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[实用新型]一种鼓泡供源柜-CN202121145064.2有效
发明人： 郑少宾;甘泽光;黄加政 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种鼓泡供源柜，包括柜体，柜体中设有水平隔板，水平隔板将柜体分隔成上控制柜和下源瓶柜，上控制柜中设有竖向隔板，竖向隔板将上控制柜分隔成内控制区和外控制区，外控制区和下源瓶柜中均设有烟雾探测器，外控制区的顶部管道连接尾气处理装置，外控制区中设有气体检测器，下源瓶柜中设有瓶体固定组件，柜体的底部安装有移动装置。与现有技术相比，本实用新型结构紧凑，将空气置换、负压显示、钢瓶放置平台、钢瓶固定装置集成于一体，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示，很大程度上解决了源瓶存储放置及运输的问题，安全性高，实用性强。
一种鼓泡供源柜

[实用新型]一种源瓶输送柜-CN202121147463.2有效
发明人： 郑少宾;甘泽光;胡云霞 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2021-05-26 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及特殊供气源瓶储存技术领域，特别涉及一种源瓶输送柜，包括柜体及柜门，所述柜体的顶部设有电气控制箱和指示灯，所述柜体中设有源瓶，所述源瓶的上方设有阀门控制组件，所述柜体管道连接尾气处理装置，所述尾气处理装置、指示灯和阀门控制组件均与所述电气控制箱电连接。与现有技术相比，本实用新型提供的一种源瓶输送柜，集成了空气置换、负压显示、钢瓶放置于一体的设备，空气置换保证了安全性，负压显示实时监测显示。很大程度上解决了双瓶源液柜的存储放置问题，防止特殊气体泄露，使得源液柜变得方便安全，并且大大减少了设备的占地面积，节约工厂建设成本。
一种输送

[实用新型]一种便于固定管道的装置-CN202121046512.3有效
发明人：胡云霞;郑少宾 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： F16L3/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及管道技术领域，特别涉及一种便于固定管道的装置，包括L型安装座，所述L型安装座的横向部开设有第一安装孔，所述L型安装座的竖向部设有管道安装座，所述管道安装座上可拆卸安装有管道固定组件。与现有技术相比，本实用新型提供的一种便于固定管道的装置，可以根据管道的走管方向，将管道安装在管道安装座的十字通槽中后，通过管道固定组件将管道与十字通槽固定，再将管道安装座通过螺栓安装在半导体盘面上，使装置更安全稳固，占用空间小、成本低廉，安装和拆卸方便，解决了半导体盘面上的管道固定难题。
一种便于固定管道装置

[实用新型]一种便于安装拆卸的测风流量装置-CN202121031149.8有效
发明人：黄加政;郑少宾 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G01F15/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及测风设备技术领域，特别涉及一种便于安装拆卸的测风流量装置，包括连接管，所述连接管的一管口连接有整流器，所述连接管的另一管口与通风管路连接，所述连接管上可拆卸连接有流量计；所述整流器包括筒体及密封设置于该筒体两筒口的整流板，所述整流板上开设有多个通风孔，所述通风孔覆盖筒体的筒口，任一所述整流板与所述连接管可拆卸连接。与现有技术相比，本实用新型提供的一种便于安装拆卸的测风流量装置，通过增加整流器，可很大程度上将流体从紊流状态变成层流状态，可提高测量的准确性，装置整体采用可拆卸的安装方式，可以现场快速组装，并安装到不同的测试风道上，提高设备的利用率，降低了材料成本，节约成本。
一种便于安装拆卸风流装置

[实用新型]一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备-CN202020841222.7有效
发明人： 郑少宾;可建;聂庆庆;梁显宁 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2020-05-19 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： B01D1/00 文献下载
摘要：本实用新型源液蒸发柜领域，尤其涉及一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，一种带源液罐三甲基铝蒸发输送设备，包括：柜体，设置在柜体中的缓冲罐、源液罐、蒸发器、真空发生器，若干输出管阀和扫吹管阀，以及设置在柜体外壳体上的微控制器；采用本实用新型，源液罐配合缓冲罐实现了带源蒸发柜的应用，并且通过缓冲罐实现了源液罐的在线更换；源液罐与缓冲罐出液端设有液体流量计，手动隔膜阀后段设置有气体流量计，配合微控制器，实现信息的数据化采集，并信号控制真空发生器与蒸发器，显示操作的信息化与自动化。
一种带源液罐三甲基蒸发输送设备

[实用新型]一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备-CN202020789059.4有效
发明人：可建;郑少宾;江蓉;田明雨 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： F17D1/06 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体及光伏技术领域，提供了一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备，包括设备柜体，所述设备柜体内固定安装有输送组件，输送组件包括进液管、进气管、蒸发器和缓冲罐，进液管上通过四通连接件连接第一进液管、第二进液管和第三进液管，第一进液管与缓冲罐连接，第二进液管与蒸发器的进液端连接，进气管通过三通连接件连接第一进气管和第二进气管，第一进气管与缓冲罐连接，第二进气管通过三通连接件连接第三进气管和第四进气管，第三进气管与蒸发器的进气端连接，进液管上安装有用于控制进液管开启或关闭的第一控制组件。本实用新型的一种带缓存罐三甲基铝蒸发输送设备，避免发生TMA原液供应不稳定的情况，提高了生产效率。
一种缓存甲基蒸发输送设备

[实用新型]一种气袋测试用移动式防护箱-CN201921236876.0有效
发明人：刘书田;黄建旺;郑少宾;齐文杰 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气袋测试用移动式防护箱，涉及先进制造及自动化领域，主要为了解决现有的气袋成本高且安全性能差的问题；该气袋测试用移动式防护箱，包括外壳和安装在外壳中的内衬，所述外壳由箱体和箱盖组成，所述箱体内部设有弹力绳，所述箱体正面还设有标签固定卡槽，所述箱体一侧设有软管通过的通孔，软管穿过通孔与固定在箱体一侧的气泵和手动阀连接，同时软管通过软管夹固定在箱体上，提高了气袋在运输过程中的稳定性和安全性。
一种气袋测试移动式防护

[实用新型]一种用于电子工厂的特殊气体安全存储装置-CN201921056344.9有效
发明人：刘书田;周翔;郑少宾;魏延衍 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： B65D88/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于电子工厂的特殊气体安全存储装置，涉及安全储气技术领域，解决了现有技术中电子工厂特殊气体存放装置建设成本高的问题，其技术要点是：包括柜体和柜门，柜门铰接在柜体上，柜体表面密封连接，柜体内设有用于固定气瓶的气瓶固定机构，柜体上设置有风阀，风阀与柜体内部连通，且风阀通过气管连接尾气处理系统；本实用新型通过集成了空气置换、负压显示、固定装置及踏板为一体的存储柜完成特殊气体安全存储的工作，相对于现有技术，本实用新型气体存储更低，存储方式更方便便捷。
一种用于电子工厂特殊气体安全存储装置

[发明专利]一种用于焊接机的吹扫组件-CN201910611652.1在审
发明人：刘书田;郑少宾;甘泽光;吴刚 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： B23K37/00 文献下载
摘要：本发明涉及焊接装备领域，具体公开了一种用于焊接机的吹扫组件，包括用于支撑整个所述的用于焊接机的吹扫组件的安装支架；所述安装支架上设有进气组件、快插接头以及用于实时显示气体流量的浮子流量计；所述进气组件包括高压手动阀以及低压手动阀，高压手动阀与低压手动阀之间通过输气管路接通；所述的用于焊接机的吹扫组件具有以下特点：一、其具有焊机吹扫保护气的压力和流量调节功能；二、其能够通过调压阀、压力表以及浮子流量计配合作用控制焊机吹扫保护气的压力和流量；三、其包含的压差计用于测量流过被焊接件内的气体压差，进而保证焊接的焊缝质量。
吹扫组件焊接机浮子流量计高压手动阀安装支架进气组件焊机保护气手动阀吹扫压力表流量调节功能被焊接件焊接装备快插接头气体流量气体压差实时显示输气管路作用控制焊缝调压阀压差计焊接接通测量支撑配合保证

[发明专利]一种易燃易爆炸气体安全输送装置-CN201910611649.X在审
发明人：刘书田;郑少宾;江蓉;张随 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： F17C13/02 文献下载
摘要：本发明涉及危险气体输送技术领域，具体公开了一种易燃易爆炸气体安全输送装置，包括柜体，所述柜体的内部设有用于输送气体的操作控制面板，所述柜体的底端设有两个对称设置的钢瓶放置槽，所述钢瓶放置槽上放置有钢瓶，所体钢瓶分别通过管道与所述操作控制面板相连；所述操作控制面板内设有送气模块、吹扫模块、排气模块、保压模块和安全联锁模块；所述柜体的顶端设有用于控制所述操作控制面板运行工作的控制器。本发明该易燃易爆炸气体安全输送装置，利用操作控制面板内的双瓶供应设计，保证了供气不间断，通过送气模块、吹扫模块、排气模块、保压模块和安全联锁模块进行控制，制动化和智能化程度高，保证操作人员的安全。
操作控制面板钢瓶柜体气体安全输送装置易燃易爆送气安全联锁排气模块放置槽保压吹扫对称设置输送气体危险气体控制器智能化底端供气制动保证安全

[发明专利]一种危险性气体钢瓶用的自动安全防护装置-CN201910612232.5在审
发明人：刘书田;郑少宾;李远柑 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2019-09-24 - 主分类号： F17C13/00 文献下载
摘要：本发明涉及制造及自动化技术领域，具体是一种危险性气体钢瓶用的自动安全防护装置，包括钢瓶接头盖、钢瓶接头螺纹套和钢瓶接头本体，钢瓶接头螺纹套设置在钢瓶接头本体上侧，钢瓶接头本体与钢瓶接头螺纹套螺纹连接，钢瓶接头本体与钢瓶接头螺纹套之间设置有钢瓶接头滑套，钢瓶接头螺纹套顶端螺纹连接设置有钢瓶接头盖，钢瓶接头盖与钢瓶接头螺纹套之间设置有钢瓶接头滑块，钢瓶接头滑块与钢瓶接头滑套之间设置有弹簧，本发明，通过设置钢瓶接头滑套、滑套密封圈和滑套橡胶圈，可以在装置内形成一个密封腔体，通过设置进气口、弹簧和钢瓶接头滑套，可以避免钢瓶连接接头遭受外界因素而导致的松动，消除了安全隐患。
钢瓶接头螺纹套滑套钢瓶自动安全防护装置危险性气体弹簧滑块自动化技术领域进气口密封圈安全隐患顶端螺纹连接接头连接设置螺纹连接密封腔体外界因素橡胶圈松动制造

[发明专利]一种移动式供气柜-CN201910612228.9在审
发明人：刘书田;郑少宾;可建 -专利权人：深圳融科半导体装备有限公司
申请日： 2019-07-08 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：本发明涉及供气技术领域，具体是一种移动式供气柜，包括车架，所述车架左侧顶端固定连接设置有推杆，所述车架内侧右端设置有钢瓶存放仓，所述钢瓶存放仓左侧设置有操作控制仓，所述车架顶部设置有触摸屏，所述触摸屏与控制器连接，所述车架底部螺栓连接设置有脚轮，本发明，通过设置脚轮和推杆，可以方便人们移动车架，使装置的使用地点不受限制，通过设置操作控制仓，可以将六种高纯度气体按照不同比例进行混合，分别供应四个用气点，通过设置真空发生器，可以向进气管内导入氮气，使真空发生器旁通侧产生负压，使各支路内的气体排出，通过采用全自动控制，可以保证操作人员和环境的安全。
车架推杆真空发生器触摸屏存放仓供气柜移动式钢瓶脚轮氮气高纯度气体控制器连接全自动控制支路顶部设置螺栓连接设置操作移动车架进气管控制仓受限制负压排出旁通供气安全保证

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