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- [发明专利]一种推拉式双夹头夹具装置-CN202211660603.5在审
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贾文华;任亮亮;丁绅;朱文杰
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南京工程学院
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2022-12-23
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2023-05-09
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B25B11/00
- 本发明提供了一种推拉式双夹头夹具装置,该装置包括夹具壳体、推送杆、圆台滑座、大夹爪和小夹爪组件;推送杆一端位于夹具壳体内,另一端延伸出夹具壳体;推送杆通过齿轮齿条传动机构带动大夹爪运动;圆台滑座套设于夹具壳体远端外部并且能够沿夹具壳体往复运动;小夹爪组件位于大夹爪内侧且包括三个以上的沿圆台滑座周向分布的小夹爪;各小夹爪的中部与夹具壳体铰接且近端与圆台滑座的圆台面之间均始终接触连接;推送杆推动圆台滑座向远端移动使得各小夹爪的远端向内收拢以便夹紧小型物料,大夹爪的远端向外张开;推送杆向近端移动使得大夹爪的远端向内收拢以便夹紧大型物料,圆台滑座在回复弹簧的作用下向近端移动使得各小夹爪的远端向外张开。
- 一种推拉夹头夹具装置
- [发明专利]一种射频电源-CN202210498880.4在审
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贾文华;李加波;乔世波
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西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-05-09
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2022-09-02
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H03F1/34
- 本发明提供了一种射频电源,应用于半导体装备技术领域,射频电源包括主控模块、信号发生器、检测模块和自动增益控制模块,自动增益控制模块包括反馈控制电路、直流电源电路、功率放大电路。主控模块分别向反馈控制电路和信号发生器输入功率设定值和频率设定值;信号发生器向功率放大电路输入频率控制信号;检测模块向反馈控制电路输入前向功率值;反馈控制电路向直流电源电路输出直流电压控制信号;直流电源电路向功率放大电路输出供电电压;功率放大电路对频率控制信号进行放大,输出射频信号。该射频电源可以调节反馈控制电路的积分时间与设定功率值匹配,解决射频电源工作过程中由于设定功率值与积分时间不匹配导致的过激或响应较慢的问题。
- 一种射频电源
- [发明专利]射频电源及其冷却控制方法-CN202210599355.1在审
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李加波;陈虹;贾文华;李光健
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-05-30
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2022-08-30
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H05K7/20
- 本发明提供一种射频电源及其冷却控制方法,包括电源组件、冷却装置和控制装置,冷却装置包括流体通路和设置在流体通路上的调节阀,控制装置用于在电源组件为运行状态时根据冷却装置的温度检测值与预设目标温度之间的第一温度差值以及电源组件的当前功率与上一检测周期的功率之间的功率差值,对调节阀的开启程度进行调节;以及,在电源组件为非运行状态时,在出水温度高于出水温度阈值时降低冷却装置的可调目标温度,否则在入水温度低于或等于结露温度时提高可调目标温度;再对调节阀的开启程度进行调节,以使冷却装置的温度检测值趋近于可调目标温度。本发明的射频电源能够提高电源组件温度的稳定性并避免过热或结露。
- 射频电源及其冷却控制方法
- [实用新型]作业机械连接结构及作业机械-CN202220674497.5有效
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陈斌斌;贾文华;梁煜阳
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三一重机有限公司
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2022-03-25
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2022-07-26
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F16B5/02
- 本实用新型涉及作业机械部件连接技术领域,尤其涉及一种作业机械连接结构及作业机械。作业机械连接结构包括:第一垫片,转动设置在开设于作业机械的第一部件上的连接通孔中,第一垫片上形成有长孔;紧固件,穿过长孔并与作业机械的第二部件连接,以使第一部件和第二部件连接在一起。第一垫片转动设置在第一部件上的连接通孔中,从而使得第一垫片可以在第一部件的连接通孔中周向自由旋转。与现有技术中第一部件上仅设有固定圆孔的结构相比,本实用新型的结构在进行第一和第二部件的装配时,能够利用可旋转且具有长孔的第一垫片来增大装配可调节范围,即使出现微小错位的情况也能够进行有效适配。
- 作业机械连接结构
- [发明专利]射频电源的校准装置及方法-CN202210236844.0在审
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乔世波;陈虹;贾文华
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-03-10
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2022-05-13
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G01R35/04
- 本申请公开了射频电源的校准装置及方法,用以解决射频电源中功率测量电路的测量精度低的问题。该装置包括射频功率测量电路、控制器、电压补偿器和参数调节器;射频功率测量电路包括依次连接的测量电路、乘法器和运放器;控制器分别与电压补偿器和参数调节器连接,用于控制电压补偿器输出电压补偿值以及控制参数调节器的参数值;电压补偿器与乘法器连接,用于向乘法器提供电压补偿值;参数调节器连接至运放器,用于通过调整参数值校准运放器的输出功率值。该装置减小了测量电路中由乘法器和集成运放器的偏置电压所带来的测量误差,且实现了对射频功率测量电路输出值的实时动态校准效果,提高了射频电源输出功率的精度。
- 射频电源校准装置方法
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