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[发明专利]一种8寸快拆式电镀夹具-CN202110521483.X在审
发明人：刘金升;夏前刚;谢延峰 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种8寸快拆式电镀夹具，包括主体，主体上设有依次叠加设置的导电圈、硅晶片、卡环、中间盖板与盖板主体，盖板主体远离中间盖板的另一端设有拉手，拉手一端设有与之连接的拉手底座。本发明的有益效果：通过快拆把手带动载具密封盖旋转压着放入的晶圆片使其密封，然后利用选卡机构使其紧密的贴合在一起，导电片的多电极设计和多点式接触晶圆片，使其电流流场密度更加的均匀。
一种寸快拆式电镀夹具

[发明专利]一种机械夹手的装置-CN202110521153.0在审
发明人：刘金升;夏前刚;谢延峰 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种机械夹手的装置，包括驱动机构和夹取机构，所述驱动机构包括底座、气缸固定块、旋转轴尾固定板、旋转推动支架和旋转臂，所述底座上端设置有气缸，所述气缸尾端与气缸固定块固定连接，所述气缸固定块固定安装在底座上，所述气缸固定块上镶嵌有两个导向杆轴套，所述旋转臂前端部与夹取机构连接，所述夹取机构上设置有花篮挂钩。本发明通过采用气缸前后推动，带动导向轴尾部的圆台形状伸缩，挤压凸轮轴承带动旋转臂转动，旋转臂带动通过带有挂钩和感应杆组成的夹爪夹紧和张开动作，完成对物品进行抓取动作，该发明结构简单、稳定可靠且操作方便，制造成本低廉，适合大规模生产应用。
一种机械装置