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[发明专利]一种延伸波长响应截止探测器及其制作方法-CN202010363571.7有效
发明人：周勋;詹雯慧;王鹏 -专利权人：成都英飞睿技术有限公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L31/105 文献下载
摘要：本申请提供一种延伸波长响应截止探测器及其制作方法，采用背入式p‑i‑i‑n或n‑i‑i‑p的延伸波长探测器结构，也即，所述探测器结构包括双本征吸收层结构，所述双本征吸收层结构包括晶格匹配本征吸收层和晶格微失配本征吸收层，将两种本征吸收层相结合；其中，晶格匹配本征吸收层用以提升整体量子效率，晶格微失配本征吸收层的厚度控制在晶格弛豫临界厚度范围内，以达到完全应变，显著降低失配位错缺陷，实现在扩展响应截止波长的同时也可有效抑制探测器暗电流。
一种延伸波长响应截止探测器及其制作方法

[实用新型]晶圆吸附装置-CN202221434554.9有效
发明人：汤乔银;梁琦;王鹏;詹雯慧;赵旭;朱梦琴 -专利权人：睿创微纳（无锡）技术有限公司
申请日： 2022-06-08 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种晶圆吸附装置，包括：吸盘，用于吸附晶圆的非图形区域，所述吸盘中设有抽真空腔，所述抽真空腔的一侧形成有晶圆吸附面，所述晶圆吸附面上开设有多个晶圆吸附孔，所述晶圆吸附孔连通所述抽真空腔与所述晶圆吸附面的外侧；及转接部，用于将所述抽真空腔与真空装置连接；其中，所述晶圆吸附面与晶圆的边缘的非图形区域的形状匹配。本申请的晶圆吸附装置中，通过吸附晶圆正面的非图形区域进行晶圆转移，既可以减少镊子对边缘的损伤，又可以避免真空吸笔头对图形区域造成脏污、损伤等问题，可适用于各种晶圆的吸附。
吸附装置

[外观设计]金属封装红外探测器-CN202230231814.1有效
发明人：耿士才;王鹏;周勋;詹雯慧;吴彩阳;汤乔银 -专利权人：睿创微纳(无锡)技术有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：金属封装红外探测器。2.本外观设计产品的用途：用于红外信号探测与转换。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图1。5.指定设计1为基本设计。
金属封装红外探测器

[发明专利]双色宽谱段探测器、双色宽谱段探测器阵列及制作方法-CN202010573374.8在审
发明人：周勋;詹雯慧;王鹏 -专利权人：成都英飞睿技术有限公司
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H01L31/105 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种双色宽谱段短波红外探测器及其制作方法、双色宽谱段短波红外探测器阵列及其制作方法，该双色宽谱段短波红外探测器利用lnP衬底、lnP下接触层、第一吸收层、N型公共接触层以及第一P电极和N电极形成n‑i‑p型InGaAs探测器，利用P型掺杂区、扩展控制层、第二吸收层、缓冲层、N型公共接触层以及第二P电极和N电极形成p‑i‑n型多量子阱结构探测器，将两种探测器相结合，以实现波长0.9μm～2.6μm谱段的短波红外探测，且该双色宽谱段短波红外探测器中各组成结构均采用InP基III‑V族晶格匹配材料体系设计，从而使得双色宽谱段短波红外探测器的响应谱段较宽，灵敏度较高，可制造性较好。
双色宽谱段探测器阵列制作方法