专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种带凹腔结构的封装基板的加工方法-CN201310186186.X有效
  • 高成志;赵增源 - 深南电路有限公司
  • 2013-05-17 - 2017-06-06 - H01L21/48
  • 本发明公开了一种带凹腔结构的封装基板的加工方法,包括制作多层基板,该多层基板上形成有凹腔,且该凹腔底部具有金属层;采用真空贴膜工艺在多层基板的外铜箔层上贴感光干膜,并使凹腔部位的感光干膜与凹腔底部的金属层贴合;经曝光和显影步骤,将线路图形转移到多层基板的外铜箔层上和凹腔底部的金属层上;经蚀刻步骤,将多层基板的外铜箔层和凹腔底部的金属层加工成线路图形。本发明技术方案由于先加工出凹腔,然后利用真空贴膜工艺将感光干膜贴合到凹腔底部,在外层图形步骤中加工出凹腔底部的线路图形,避免了凹腔加工过程中对内层线路图形的损伤问题,提高了封装基板的可靠性,并且,该技术方案简化了工艺流程,降低了加工成本。
  • 一种带凹腔结构封装加工方法

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