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[发明专利]一种可加热对心匀胶机-CN202310896856.0在审
发明人：俞孝灵;贺武峰 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2023-07-21 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B05C11/08 文献下载
摘要：本发明涉及匀胶机技术领域，尤其涉及一种可加热对心匀胶机。本发明提供一种能够使基片上光刻胶表面平整的可加热对心匀胶机。一种可加热对心匀胶机，包括有加热框、点胶盖、电机、真空泵、放置盘、调节板、吹雾机构和搅拌机构，加热框上转动式连接有点胶盖，加热框内底部中间安装有电机，电机的输出轴上安装有真空泵，真空泵上连通有放置盘，放置盘上均匀连接有调节板，加热框与真空泵之间设有用于将雾气导出的吹雾机构，点胶盖内设有用于搅拌光刻胶的搅拌机构。本发明通过人们逆时针转动点胶盖，使得搅拌板慢速转动减少光刻胶内的气泡，随后启动风扇，风扇将雾状的光刻胶排出，以此使得光刻胶旋涂后表面光滑，提高了匀胶的合格率。
一种加热对心匀胶机

[实用新型]一种抗漏液密封装置-CN202320220272.7有效
发明人： 贺武峰;吴想 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： F16J15/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械密封技术领域，公开了一种抗漏液密封装置，包括：从上到下依次排列并设置在排液管外部的上部压片、中部压片和下部压片；连接在所述中部压片顶部和底部的密封圈；其中，所述中部压片的顶部和底部均开有与所述密封圈相匹配的密封槽，所述下部压片通过连接部连接在排液口中。本实用新型中通过采用上部压片、中部压片和下部压片来压制密封圈，在拧紧下部压片时可对密封圈进行挤压，将其密封在排液口和排液管上，在提高密封性的同时，通过松紧下部压片即可实现密封圈的松紧，可以实现上部压片、中部压片下部压片及密封圈同时松紧，可以极大方便进行拆装密封圈，为设备维修提供便捷。
一种抗漏液密封装置

[发明专利]一种匀胶显影集成式工作台-CN202211672277.X在审
发明人： 贺武峰;朱林;叶乐志 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G03F7/26 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种匀胶显影集成式工作台。技术问题：提供一种能够将每个功能的模块集成起来的匀胶显影集成式工作台。为了解决上述技术问题，本发明包括有支撑架、工作台和上片组件等；工作台呈圆形并置于支撑架上，工作台沿周向开有多个功能模块安装口，上片组件位于其中一个功能模块安装口上，上片组件包括上片通道、上片架、上片托盘、卡杆和复位弹簧，该功能模块安装口外侧安装有上片通道，上片架滑动连接于上片通道上。本发明通过采用圆形的工作台循环形式进行匀胶、加热、冷却和显影的工艺过程，尽可能少的使用机械手运转晶圆，避免了多次传送晶圆导致的精度误差。
一种显影集成工作台

[实用新型]一种半导体方形晶圆校正装置-CN202223129119.8有效
发明人： 贺武峰;吴想 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体方形晶圆校正装置，包括机体，所述机体上表面的两侧对称固定有夹持组件和位置感应组件，所述位置感应组件位于机体的一端，所述夹持组件位于位置感应组件的一端，所述机体上表面中部滑动安装有移动手臂，所述移动手臂包括限位板和移动板，所述移动板通过移动平台滑动连接在机体的上表面；本实用新型主要通过夹持组件、位置感应组件和移动手臂的配合，移动手臂在取放晶圆移动时，通过位置感应组件感应到有晶圆存在，再通过夹持组件将晶圆夹紧校正正好晶圆位置，避免晶圆偏位，当移动手臂的位置离开位置感应组件的感应位置时气缸会松开，通过此方式便于使该装置适用于方形晶圆的位置校正。
一种半导体方形校正装置

[实用新型]一种匀胶显影机用光刻材料烘烤装置-CN202223114081.7有效
发明人： 贺武峰;陈雪冰 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G03F7/38 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种烘烤装置，尤其涉及一种匀胶显影机用光刻材料烘烤装置。本实用新型提供一种一次性可以对多个晶圆进行烘烤，烘烤效率高的匀胶显影机用光刻材料烘烤装置。一种匀胶显影机用光刻材料烘烤装置，包括有底架、外框、放置框和拉杆等，外框底部左右两侧均连接有底架，外框内滑动式设有两个用于放置晶圆的放置框，外框顶部右侧开有至少两个通风口，放置框前侧均连接有拉杆。本实用新型的热风机可以吹出热风，对晶圆进行烘烤，且一次性可以对多个晶圆进行烘烤，烘烤效率高。
一种显影用光材料烘烤装置

[发明专利]一种用于匀胶显影机的湿度调节装置-CN202211187977.X在审
发明人： 贺武峰;吴想 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明涉及匀胶显影机技术领域，尤其涉及一种用于匀胶显影机的湿度调节装置。本发明提供一种能够减少湿度的用于匀胶显影机的湿度调节装置。一种用于匀胶显影机的湿度调节装置，包括有匀胶显影机、透明板、安装板架、湿度增加机构和湿度减少机构；匀胶显影机上安装有透明板，左右两侧的透明板内部均安装有安装板架，安装板架上设有用于增加匀胶显影机内部湿度的湿度增加机构，安装板架上设有用于减少匀胶显影机内部湿度的湿度减少机构。本发明通过人们启动加热板块和第一风扇，第一风扇将气流吹向加热板块，加热板块对气流进行加热，随后热气在第一风扇的吹动下向匀胶显影机内吹动，以此实现了加热的效果，有效的调节了湿度。
一种用于显影湿度调节装置

[实用新型]一种匀胶显影机的显影液喷洒装置-CN202222507699.3有效
发明人： 贺武峰;刘娥慧 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-09-22 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种喷洒装置，尤其涉及一种匀胶显影机的显影液喷洒装置。本实用新型提供一种喷洒均匀的匀胶显影机的显影液喷洒装置。一种匀胶显影机的显影液喷洒装置，包括有工作台、承载架和放置架等，工作台前侧连接有承载架，工作台顶部连接有用于放置晶圆的放置架。本实用新型的电动滑轨可以带动扫描式喷洒嘴左右移动，从而实现将显影液均匀的喷洒到晶圆上。
一种显影显影液喷洒装置

[实用新型]一种匀胶显影机显影液便捷更换设备-CN202222878566.7有效
发明人：马剑;贺武峰 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及匀胶显影机技术领域，尤其涉及一种匀胶显影机显影液便捷更换设备。本实用新型的技术问题为：提供一种采用抽屉式存储显影液的匀胶显影机显影液便捷更换设备。本实用新型提供了这样一种匀胶显影机显影液便捷更换设备，包括有显影机本体、储液框、滑块和挡板，显影机本体一侧对称开有滑槽，显影机本体通过两个滑槽滑动式连接有多个滑块，多个滑块之间共同连接有储液框，储液框一侧开有出液口，储液框上滑动式连接有能够挡住出液口的挡板。通过储液框、滑块和挡板的配合工作，挡板挡住出液口时，采用抽屉式地将储液框向外侧拉动，储液框上的滑块沿着滑槽滑出，使得储液框脱离显影机本体，如此便能够实现便捷更换显影液。
一种显影显影液便捷更换设备

[发明专利]一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置-CN202211252492.4在审
发明人： 贺武峰;吴想 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本发明涉及显影机技术领域，尤其涉及一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置。本发明提供一种水在循环冷却时效果稳定的用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置。一种用于匀胶显影机热处理模块的冷却装置，包括有：框体和热处理模块，框体上部内侧安装有热处理模块；I型导管，框体上部左前侧和右后侧均连接有I型导管；Z型导管，框体右部后上侧连接有Z型导管。第一活塞杆挤压冷却水箱左部的水，水流经连接管、I型导管、Z型导管、L型导管和冷凝管，再重新进入冷却水箱右部，实现水循环对热处理模块进行降温散热，并齿杆通过齿轮带动冷凝管转动，调节冷凝管与热处理模块的接触面，使得水在循环冷却时效果稳定。
一种用于显影热处理模块冷却装置

[实用新型]一种涂胶显影机用晶圆吸盘-CN202220219997.X有效
发明人： 贺武峰;吴想 -专利权人：江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂胶显影机用晶圆吸盘，包括底座，所述底座顶部固定设有盘体，所述盘体内腔开设有真空腔与安装腔，所述真空腔上方位于盘体顶部固定设有橡胶吸嘴，所述安装腔内腔设有驱动机构，所述驱动机构顶部固定连接有夹板，所述盘体顶部对称开始有导向滑槽，电动伸缩杆可以控制升降板升降，升降板升降可以控制抽气组件对真空腔内腔进行吹气或吸气，抽气组件对真空腔内腔进行吸气即可利用负压对放置在盘体顶部的晶圆进行吸附固定，反之抽气组件对真空腔内腔进行吹气即可取下晶圆，晶圆拆卸更换方便，通过设置驱动机构，驱动机构可以控制夹板左右移动，夹板可以对不同尺寸的晶圆进行二次夹持固定，固定稳定性高，晶圆不易晃动。
一种涂胶显影机用晶圆吸盘

[实用新型]一种匀胶显影机的废液回收装置-CN202222336651.0有效
发明人： 贺武峰;吴想 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及废液回收技术领域，具体涉及一种匀胶显影机的废液回收装置。本实用新型提供一种能对匀胶显影机的废液进行充分过滤和净化的匀胶显影机的废液回收装置。本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的废液回收装置，包括有储液箱、滤网、排污管和活性炭棉等；储液箱的上部连接有用于将废液进行初次过滤的滤网，储液箱上部与下部之间连接处安装有排污管，排污管连接有与之适配的用于对经滤网过滤后的液体再次净化的活性炭棉。通过滤网对废液进行初步过滤，通过活性炭棉对经滤网过滤后的液体进行二次过滤，通过加热管和导热板的配合，实现废液的充分过滤与净化，从而实现废液回收功能。
一种显影废液回收装置

[实用新型]一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置-CN202222214234.9有效
发明人：刘雍文;贺武峰 -专利权人：江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G03F7/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种冷却装置，尤其涉及一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置。本实用新型的技术问题：提供一种可以进行接触式的冷却，冷却效率较高的光刻胶匀胶显影机的冷却装置。一种光刻胶匀胶显影机的冷却装置，包括有冷液存放盒、支撑架、放置台和冷却管等；冷液存放盒右上部前后两侧均连接有支撑架，支撑架之间连接有放置台，放置台和冷液存放盒连接，放置台中部连接有冷却管。本实用新型的水泵可以将冷却液吸入冷却管内，对光刻胶匀胶显影机的硅片进行冷却，且光刻胶匀胶显影机的硅片和冷却管接触，从而能够加快冷却速度。
一种光刻胶匀胶显影冷却装置

[实用新型]一种显影机用废水回收利用装置-CN202220771523.6有效
发明人：吴想;贺武峰 -专利权人：江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B01D29/11 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种显影机用废水回收利用装置，涉及废水回收领域，包括主体，所述主体的一侧设有过滤框，所述过滤框的内壁固定有两组挡板，所述挡板内部固定有过滤网，两组所述挡板之间滑动连接有锥体，所述过滤框的下方设有收集框，所述收集框的内壁滑动连接有浮板，所述浮板的上方设有延伸至收集框内部的绝缘柱，所述绝缘柱的端部固定有二号电片，所述收集框的外壁安装有延伸至收集框内部的灯条。本实用新型通过设置设置过滤框、挡板、过滤网、锥体相互配合，对废水中的固体进行阻拦，同时通过固体自身的重力再次掉落至锥体的顶端，避免附着与过滤网的网孔造成堵塞影响废水处理的进度，保证废水处理工作的正常运行。
一种显影废水回收利用装置

[实用新型]一种匀胶显影机的冷却装置-CN202220269962.7有效
发明人： 贺武峰;吴想 -专利权人：江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： F25D3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种匀胶显影机的冷却装置，包括底板，所述底板顶部固定连接有两个对应设置的侧板，所述侧板相对一侧设有安装组件，所述安装组件包括固定框、滑动槽、定位槽、定位条、压条，所述定位条固定连接有安装板，所述安装板上设有冷板，所述冷板上设有冷却通道，所述冷却通道两端分别连接进液口与出液口，所述进液口与出液口均通过连接组件连接有进液管与出液管，所述连接组件包括第一接头、第二接头、突出管、对应槽、密封垫、密封环，该匀胶显影机的冷却装置设置了安装组件，便于冷板的安装及拆卸，并且设置了连接组件，便于冷板与管道的分离，进一步方便冷板的安装与拆卸。
一种显影冷却装置

[实用新型]一种光刻胶喷头清洁装置-CN202220704110.6有效
发明人：吴想;贺武峰 -专利权人：江西维易尔半导体设备有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光刻胶喷头清洁装置，涉及清洁装置领域，包括底板，所述底板的顶端固定有盛水框，所述底板的顶端设有延伸至盛水框内部的超声波发生器，所述盛水框的内部设有清洗框装置，所述清洗框装置包括有网孔座，所述网孔座的内壁设有存放框，所述存放框的外壁设有延伸至网孔座内部的多组复位弹簧，所述网孔座的两端转动连接有两组翻转片，所述翻转片的内壁设有与存放框内壁固定连接的缆绳。本实用新型通过设置清洗框装置、网孔座、复位弹簧、存放框、缆绳、翻转片相互配合，打开翻转片时，翻转片与其网孔座外壁接触，且通过缆绳拉动存放框抬高一定的高度，从而便于人工快捷的将其喷头取出，对人工提供便捷。
一种光刻喷头清洁装置

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