;邢胜博 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本发明属于激光材料加工相关技术领域，其公开了一种利用激光实现两异质材料连接的方法及装置，该方法包括：将两异质材料上下叠放固定，采用激光从上部对其进行照射，使得上层的异质材料被穿透烧蚀形成孔隙，且下层的异质材料被熔化后扩散至所述孔隙，冷凝后实现两异质材料的稳固连接。本申请通过激光光束使得一种材料被烧结出现孔隙，另一种材料被熔化后流动进入该孔隙中冷凝，实现两异质材料的连接，操作简单，无污染，成本低，便于工业化应用。
一种利用激光实现两异质材料连接方法装置

[发明专利]液滴靶产生装置、方法和极紫外光源产生系统-CN202011480518.1在审
发明人：马修泉;张琳;吴寒;闻锦程;王力波;王新兵;左都罗;陆培祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种液滴靶产生装置、方法和极紫外光源产生系统，其中，该装置包括靶材盒、限制装置、非接触式加热器和控制器；靶材盒内放置有预设规格的固体靶材，限制装置和所述非接触式加热器依次设置于靶材盒和真空环境中的预设激光击打位置之间的靶材运动路径上；控制器连接限制装置和非接触式加热器，用于控制限制装置限制每次只有一个固体靶材通过；固体靶材通过限制装置后，在外力场的作用下继续沿靶材运动路径运动，在通过非接触式加热器的加热区域时，控制器控制非接触式加热器将固体靶材加热至熔融状态，形成液滴靶。上述液滴靶产生装置，具有成本低的优点。
液滴靶产生装置方法紫外光源系统

[发明专利]一种超快激光异种材料焊接质量评判方法及系统-CN202010367100.3有效
发明人：马修泉;张琳;吴寒;闻锦程;廖博文 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： G01N21/25 文献下载
摘要：本发明属于激光材料加工技术领域，并具体公开了一种超快激光异种材料焊接质量评判方法及系统，具体包括如下步骤：S1对多个异种材料工件进行激光焊接，同时采集工件焊接时对应的光谱图，得到光谱数据集；S2将光谱数据集中，在波长550nm～750nm附近出现连续光谱的光谱图标记为焊接成功，不符合的光谱图标标记为焊接失败，得到标记后的光谱数据集；S3通过标记后的光谱数据集对神经网络进行训练，得到焊接质量判断模型，基于该焊接质量判断模型和异种材料工件激光焊接时的光谱图实现对焊接质量的自动实时评判。本发明结合了光谱检测和深度学习，可以实时在线监测激光焊接质量，具有效率高、成本低、实时监测和非破坏性的优点。
一种激光材料焊接质量评判方法系统

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