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[实用新型]一种匀胶显影机-CN202120543326.4有效
发明人： 蔡明堂;黄宽信 -专利权人：泉芯集成电路制造（济南）有限公司
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体设备技术领域，公开了一种匀胶显影机。所述匀胶显影机包括机架本体、多个工作单元、机械手组件及清洁组件，其中机架本体围成能够封闭的工作空间，多个工作单元设置在工作空间内，每个工作单元均设置有载台，载台用于承载工件，机械手组件设置在工作空间内，机械手组件能够抓取工件并将工件在载台之间输送，清洁组件设置在工作空间内，机械手组件能够抓取清洁组件并将其放置在载台上，以使清洁组件清洁载台。本实用新型的匀胶显影机在对内部各个载台进行清洁时，操作方便、效率高，且清洁过程不会引入工作空间以外的污染物；清洁组件的运动借助匀胶显影机本身的结构，故制造成本低。
一种显影

[发明专利]一种机台污染监测装置及加工设备-CN202011248081.9在审
发明人： 蔡明堂;黄宽信 -专利权人：泉芯集成电路制造(济南)有限公司
申请日： 2020-11-10 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种机台污染监测装置及加工设备，涉及半导体加工设备技术领域。该机台污染监测装置包括多个监测模组和分别与监测模组电连接的控制器，多个监测模组分别被配置于加工设备的多个操作机台内，用于采集每个操作机台内的污染物信息，控制器用于接收每个监测模组采集的污染物信息，并根据每个操作机台的污染物信息判定每个操作机台是否处于污染状态。该机台污染监测装置能够提高机台的污染检查效率。
一种机台污染监测装置加工设备