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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]电子器件及其制造方法-CN202210231661.X在审
发明人：郑钧文;朱家骅;蔡俊胤;郭文政 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本公开的各种实施例是针对一种电子器件，包括具有与第二表面相对的第一表面的半导体衬底。半导体衬底至少部分地限定空腔。第一微机电系统(MEMS)器件沿半导体衬底的第一表面安置。第一微机电系统器件包括第一背板和与第一背板竖直分离的隔板。第二微机电系统器件沿半导体衬底的第一表面安置。第二微机电系统器件包括弹簧结构和可移动元件。弹簧结构配置成将可移动元件悬挂在空腔中。半导体衬底的区段从第一微机电系统器件的侧壁下方连续地横向延伸到第二微机电系统器件的侧壁下方。
电子器件及其制造方法

[发明专利]集成麦克风装置-CN201810204445.X有效
发明人：郑钧文;郭文政;朱家骅;蔡俊胤;吴咨亨 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-03-13 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本公开提供一种集成麦克风装置，包括一基板、一板以及一薄膜。基板包括允许声压通过的一孔。板设于基板的一侧。薄膜设于基板与板之间，且当声压撞击薄膜时其可相对于板移动。薄膜包括一通气阀，具有响应于声压的变化而可变的一开口面积。
集成麦克风装置

[发明专利]光感测元件及其制造方法-CN201610183499.3有效
发明人：许丰家;林育圣;蔡俊胤;邱胜任 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2016-03-28 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明公开一种光感测元件及其制造方法。该光感测元件包括基材、半导体元件层、金属与绝缘材料叠层结构以及光吸收层。基材具有凹陷部。半导体元件层位于基材上。金属与绝缘材料叠层结构位于半导体元件层上且包括第一内连线结构以及位于第一内连线结构周围的第二内连线结构以及元件导线。光吸收层位于金属与绝缘材料叠层结构上，其中第一内连线结构位于光吸收层与半导体元件层之间，以使位于不同水平面的光吸收层以及半导体元件层彼此具有固体热传导途径。
光感测元件及其制造方法

[发明专利]麦克风及制造麦克风的方法-CN201910507842.9在审
发明人：郑钧文;朱家骅;蔡俊胤 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-06-12 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： H04R9/02 文献下载
摘要：本发明一些实施例揭露一种麦克风及制造麦克风的方法，其包含具有多个开口区域的背板及与所述背板隔开的薄膜。所述薄膜可因声波而变形以引起在所述薄膜上的多个位置处改变所述背板与所述薄膜之间的间隙。所述薄膜包含位于所述薄膜的边界附近的多个锚定区域，其相对于所述背板固定。所述薄膜也包含多个通气阀。所述通气阀的实例包含侧翼通气阀及涡流通气阀。
薄膜通气阀背板麦克风侧翼涡流声波开口区域锚定区域位置处隔开变形制造

[发明专利]半导体装置结构-CN201810902651.8在审
发明人：邓伊筌;蔡俊胤;朱家骅;郑钧文 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-08-09 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：提供半导体装置结构的结构与其形成方法。半导体装置结构包含第一介电层与第二介电层于半导体基板上。空腔穿过第一介电层与第二介电层。半导体装置结构亦包含第一可动膜于第一介电层与第二介电层之间。经由空腔部分地露出第一可动膜。第一可动膜包含沿着空腔的边缘排列的第一波纹部分。
介电层半导体装置结构可动空腔半导体基板边缘排列波纹穿过

[发明专利]具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置-CN201410190811.2有效
发明人：苏中源;蔡俊胤;黄肇达 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2014-05-07 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本发明公开一种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置，利用折叠弹簧即能进行旋转运动，该微机电装置包含一旋转元件、至少一限制元件以及至少二折叠弹簧。二折叠弹簧以轴线为中心线而对称配置，每一折叠弹簧具有一移动端及一固定端。移动端连接旋转元件，固定端连接限制元件。由于移动端与固定端不位于轴线上，当旋转元件依一轴线进行旋转时，折叠弹簧的移动端会跟着旋转且弹簧长度也会因而改变。此种具有用于旋转元件的折叠弹簧的微机电装置可应用于各种具有旋转元件的微机电装置，例如加速度计、陀螺仪、微镜面及磁力计等。
具有用于旋转元件折叠弹簧微机装置

[发明专利]微机电共振装置-CN201310062693.2有效
发明人： 蔡俊胤;许丰家;黄俊哲;王钦宏 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2013-02-28 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： H03H9/15 文献下载
摘要：本发明公开一种微机电共振装置，上述微机电共振装置包括单一或多个共振单元，其中上述的每一个些共振单元包括一基材，其中具有一沟槽；一对第一电极，设置于上述沟槽的一对侧壁上；一压电材料，填充于上述沟槽，且覆盖上述第一电极；一第二电极，嵌入上述压电材料且通过上述压电材料与上述对第一电极隔开，其中位于上述沟槽中的上述第二电极与上述对第一电极平行。
微机共振装置

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