专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]多晶硅生长装置-CN201210267188.7无效
  • 李昶徕;金升铉;姜承吾;朴奎东;朴健 - 半材料株式会社
  • 2012-07-31 - 2014-02-12 - C01B33/035
  • 本发明公开一种为了改善能源效率并减少污染而利用过热蒸气或经加热的非活性气体的多晶硅生长装置。本发明提供一种多晶硅生长装置,其包括:钟形(bell-jar)反应部,具有供应原料气体的气体投入口及排出废气的气体排出口,以在内部腔室形成多晶硅的生长环境;电极部,其包括导入电流的第一电极和从第一电极分隔配置并通电的第二电极;硅芯棒部,其两端部连接第一电极和第二电极之间,通电时,该硅芯棒部因电阻加热而升温;以及过热蒸气型加热部,其产生过热蒸气而供应到钟形反应部的内部,来加热硅芯棒部。
  • 多晶生长装置

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