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[发明专利]一种基于液体透镜的面型检测方法-CN202110953315.8有效
发明人：吴永前;肖康;刘锋伟;徐燕;陈小君;刘源超;周平;邓婷;覃蝶 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于液体透镜的面型检测方法，它主要是根据液体透镜的特性实现了自变焦的功能，在检测过程中改变电压，通过观察CCD接收到的从待测面反射的光信号的强度，当光强度达到极值即透镜焦距刚好在待测面的一个检测点上，以此时的电压反解液体透镜此时的焦距，从而得到待测面上一个被测点和液体透镜的相对位置，接着平移待测面，然后重复上述步骤，则会得到一个新的相对位置信息，最后根据需要得到一系列待测面上点的位置信息，分析得到待测面的面型。对于多种曲率的面型可以实现等同检测，因此结构紧凑，变焦快，响应快，减轻了检测流程的复杂度，加快了检测速度，降低了检测成本。
一种基于液体透镜检测方法

[发明专利]一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法-CN202110318218.1有效
发明人：刘锋伟;邓婷;陈强;吴永前;覃蝶;徐淑静 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种标定干涉法测量面形中的回程误差的装置及方法，属于光学检测领域。该方法通过控制反射镜的位移及偏转，记录光斑偏离位置与Zernike多项式前36阶像差系数的关系来对系统的回程误差进行标定。具体通过五维电控微位移台控制反射镜发生微位移，使反射镜反射的光斑在视场范围内进行规律移动，记录不同光斑位置与Zernike多项式前36阶像差系数的关系，然后进行曲面拟合。当载物台放置待测反射镜时，通过找到光斑位置来依据拟合得到的曲面求解Zernike多项式的各项系数，组合各阶像差即可得到反射镜在该位置的回程误差。此方法针对在高精度测量时，回程误差不能调零的情况，具有结构简单、精度较高、实用性强的优点。
一种标定干涉测量中的回程误差装置方法