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[发明专利]一种用于铜电镀工艺的透明导电靶材及薄膜线路的制备方法-CN202310885547.3在审
发明人：黄信二;黄煜翔 -专利权人： 赣州市创发光电科技有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本申请涉及一种用于铜电镀工艺的透明导电靶材及薄膜线路的制备方法，包括通过注浆成型加中高温烧结的方式制作氧化铟锡、氧化铟锌或是氧化铟锡锌靶材以及对应的含银氧化铟锡、含银氧化铟锌或是含银氧化铟锡锌靶材，借由添加氧化银粉末或是纯银粉末降低烧结温度，提高靶材密度及导电性；将玻璃基板或完成PECVD工艺的N型硅片，以及靶材和对应的含银靶材放入真空溅镀机中，在室温条件下进行镀膜，形成电镀铜多层薄膜结构，并进行黄光制程及蚀刻制程，形成铜金属栅线，完成薄膜线路的制作。本发明可实现将靶材与传统的透明导电膜靶材放在同一个溅镀机上溅镀，能够满足异质结电池及异质结钙钛矿叠层电池的铜电镀金属化的性能需求。
一种用于电镀工艺透明导电薄膜线路制备方法

[实用新型]一种真空镀膜金属化的单玻硅基异质结太阳能电池-CN202320627744.0有效
发明人：黄信二;黄煜翔 -专利权人： 赣州市创发光电科技有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L31/0747 文献下载
摘要：一种真空镀膜金属化的单玻硅基异质结太阳能电池，包括：正面金属低温银浆或是低温银包铜浆的导电线路、HJT电池多层膜结构层、背面金属纯铝、纯铜、铝合金或是铜合金的导电层、背面金属合金(铜合金或是铜镍合金)的保护层；其中：导电线路、HJT电池多层膜结构层、导电层、保护层从上到下依次连接。
一种真空镀膜金属化单玻硅基异质结太阳能电池

[发明专利]一种优化铜电镀用种子层材料及薄膜线路制备的方法-CN202310287522.3在审
发明人：黄信二;黄煜翔 -专利权人： 赣州市创发光电科技有限公司
申请日： 2023-03-23 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的目是涉及一种优化铜电镀用种子层材料及薄膜线路制备的方法，首创使用溅镀低掺杂的铜合金薄膜(50‑200nm)在硅基异质结电池的透明导电膜(50‑150nm)上面，作为铜电镀金属化栅线所需的基础薄膜。低掺杂的铜合金材料，其他合金元素如镍、锆、钛、铬等,总添加量不超过5wt%。低掺杂的铜合金材料，有相似于纯铜的良好导电性,缩小铜材料的热涨冷缩特性,增加抗氧化性及耐候性,降低铜材料镀膜的粗糙度,增加与透明导电模的贴覆性，有助于后续铜电镀栅线(5‑20um)的制作,由于铜电镀栅线的密度高于网印低温银浆的栅线,所以导电性优于低温银浆，有助于提高异质结电池的转换效率,同时电镀铜栅线能降低硅基异质结电池的生产成本,利于大型的量产。
一种优化电镀种子材料薄膜线路制备方法

[发明专利]一种新型低掺杂高导电性多元氧化物靶材及制备方法-CN202310329109.9在审
发明人：黄信二;黄煜翔 -专利权人： 赣州市创发光电科技有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C04B35/01 文献下载
摘要：本发明目的是提供种一种新型低掺杂高导电性多元氧化物靶材及制备方法，由添加第三种氧化物元素在氧化铟铪材料中，氧化铟铪材料的制作可以采用大气烧结降低设备投入成本，藉由第三种元素的添加提高靶材密度及导电性,氧化铟铪镀膜长波长透光性高有助于异质结太阳能电池透光度提高,增加转换效率。首创使用注浆成型加高温烧结的方式来制作相关镀膜材料(靶材)，靶材均匀性高有利于提高镀膜材料均匀性及提高镀膜的质量，适合大规模量产。由于镀膜高耐候、低损伤、高透光、低电阻及较佳阻水气性的特性可以有效满足太阳能电池、触摸屏、显示器、有机发光二极管或是电致变色器件的性能需求。
一种新型掺杂导电性多元氧化物制备方法