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[发明专利]通过有效切断干扰来提高晶圆测温精度的方法-CN202310892216.2在审
发明人：李宰卿;崔令铉;金振元;杨志勇;王恒 -专利权人：扬州韩思半导体科技有限公司
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种通过有效切断干扰来提高晶圆测温精度的方法，包括晶圆或碳化硅环，在所述晶圆或碳化硅环侧边设置有缺口，在所述缺口上设置有一根石英管以及5µm厚度的晶圆感应高温计，所述的晶圆感应高温计安装在直接朝向晶圆或碳化硅环的面上，利用晶圆感应高温计直接读取发射率接近黑体的碳化硅环，以此解决在测量晶圆背面时不会因变色而导致温度测量误差来测量准确的温度，在所述石英管内填充有用于净化空气的氮气，在所述石英管侧边设置有与石英管连通的氮气冲入管道，在所述晶圆或碳化硅环的外侧间隔设置有一个以上的灯，所有灯与缺口同侧设置，且在所有灯的下方设置有一块反光面，在所述石英管下方设置有透镜。本发明提高温度检测精度。
通过有效切断干扰提高测温精度方法

[发明专利]能够移动的电子设备及其操作方法-CN201880062061.7有效
发明人： 金振元;鞠中甲;韩承泛;张栋植 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2018-09-11 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：提供了一种电子设备。该电子设备包括至少一个处理器和存储器。该存储器存储有指令，该指令在被执行时使至少一个处理器确认与由该电子设备的输入设备获取的任务执行指令相对应的任务；确认与该任务相对应的用户信息，基于该任务和该用户信息，参考与所确认的用户信息相对应的用户的位置，确认该电子设备执行该任务的目标地点，以及控制该电子设备的驱动电路将该电子设备移动到所确认的目标地点。
能够移动电子设备及其操作方法

[发明专利]一种晶片混合清洗装置及其方法-CN202210750280.2在审
发明人：成鲁荣;李宰卿;崔令铉;金振元 -专利权人：扬州韩思半导体科技有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片混合清洗装置，包括箱体，所述箱体的两侧均通过安装箱固定连接有第一电机，并且第一电机的输出端固定连接有第一锥齿轮，所述箱体内壁的两侧均通过支架转动连接有螺纹杆，并且螺纹杆表面的顶部固定连接有与第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮，本发明涉及晶片技术领域。该晶片混合清洗装置及其方法，使用等离子体干法蚀刻工艺是在不损坏晶片加工区域的芯片的情况下仅去除晶片边缘所需去除的精准尺寸，因此在满足快速去除的生产率等方面等离子干法蚀刻方式表现出更好的工艺效果，而且在等离子蚀刻处理之后直接可以进行清洗处理，减少了操作流程，也可以避免晶片在转移的过程中受到二次污染。
一种晶片混合清洗装置及其方法

[发明专利]一种半导体硅晶片制造用真实温度检测方法-CN202210549082.X在审
发明人：李宰卿;成鲁荣;崔令铉;金振元;杨志勇 -专利权人：扬州韩思半导体科技有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体硅晶片制造用真实温度检测方法，具体包括以下步骤；S1、与辐射率阅读器的相同位置上安装高温计并进行校准(补偿)代替现有技术，即在硅晶片内的相同位置上，主要是在硅晶片中心部位同时测量发射率和高温计，这时依测量的实际工艺硅晶片的发射率补偿过的高温计的实际测量值来控制PID，本发明涉及半导体温度检测技术领域。该半导体硅晶片制造用真实温度检测方法，可以克服现有技术中稳定区间的测量温度准确性问题(发射率固定时)，即温度误差控制，现有技术主要是以裸晶片为基准进行温度控制，但本发明是对沉积各种薄膜的硅晶片的温度来进行温度控制，根据发射计数值补偿发射率，通过修改的校准数据校准准确执行。
一种半导体晶片制造真实温度检测方法

[发明专利]机器人真空吸尘器及其清洁路线规划方法-CN201980079752.2有效
发明人：韩承汎;鞠中甲;权茂植;金振元 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2019-12-05 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： A47L9/28 文献下载
摘要：一种由机器人真空吸尘器执行的规划清洁路线的方法包括：基于使用机器人真空吸尘器中包括的至少一个传感器而生成的室内空间地图，将室内空间划分为至少一个可清洁区域；基于机器人真空吸尘器的清洁模式，将所述至少一个可清洁区域划分为多个局部区域；以及基于清洁模式为第一模式，规划第一清洁路线以相对于所述多个局部区域中的每个来控制机器人真空吸尘器的方向改变的次数。
机器人真空吸尘器及其清洁路线规划方法

[发明专利]用于监控纺丝车间的方法和设备-CN201210257569.7有效
发明人： 金振元;安俊杰;杨旭东 -专利权人：欧瑞康纺织技术(北京)有限公司
申请日： 2012-07-24 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： D01D13/00 文献下载
摘要：本发明涉及监控用于生产合成纤维线的纺丝车间的方法和设备，其中通过多个纺丝工位成组地纺制纤维线、牵伸该纤维线且将该纤维线卷绕成丝饼，在各种情况下该纺丝工位具有多个加工组件。在这种情况下，每个纺丝工位通过测量传感器检测和监控至少一个操作参数。为了避免测量值信号的信号发送期间在电缆网络中的相互作用，根据本发明，来自测量传感器的测量值信号通过测量值发送器以无线的方式提供给测量值接收器。
用于监控纺丝车间方法设备

[发明专利]纺丝机-CN201380008542.7有效
发明人： 金振元;安俊杰;张震宇;杨旭东;A·绍尔 -专利权人：欧瑞康纺织有限及两合公司
申请日： 2013-04-03 - 公布日： 2017-03-22 - 主分类号： D01D13/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于生产合成纱线的纺丝机，其具有至少一个纺丝装置(1)、一个导丝辊装置(2)、一个卷绕头装置(3)和一个控制装置(4)。控制装置(4)具有主控制单元(20)，该主控制单元用于控制和监测分配给纺丝装置(1)、导丝辊装置(2)和卷绕头装置(3)的多个驱动器(5.1、7.1、10.3、11.1、12.1、14.1、15.1)，卷绕头装置(3)的驱动器(14.1、15.1)由卷绕头控制单元(21)控制。为了在操作状态变化期间获得尽可能短的控制时间，纺丝装置(1)的驱动器中的至少一个驱动器(7.1)经由卷绕头控制单元(21)直接地或间接地联接到主控制单元(20)。
纺丝

[发明专利]用于监控纺纱车间的方法和设备-CN201210257587.5在审
发明人： 金振元;安俊杰;杨旭东 -专利权人：欧瑞康纺织技术(北京)有限公司
申请日： 2012-07-24 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： B65H63/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于监控生产合成纱线的纺纱车间的方法和设备。在该情况下，纱线通过均具有多个加工组件的多个纺纱站成组地纺织，被拉伸并卷绕成筒子。为了监控，对每个纺纱站的至少一个操作参数和/或每个纺纱站的一个产品参数进行监控，根据实际/期望值比较，操作参数和/或产品参数产生用于停用相应纺纱站的控制指令。从而根据本发明，在这类生产停止的情况下，能够开始尽快的反应过程，在停用纺纱站时，报警指令并行产生并且启动用于发送电子消息的发送装置。
用于监控纺纱车间方法设备

[发明专利]纺丝机-CN201210098748.0无效
发明人： 金振元;安俊杰;张震宇;杨旭东;A·绍尔 -专利权人：欧瑞康纺织技术(北京)有限公司;欧瑞康纺织有限及两合公司
申请日： 2012-04-06 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： D01D13/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于生产合成纱线的纺丝机，其具有至少一个纺丝装置、一个导丝辊装置、一个卷绕头装置和一个控制装置。控制装置具有主控制单元，该主控制单元用于控制和监测分配给纺丝装置、导丝辊装置和卷绕头装置的多个驱动器，卷绕头装置的驱动器由卷绕头控制单元控制。为了在操作状态变化期间获得尽可能短的控制时间，根据本发明，纺丝装置的驱动器中的至少一个经由卷绕头控制单元直接地或间接地联接到主控制单元。
纺丝

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