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[发明专利]前电极组件、前电极组件和半导体工艺设备-CN202310272794.6在审
发明人： 邵湛惟;李建国;周振溪 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种前电极组件，半导体工艺设备包括工艺腔室和固定设置在工艺腔室中且相互平行的两个支撑杆，承载晶圆的第一晶舟支撑于两个支撑杆上，前电极组件包括用于设置在每个支撑杆上的第一复位接触机构，第一复位接触机构具有可移动的晶舟接触面，且晶舟接触面能够在第一晶舟落在支撑杆上时与第一晶舟的底部接触，以使半导体工艺设备的第一供电组件能够通过两个支撑杆上的第一复位接触机构向第一晶舟提供射频信号。本发明方案能够避免支撑杆或晶舟上的电极结构被镀膜，保证支撑杆与晶舟之间电接触的稳定性。本发明还提供一种前电极组件和一种半导体工艺设备。
电极组件半导体工艺设备

[实用新型]半导体热处理设备及其晶舟-CN202021760084.6有效
发明人：申震;邵湛惟;宋晓彬 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开一种半导体热处理设备及其晶舟，晶舟包括多个舟片，多个所述舟片间隔设置并通过多个连接件互相连接，所述多个连接件中的一个或多个连接件的一侧设置有第一加强件，所述第一加强件用于连接所述多个舟片，相邻的两个所述舟片之间设置有隔离件，所述隔离件套置在所述第一加强件和与所述第一加强件对应的连接件上。采用上述技术方案可以解决目前加长后的晶舟的强度较差的问题。
半导体热处理设备及其

[发明专利]一种大型可调式框架结构焊接夹具-CN201810355536.3有效
发明人：王殿君;刘立恒;赵杰;陈亚;邵湛惟;李欢欢 -专利权人：北京石油化工学院
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种大型可调式框架结构焊接夹具，包括夹具底座、快换结构、固定单元、压紧单元、定位单元及工件，底座由方形框架、导轨组成，快换结构由快换接头、连接板及加强筋组成，固定单元由横梁固定单元及纵梁固定单元组成，压紧单元包括气缸及可更换压块，定位单元由定位板及滑动底座组成，工件包括横梁及纵梁。该大型可调式框架结构焊接夹具结合现在使用的焊接工作站的焊接夹具进行了结构上的创新设计，使用翻转变位机实现载重1500kg。快换机构可以使不同的夹具拆卸和安装在翻转变位机上，使得夹具的安装及更换更为简便。
一种大型调式框架结构焊接夹具

[实用新型]一种大型可调式框架结构焊接夹具-CN201820562667.4有效
发明人：王殿君;刘立恒;赵杰;陈亚;邵湛惟;李欢欢 -专利权人：北京石油化工学院
申请日： 2018-04-19 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种大型可调式框架结构焊接夹具，包括夹具底座、快换结构、固定单元、压紧装置、定位装置及工件，底座由方形框架、导轨组成，快换结构由快换接头、连接板及加强筋组成，固定单元由横梁固定单元及纵梁固定单元组成，压紧装置包括气缸及可更换压块，定位装置由定位板及滑动底座组成，工件包括横梁及纵梁。该大型可调式框架结构焊接夹具结合现在使用的焊接工作站的焊接夹具进行了结构上的创新设计，使用翻转变位机实现载重1500kg。快换机构可以使不同的夹具拆卸和安装在翻转变位机上，使得夹具的安装及更换更为简便。
夹具固定单元可调式框架结构焊接定位装置快换结构压紧装置横梁纵梁本实用新型翻转变位机焊接工作站导轨组成翻转变位方形框架焊接夹具滑动底座夹具底座快换机构快换接头定位板加强筋可更换连接板气缸压块拆卸底座载重