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[发明专利]一种进气装置及衬底处理设备-CN202210361686.1在审
发明人： 谢振南;郑振宇 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供一种进气装置，用于衬底处理设备，衬底处理设备包含一反应腔，所述进气装置位于反应腔上方，进气装置内部设有冷却流体通道以及分别连通外部多个工艺气体源的多个工艺气体输入管路，进气装置内部开有多个工艺气体输出通道；工艺气体输入管路通过至少一个对应的工艺气体输出通道向反应腔内提供工艺气体；冷却流体通道围绕工艺气体输入管路设置，多个工艺气体输出通道围绕冷却流体通道周向排布，冷却流体通道对工艺气体输入管路和工艺气体输出通道进行控温。本发明还提供一种衬底处理设备。通过本发明的冷却流体通道可以有效对工艺气体输入管道和工艺气体输出通道进行降温，避免了工艺气体的沉积而产生颗粒污染物，大大提高了晶圆成品率。
一种装置衬底处理设备

[发明专利]基于边缘计算的综采工作面大煤块识别与距离预警系统-CN202310062517.2在审
发明人：王俊甫;王辉;郭龙真;席亚飞;宋贵科;高梦阳;周恒;谢振南;杨苗;张磊磊 -专利权人：郑州恒达智控科技股份有限公司;郑州煤机智控技术创新中心有限公司
申请日： 2023-01-18 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H04N7/18 文献下载
摘要：本发明提供一种基于边缘计算的综采工作面大煤块识别与距离预警系统，包括：硬件系统包括3组摄像头组、边缘处理节点、视频处理服务器和UI服务器；边缘处理节点识别流程：通过目标检测模型识别出大煤块和采煤机滚筒；进行目标检测模型识别的同时，识别Aruco编码进行支架号的检测定位；将视频帧图像上处于同一位置的支架号和大煤块、支架号和采煤机滚筒匹配起来，获得大煤块对应位置的支架号和采煤机滚筒对应位置的支架号；计算大煤块对应位置的支架号和采煤机滚筒对应位置的支架号之间的差，作为大煤块和采煤机滚筒之间的距离；当大煤块与采煤机滚筒间隔的支架数量小于设定的阈值时，进行预警。
基于边缘计算工作面大煤块识别距离预警系统

[外观设计]加热器-CN202130360377.9有效
发明人：郑振宇;谢振南 -专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： 23-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：加热器。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品是薄膜生长装置中用于产生热量的加热元件。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.后视图与主视图对称，省略后视图;无设计要点，省略左视图;无设计要点，省略仰视图;无设计要点，省略俯视图。
加热器

[外观设计]加热器-CN202130360383.4有效
发明人：郑振宇;谢振南 -专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： 23-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：加热器。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品是薄膜生长装置中用于产生热量的加热元件。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.无设计要点，省略左视图;无设计要点，省略右视图;后视图与主视图对称，省略后视图;无设计要点，省略俯视图。
加热器

[发明专利]一种基于FPGA的工业控制系统及方法-CN202310490452.1在审
发明人：冯红东;刘斌斌;周恒;李宝京;谢振南;张亚宾;高雪川;刘宇 -专利权人：郑州恒达智控科技股份有限公司
申请日： 2023-05-04 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H04L67/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于FPGA的工业控制系统及方法，系统包括FPGA和接口模块，FPGA包括TCP/IP模块、modbus tcp协议栈模块、数据上下行控制模块、modbus网关模块、RS485模块、USART模块、CAN模块、I2C模块、SPI模块和GPIO模块，RS485接口既可以挂载普通外设，又可以挂载具有modbus rtu通信协议的从设备，使得该工业控制系统的RS485接口能够复用，兼容性较强。为了适应器件越来越多、复杂度越来越大的工业产品的控制应用，在FPGA芯片资源允许的情况下尽可能多的扩展总线接口及GPIO口，以适应需要挂载较多设备的应用场景，增加控制系统的可扩展性和灵活性。
一种基于 fpga 工业控制系统方法

[实用新型]一种用于汽车空调的风机测试系统-CN202223427174.5有效
发明人： 谢振南;殷华锋;童自然 -专利权人：法雷奥汽车空调湖北有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： F04D27/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于汽车空调的风机测试系统。由于调速模块位于测试箱内部，测试风机位于测试箱外部，且冷却风机组件用于产生冷却调速模块的冷却气流，这使得在保证调速模块能够被冷却的前提下，测试风机不会被测试箱内的环境所影响，从而使得测试风机不容易损坏。
一种用于汽车空调风机测试系统

[发明专利]一种工艺气体隔离装置及化学气相沉积设备-CN202111657048.6在审
发明人： 谢振南;郑振宇;罗稼昊 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种工艺气体隔离装置及化学气相沉积设备，所述工艺气体隔离装置设置于气相沉积设备的反应腔内，反应腔内设置有一托盘，工艺气体隔离装置包括：围绕托盘设置的第一环形结构，其与托盘将反应腔分隔为在托盘上方的第一空间和在托盘下方的第二空间；第二环形结构，与托盘连接且围绕托盘，并与第一环形结构形成一细长形的通道，其中，第一空间通过通道与第二空间连通；以及，阻流气源，其与第二空间连通，用于向第二空间充入阻流气体。本发明有效实现对工艺气体的阻隔作用，减小了工艺气体对加热器的腐蚀和在加热器组件及腔体表面的副产物沉积率。
一种工艺气体隔离装置化学沉积设备

[发明专利]一种加热器组件及气相沉积设备-CN202111615369.X在审
发明人： 谢振南;郑振宇 -专利权人：南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种加热器组件及气相沉积设备，所述加热器组件，用于在气相沉积设备中加热晶圆托盘，包括：加热部件，其内部有电流流通时可以对晶圆托盘进行加热；加热部件包括若干个加热弧段；若干个支撑组件，每一支撑组件包括至少一个支撑杆，用于支撑相邻的加热弧段；柔性部件，与支撑杆远离加热弧段的一端连接，用于控制加热弧段的位移及变形方向；导通部件，与相邻的加热弧段和/或与支撑杆电连接，用于使电流在相邻的加热弧段之间流通。本发明可以使电流沿导通部件在相邻的加热弧段之间流通，使流经柔性部件的电流较小甚至没有，从而有效降低柔性部件的温度，减小其热蠕变，从而减小加热弧段的变形和位移。
一种加热器组件沉积设备

[外观设计]加热器-CN202230447771.0有效
发明人： 谢振南;郑振宇 -专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： 23-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：加热器。2.本外观设计产品的用途：用于薄膜生长装置中用于产生热量的加热元件。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图1。5.指定设计1为基本设计。
加热器

[外观设计]加热器-CN202230447758.5有效
发明人： 谢振南;郑振宇 -专利权人：中微半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： 23-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：加热器。2.本外观设计产品的用途：用于薄膜生长装置中用于产生热量的加热元件。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图1。5.指定设计1为基本设计。
加热器

[发明专利]下电极组件、化学气相沉积装置及基片温度控制方法-CN202110176614.5在审
发明人：姜勇;谢振南 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：一种下电极组件、化学气相沉积装置及基片温度控制方法，其中，下电极组件包括：加热盘，具有凹陷于其表面的基片槽，所述基片槽的底部设有凸台，用于支撑基片，所述基片与基片槽的底部之间形成凹坑空间，所述基片槽的底部内设有若干个加热元件，所述基片槽的底部设有进气口，用于向所述凹坑空间内基片的背面输送导热气体。利用所述化学气相沉积装置有利于提高基片不同区域温度的一致性。
电极组件化学沉积装置温度控制方法

[实用新型]一种防冲撞的可穿戴移动终端线路板-CN202122820571.8有效
发明人：黄润;王金浩;谢振南;黄岩 -专利权人：深圳市大林伟业科技有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H05K7/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种防冲撞的可穿戴移动终端线路板，包括底板，所述底板正面固定连接有数量为两个的限位杆，两个所述限位杆相对的一侧活动连接有线路板，所述底板正面固定连接有固定装置，所述固定装置包括有底板正面固定连接数量为两个的固定轴，两个所述固定轴外表面均活动连接有活动杆，两个所述活动杆底部均活动连接有传动杆。该防冲撞的可穿戴移动终端线路板，使用时，将线路板放在两个限位杆之间，扭动螺纹杆，螺纹杆向右移动时会将顶部的传动杆向右推动，当顶部的传动杆向右移动时，活动杆会以固定轴顺时针旋转，从而带动底部的传动杆向左移动，从而两个活动杆和传动杆会呈平行四边形，从而两个传动杆会将线路板进行固定。
一种冲撞穿戴移动终端线路板

[实用新型]一种抗震性好的GPS和北斗双星定位电路板-CN202122820585.X有效
发明人：王金浩;谢振南;黄岩;黄润 -专利权人：深圳市大林伟业科技有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01S19/33 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种抗震性好的GPS和北斗双星定位电路板，包括基板，所述基板的表面设置有元件组件，所述基板的表面设置有防撞减震组件，所述元件组件包括固定安装在基板顶部的北斗定位芯片，所述基板的顶部且位于北斗定位芯片的边侧固定安装有GPS定位芯片。该抗震性好的GPS和北斗双星定位电路板，通过在基板顶部分别安装边角缓冲垫和中央缓冲垫，而边角缓冲垫和中央缓冲垫的高度均高于元件组件，从而能够有效地将元件组件保护起来，避免元件组件受到压迫，此外，在基板底部且位于安装钉的表面安装了缓冲弹簧和下限板，使得基板在安装后，可利用缓冲弹簧让整个基板有一个良好的缓冲空间，从而有效的降低了震动对基板的影响。
一种抗震性 gps 北斗双星定位电路板

[实用新型]一种加热丝、加热器及加热组件-CN202121064107.4有效
发明人：郑振宇;谢振南 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C16/46 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种加热丝、一种加热器及一种加热组件，所述加热组件包括主加热器和辅助加热器，其中辅助加热器包括一绝缘板，所述绝缘板上方设置一加热丝，加热丝包括加热段和位于加热段两端的接头，所述加热段包括若干互相平行的子加热段和连接两相邻子加热段的弧形加热段，所述加热丝的横截面具有一横截面宽度和横截面高度，所述横截面宽度和高度比值小于4。所述绝缘板上设置两通孔，所述绝缘板下方设置两接线柱，所述接线柱贯穿所述通孔与所述加热段两端的接头电接触。本实用新型的加热器具有占地面积小、发热功率大的优点，适用于与主加热器配合，对基片承载台的局部区域温度进行灵活调节。
一种加热加热器组件

[实用新型]一种新型感知雷达核心板-CN202123009810.8有效
发明人：王金浩;谢振南;黄岩;黄润 -专利权人：深圳市大林伟业科技有限公司
申请日： 2021-12-03 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01S7/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种新型感知雷达核心板，包括盖子和感知雷达板本体，所述盖子的侧壁上活动安装有限位装置，所述限位装置包括固定安装于盖子外部的固定套，所述固定套的内部活动安装有拉杆，所述拉杆的外壁活动连接有弹簧，所述弹簧靠近盖子的一侧活动安装有插杆，所述插杆的外部活动连接有保护箱，所述保护箱的内部固定连接有连接板，所述连接板的顶部固定连接有降温套，所述降温套远离连接板的一端固定连接有降温板，所述保护箱的右侧内壁固定连接有降温管。该一种新型感知雷达核心板，通过保护箱和降温板对感知雷达板本体进行保护和工作时进行降温，这样使用大大的增加了安全性，因此十分方便推广使用。
一种新型感知雷达核心

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