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[发明专利]晶圆浸泡片盒装置-CN202310361922.4在审
发明人：李元升;郭立刚;夏楠君;艾海丰;魏红军;黄鑫亮;郭育鹏;郑静涛 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆生产设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆浸泡片盒装置。该晶圆浸泡片盒装置包括挡板、箱体、抖动驱动机构和晶圆固定组件；箱设置有箱体开口，挡板可开合地设置于箱体开口处；抖动驱动机构与箱体相连接，并能够驱动箱体往复移动；箱体内的晶圆固定组件包括两个相对设置的定位主体，定位主体上设置定位凹槽，定位凹槽形成有第一槽底和第二槽底，并贯通定位主体面向挡板的端部，两个定位主体上的定位凹槽一一对应地成组设置，当晶圆插接于定位凹槽内，成组设置的定位凹槽的第一槽底抵持晶圆的外沿，定位凹槽的第二槽底与挡板在预定误差内限位晶圆。该晶圆浸泡片盒装置，沿直线进出浸泡槽和抖动，提高生产效率，实现高精度取放晶圆。
浸泡盒装

[发明专利]一种黑铬电镀液、复合镀层及其制备方法-CN201710467269.4有效
发明人： 郑静涛;刘建兵;张宇 -专利权人：四维尔丸井(广州)汽车零部件有限公司
申请日： 2017-06-19 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： C25D3/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种黑铬电镀液、复合镀层及其制备方法。该黑铬电镀液包括如下浓度组分的水溶液：氯化铬100‑150g/L、硼酸55‑70g/L、导电盐160‑305g/L、络合剂70‑160g/L、润湿剂0.02‑0.15g/L、硫酸亚铁铵0.5‑1.5g/L及发黑剂10‑50g/L；其中所述发黑剂为蛋氨酸、硫氰化钾和天冬氨酸的混合物。采用该黑铬电镀液电镀形成的三价黑铬镀层的黑色深，均匀覆盖能力强，并能够与光亮铜层、半光亮镍层、光亮镍层、微孔镍层及钝化膜层相配合，使整体获得的复合镀层具有强耐腐性并呈均匀深黑色。
一种电镀复合镀层及其制备方法

[发明专利]电镀件的镀层厚度测试方法-CN201710154050.9在审
发明人： 郑静涛;吴姝婷;肖义洪 -专利权人：四维尔丸井(广州)汽车零部件有限公司
申请日： 2017-03-15 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种电镀件镀层厚度的测试方法，所述镀层为层叠设置的铜层、多层镍层、铬层中的两层或两层以上；所述测试方法包括取电镀件，然后按照所述层叠设置的顺序依次对所述镀层进行检测，检测的方法包括铜层检测采用库伦法，以硝酸铵和氨水的水溶液作为电解液进行检测，即得；多层镍层检测采用库伦法，以氯化镍、氯化钠和硼酸的水溶液作为电解液进行检测，即得；或，采用库伦法，以硫氰化钠和硫酸铵的水溶液作为电解液进行检测，即得；铬层检测采用库伦法，以硫酸钠和磷酸的水溶液作为电解液进行检测，即得。本发明的检测方法可独立的对各镀层进行电解测试，且测试结果准确。
电镀镀层厚度测试方法