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- [发明专利]一种微波等离子体装置-CN202310904924.3在审
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魏浩胤;谭夏智;张晓达;文定
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湖南微朗科技有限公司
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2023-07-21
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2023-10-24
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H05H1/46
- 本发明涉及等离子体物理及应用科学研究领域,公开了一种微波等离子体装置,包括谐振腔、真空腔以及依次连接的微波发生器、环形器、三销钉微波调谐器、微波模式转换器、短路活塞,谐振腔的两端分别连接微波模式转换器和真空腔,微波模式转换器上设有伸入谐振腔内部的微波天线,谐振腔和真空腔之间设有石英窗口,石英窗口用于隔离谐振腔和所述真空腔;其中,沿所述真空腔的轴向,真空腔两端的尺寸均大于真空腔中部的尺寸。通过上述方式使得真空腔中部的电场分布最强,以便在该位置激发产生稳定的等离子体,避免在其他区域产生次生等离子体,另外,本申请的微波等离子体装置无需点火,避免了因点火引入杂质的问题。
- 一种微波等离子体装置
- [实用新型]一种水爆设备-CN202320392352.0有效
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谢双玲;彭旭言;谭夏智
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湖南微朗科技有限公司
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2023-03-03
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2023-09-08
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B02C19/00
- 本实用新型涉及半导体制备技术领域,尤其公开了一种水爆设备,包括水爆装置和真空微波装置;水爆装置包括第一传送组件和水爆组件;真空微波装置连接水爆装置,包括真空箱体、第二传送组件、微波组件和真空组件,第二传送组件设置真空箱体内,且第二传送组件与第一传送组件对接,微波组件和真空组件至少部分设置于真空箱体内。本实用新型通过水爆装置对升温后的物料进行水爆处理,还通过第一传送组件和第二传送组件转移水爆处理后的物料至真空箱体,进而真空组件使真空箱体达到真空状态,调节物料残留冷却液的沸点,从而微波组件对物料进行低温烘干,使物料无需等待冷却即可进入下一工序,有效节省物料的冷却时间。
- 一种设备
- [实用新型]一种矩圆波导转换器及烘干装置-CN202223219704.7有效
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谭夏智;张喆;文定;彭序言
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湖南微朗科技有限公司
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2022-12-02
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2023-04-11
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H01P5/08
- 本实用新型涉及微波转换技术领域,公开了一种矩圆波导转换器及烘干装置,矩圆波导转换器包括波导管,波导管包括矩形波导段、圆形波导段和过渡波导段,过渡波导段包括相连接的第一过渡段和第二过渡段,矩形波导段、第一过渡段、第二过渡段以及圆形波导段依次连接。其中,沿矩形波导段至所述圆形波导段延伸的方向,矩形波导段的横截面积小于圆形波导段的横截面积,且矩形波导段的横截面积大于第一过渡段的横截面积,第二过渡段的横截面积大于第一过渡段的横截面积,圆形波导段的横截面积大于第二过渡段的横截面积。上述结构简单,加工难度低,通过过渡波导段的设置,使得矩形波导段与圆形波导段之间为阶梯过渡,减少微波转换过程中的损耗。
- 一种波导转换器烘干装置
- [实用新型]一种简易波导功分器-CN202220601233.7有效
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谭夏智;刘潘昔;张喆
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湖南微朗科技有限公司
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2022-03-18
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2022-09-09
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H01P5/12
- 本实用新型公开了一种简易波导功分器,包括腔体,所述腔体上设有一个输入端口和两个输出端口,两个输出端口位于同一轴线上,输入端口位于两个输出端口之间,且轴线与输出端口所在轴线垂直,输入端口和两个输出端口呈T形分布;所述腔体内设有金属材质的分割条,分割条的两端连接在腔体的两个侧面上,该两个侧面与输入端口和两个输出端口轴线所形成的T形平行,且分割条可以在与输入端口相对的范围内,沿输出端口所在轴线移动。本实用新型的简易波导功分器具有结构简单、制作成本低、输出比例可调和调节简便等优点。
- 一种简易波导功分器
- [实用新型]一种短切玻璃玻纤用干燥设备-CN202122212179.5有效
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谭夏智
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湖南微朗科技有限公司
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2021-09-09
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2022-03-11
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F26B15/18
- 本实用新型公开了一种短切玻璃玻纤用干燥设备,其包括微波干燥段和红外干燥段,所述微波干燥段和红外干燥段之间连接有用于承接其中一干燥段内的短切玻璃玻纤并将其翻转后输送至另一干燥段内的翻转输送段。由于物料堆叠形成一定厚度,在干燥过程中,底部物料难以受热蒸发水汽,以致相较于顶部物料其干燥程度更低,通过在微波干燥段和红外干燥段之间设置用于翻转物料的翻转输送段,经第一段干燥段初步干燥的物料在翻转输送段进行翻转,原本位于底部的物料被翻至顶部,在经第二段干燥段进行继续干燥的过程中,顶部物料加速干燥,从而能够让物料的整体干燥程度保持相对均衡、同时提升干燥效率。
- 一种玻璃玻纤用干燥设备
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