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[实用新型]旋转加工台及晶圆加工设备-CN202222479436.6有效
发明人： 郑磊荣;李福海;尹建刚;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种旋转加工台及晶圆加工设备，旋转加工台，包括：机架；安装板，设置于所述机架上；载台，可转动安装于所述安装板上；以及，驱动机构，包括伺服电机以及传动组件，所述伺服电机设置于所述安装板上并位于所述机架的一侧，所述传动组件传动连接所述伺服电机与所述载台，用于将所述伺服电机的旋转驱动力传递给所述载台以带动所述载台旋转。本申请提供的旋转加工台，通过将伺服电机设置于安装板上并位于机架的一侧，并配合传动组件，将伺服电机的旋转驱动力传递给载台，进而带动载台旋转，可有效降低旋转加工台的整体高度，结构紧凑，避免了采用直驱旋转电机导致旋转加工台的整体高度增加进而导致空间占用大的问题。
旋转加工设备

[实用新型]激光设备-CN202221591249.0有效
发明人： 郑磊荣;李福海;朱锐;张远胜;黄利兵;罗成钢;陈康林;陈湘文;卢庆光;林远添;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本实用新型公开一种激光设备，该激光设备包括支撑架、激光器、第一滑轨、驱动装置、第一出光头、第二出光头、第一光路模块和第二光路模块，激光器、第一滑轨、驱动装置、第一光路模块和第二光路模块均设置于支撑架；驱动装置上设置有载物台，驱动装置用于带动载物台运动，第一出光头和第二出光头均滑设于第一滑轨；第一光路模块用于将激光器发射的激光束传输至第一出光头，以从第一出光头射出，第二光路模块用于将激光器发射的激光束传输至第二出光头，以从第二出光头射出。本实用新型技术方案采用一个激光器实现双工位加工，同时将第一滑轨与驱动装置分离设置，可以减小第一滑轨附近的空间占用率，减小激光设备的体积。
激光设备

[实用新型]激光加工设备-CN202221857521.5有效
发明人：张远胜;李福海;朱锐;郑磊荣;卢庆光;罗成钢;陈康林;高云峰 -专利权人：深圳市大族半导体装备科技有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种激光加工设备。激光加工设备包括：料盒机构，用于存放料片；轨道机构，其轨道能张开及收缩；上料机构，包括第一驱动组件、第一吸附组件及夹取组件；第一驱动组件能驱动第一吸附组件及夹取组件沿第一方向移动；夹取组件用于在料盒和轨道机构之间传送料片；第一吸附组件用于吸附轨道机构上的料片并上料；载台机构，设于轨道机构下方，用于承接第一吸附组件送来的料片并送至加工位；下料机构，包括第二驱动组件及第二吸附组件，第二驱动组件驱动第二吸附组件沿第一方向移动；第二吸附组件用于将载台机构上的料片移至轨道机构；第二驱动组件与第一驱动组件沿第二方向依次设置。本申请的激光加工设备尺寸较小、加工效率高。
激光加工设备

[实用新型]装机运输箱-CN202120863654.2有效
发明人： 郑磊荣;李福海;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种装机运输箱，包括：底板，用于承载待运输的设备；四块侧板，分别设置在所述底板的四边上；装卸轨道，设置在某一侧板上，并可在所述侧板放倒后，用于装卸所述设备；以及固定组件，设置在所述底板上，用于固定所述设备。所述装机运输箱通过在某一侧板上设置装卸轨道，并在该侧板放倒后可以直接通过侧板上的装卸轨道进行设备的装卸，从而在设备装卸过程中不需要任何起重设备的参与，使设备装卸过程更加方便快捷。
装机运输

[实用新型]自动切割清洗设备-CN202120864044.4有效
发明人： 郑磊荣;李福海;雷武;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动切割清洗设备，包括机架和所述机架上设置的：存料组件，用于存储料片；第一夹料组件，用于夹取料片；切割组件，用于切割料片；清洗组件，位于所述存料组件的下方；以及第二夹料组件，位于所述清洗组件的上方；其中，所述第一夹料组件夹取所述存料组件内的料片至所述切割组件进行切割，再由所述第一夹料组件夹取切割完成后的料片至所述第二夹料组件，通过所述第二夹料组件将所述料片送入清洗组件进行清洗。所述自动切割清洗设备通过设置清洗组件，使其不仅可以对料片进行自动切割，还可以对切割完成后的料片进行自动清洗，从而提高了对料片的清洗效率。
自动切割清洗设备

[外观设计]双轴全自动刀轮机-CN202030686443.7有效
发明人： 郑磊荣;李福海;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2020-11-12 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：双轴全自动刀轮机。2.本外观设计产品的用途：用于晶圆的切割。3.本外观设计产品的设计要点：在于双轴全自动刀轮机的整体形状构造。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计2立体图。5.指定设计1为基本设计。6. 请求保护的外观设计2要求保护颜色。
全自动轮机

[外观设计]刀轮切割机-CN202030013487.3有效
发明人：周照领;郑磊荣;吴铭堃;王克江;李福海;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2020-01-09 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：刀轮切割机。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于封装基板类材料的切割。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
切割机

[外观设计]精密龙门式划片机-CN201930277634.5有效
发明人：董文百;郑磊荣;周照领;王华良;林万虎;季京杰;于治平;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：精密龙门式划片机。2.本外观设计产品的用途：用于半导体行业晶圆硅片的切割。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
精密龙门划片

[外观设计]精密划片机-CN201930277871.1有效
发明人：董文百;周照领;郑磊荣;王华良;林万虎;季京杰;于治平;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：精密划片机。;2.本外观设计产品的用途：半导体行业晶圆硅片的切割。;3.本外观设计产品的设计要点：在于设计1和设计2的设计要点在于整体形状构造。;4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。;5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略设计1仰视图;本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略设计2仰视图。;6.指定设计1为基本设计。
精密划片机

[外观设计]精密自动切割机-CN201930277651.9有效
发明人：董文百;周照领;郑磊荣;王华良;林万虎;季京杰;于治平;尹建刚;高云峰 -专利权人：大族激光科技产业集团股份有限公司
申请日： 2019-05-31 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：精密自动切割机。;2.本外观设计产品的用途：用于半导体晶圆及陶瓷、玻璃、石英、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石的切割。;3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。;5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
精密自动切割机

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