专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]蒸镀掩模的制造方法-CN202211681072.8在审
  • 石坂壮二;藤本进二 - 富士胶片株式会社
  • 2022-12-26 - 2023-06-30 - C23F1/02
  • 本发明的课题在于提供一种分辨性优异的蒸镀掩模的制造方法。所述蒸镀掩模的制造方法依次包括如下工序:准备具有第1面且在与上述第1面相反的位置具有第2面的金属层;将包括伪支撑体和转印层的感光性转印材料与上述金属层进行贴合而在上述金属层的上述第1面上依次配置上述转印层及上述伪支撑体;剥离上述伪支撑体;对上述转印层进行图案曝光;对上述转印层实施显影处理而形成抗蚀图案;对未被上述抗蚀图案覆盖的上述金属层实施蚀刻处理而形成从上述金属层的上述第1面延伸至上述金属层的上述第2面的贯穿孔;及去除上述抗蚀图案。
  • 蒸镀掩模制造方法

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