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- [发明专利]基板处理装置及方法-CN202111084342.2在审
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郭基荣;李炫浩
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细美事有限公司
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2021-09-15
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2022-07-01
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H01L21/67
- 本发明提供能够通过对基板的表面和背面高效地进行清洗处理来提高生产率的基板处理装置及方法。所述基板处理装置包括：处理模块，包括支承基板的基板支承部、翻转所述基板的翻转部、以及用于处理所述基板的处理部；以及传送模块，向所述处理模块传送基板，其中，所述传送模块将第一面朝上的基板引入到所述处理模块中并安置在所述翻转部上，所述翻转部翻转所述基板以使第二面朝上，并将经翻转的基板提供给所述基板支承部，所述处理部对安置在所述基板支承部上的基板的第二面进行第一处理，所述翻转部翻转经所述第一处理的基板以使第一面朝上，所述传送模块将所述第一面朝上的基板从所述处理模块取出，并将所述第一面朝上的基板再次引入到所述处理模块中并安置在所述基板支承部上，以及所述处理部对安置在所述基板支承部上的基板的第一面进行第二处理。
- 处理装置方法
- [发明专利]基板处理装置-CN202111047765.7在审
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孙东熙;郭基荣
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细美事有限公司
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2021-09-08
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2022-04-22
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H01L21/67
- 本发明提供在清洗工艺时抑制基板的表面吸附颗粒的基板处理装置。所述基板处理装置包括：支承单元，支承基板并且可旋转；第一喷嘴，向所述基板的第一区域喷出第一冲洗液；以及第二喷嘴，向所述基板的与所述第一区域不同的第二区域喷出第二冲洗液，其中，在第一时段期间，所述第一喷嘴将所述第一冲洗液喷出到第一区域，使得所述基板的第一区域和第二区域被所述第一冲洗液润湿，并且所述基板的一部分区域不被所述第一冲洗液润湿，且在与所述第一时段直接连接的第二时段期间，所述第一喷嘴将所述第一冲洗液喷出到所述第一区域，并且所述第二喷嘴将所述第二冲洗液喷出到所述第二区域，使得所述基板的整个上表面被所述第一冲洗液和所述第二冲洗液润湿。
- 处理装置
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