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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]完全自对准减材蚀刻-CN202180041099.8在审
发明人：冯立丽;代宇琼;马杜尔·萨坎;里贾娜·弗雷德;浩勇·大卫·黄 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：描述了提供完全自对准的第一金属化线、M1、过孔、和第二金属化线、M2的设备与方法。第一金属化线包括在基板上的第一绝缘层上沿第一方向延伸的一组多条第一导线；第二金属化线包括在该第一金属化线上方的蚀刻停止层上的一组多条第二导线，该组多条第二导线沿第二方向延伸，该第二方向以一定角度与该第一方向交叉；以及位于该第一金属化线和该第二金属化线之间的至少一个过孔，该至少一个过孔包括过孔金属化层，其中该至少一个过孔沿该第二方向与第一金属化线的一者自对准，且该至少一个过孔沿该第一方向与第二金属化线的一者自对准，该第二方向以一角度与该第一方向交叉。
完全对准蚀刻

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