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[发明专利]检查透明基材上的缺陷的方法和设备及发射入射光的方法-CN201780068512.3有效
发明人：安钟平;U-B·格斯;洪恩;黄成赞;郑址和;金泰皓;P·R·勒布朗克;李炯哲;M·穆勒耶奈克;J·莫尔;R·帕拉尼萨秘;表成钟;A·K·托马斯;C·R·尤斯坦尼克 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G01N21/896 文献下载
摘要：一种检查透明基材上的缺陷的方法可以包括：对照明光学系统的倾斜度进行选择，使得入射在透明基材上的光具有第一角度；对检测光学系统的倾斜度进行选择，使得位于透明基材上方的检测光学系统的光轴具有第二角度，所述第二角度等于或小于所述第一角度；调整照明光学系统、透明基材和检测光学系统中的至少一者的位置，使得检测光学系统的视场覆盖第一区域，但不覆盖第二区域，在第一区域中，光与透明基材的第一表面相遇，在第二区域中，透射通过光与透明基材的第二表面相遇，第二表面与第一表面相对；照射透明基材；以及检测从透明基材散射的光。
检查透明基材缺陷方法设备发射入射

[发明专利]检查透明基材上的缺陷的方法和设备-CN201780068254.9有效
发明人： U-B·格斯;洪恩;黄成赞;郑址和;金泰皓;P·R·勒布朗克;R·帕拉尼萨秘;表成钟;C·R·尤斯坦尼克 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2017-10-31 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：透明基材的缺陷检查方法可以包括：照亮透明基材；计算光的入射角范围，使得光与透明基材的第一表面相遇的第一区域以及光与透明基材的第二表面(其与第一表面相对)相遇的第二区域相互没有重叠；根据入射角范围调节入射角；调节第一检测器的位置使得第一检测器的第一视域覆盖第一区域而没有覆盖第二区域；调节第二检测器的位置使得第二检测器的第二视域覆盖第二区域而没有覆盖第一区域；以及分别从第一和第二检测器获得第一区域的第一图像和第二区域的第二图像。
检查透明基材缺陷方法设备

[发明专利]玻璃表面的异物检查装置及检查方法-CN200910138616.4有效
发明人：金贤祐;高营采;表成钟;金台祐 -专利权人：三星康宁精密琉璃株式会社
申请日： 2009-05-06 - 公布日： 2010-08-25 - 主分类号： G01N21/896 文献下载
摘要：本发明涉及一种玻璃表面的异物检查装置及检查方法，本发明的目的在于提供一种能够对被蒸镀有微电路的玻璃表面上可能产生的异物进行准确检查的玻璃表面的异物检查装置及检查方法。本发明的玻璃表面的异物检查装置的特征在于：以如下方式而构成，即，在所述玻璃基板的上部侧面与下部侧面上，分别一个个隔开既定的间隔而具有用以检测玻璃基板上的异物的激光照射部，且从所述激光照射部出射的光朝着与所述玻璃基板的移送方向相垂直的方向照射，从而能够毫无遗漏地准确检测出玻璃表面上所附着的异物。
玻璃表面异物检查装置方法