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[发明专利]气体供应单元和包括所述气体供应单元的基板处理装置-CN202211679601.0在审
发明人：朴恩雨;姜钟和;李隅滥;李晟圭;朴崠云;赵容大;姜东勋;严基象 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于基板处理的装置。基板处理装置包括：处理基板的处理单元；以及气体供应单元，所述气体供应单元将气体供应至所述处理单元，其中所述气体供应单元包括第一壳体、第二壳体以及气体供应管道，所述第一壳体具有与所述处理单元的处理空间流体连通的第一内部空间，所述第二壳体设置在所述第一内部空间中并具有与所述第一内部空间流体连通的第二内部空间，所述气体供应管道将气体供应至所述第二内部空间。
气体供应单元包括处理装置

[发明专利]具有可更新的无线标签的遥控器系统-CN201180052224.1无效
发明人： 赵容大 -专利权人： 赵容大
申请日： 2011-10-27 - 公布日： 2013-08-07 - 主分类号： H04Q9/04 文献下载
摘要：提供了一种具有可更新的无线标签的遥控系统，所述系统包括：天线单元，用于发送和接收无线信号；多个按钮单元，所述多个按钮单元中的每一个包括无线标签单元和第一开关单元，其中当选择了在遥控器中提供的对应按钮时，通过所述天线单元发送在所述无线标签单元中存储的用于控制电子产品的功能的遥控器信号信息；以及第二开关单元，用于互连所述天线单元和在所述多个按钮单元中提供的每一个无线标签单元，从而当选择了用于更新所述遥控器的按钮时，从外部源接收的用于更新所述遥控器的信息能够被同时发送到每一个无线标签单元，其中所述按钮单元的无线标签单元存储所述无线标签单元的固有的标识信息和所述遥控器信号信息，并且当选择了与所述按钮单元相对应的按钮时，所述第一开关单元将所述无线标签单元与所述天线单元相连接，并且用于更新所述遥控器的信息包括要被存储在与所述标识信息相对应的无线标签中的遥控器信号信息和所述无线标签的标识信息。
具有更新无线标签遥控器系统