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[发明专利]用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置-CN201811480417.7有效
发明人： 蒋兴桥;马岩;荣宇;李东旭;陈立新 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B23K26/146 文献下载
摘要：本发明属微细射流水束与高能激光束耦合加工晶圆的技术领域，特别涉及一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。本发明加工效率高，加工质量理想，可满足微水束与激光束耦合加工工艺需求，有效提升晶圆加工工艺水平。
用于微水束激光耦合高压射流装置

[实用新型]一种高精度数字转换模块-CN202220478853.6有效
发明人：董光先;熊利海;杨鸿;蒋兴桥;江世芬 -专利权人：重庆唯英科技有限公司
申请日： 2022-03-06 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H05K5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精度数字转换模块，包括：转换组件，所述转换组件包括数据处理块、安装板和连接端，所述两个连接端固定连接在数据处理块两端，所述安装板通过连接组件固定连接在数据处理块底端；安装组件，四个所述安装组件设置在安装板的四角，用于固定硅连接环位置，所述安装组件包括安装座、限位条和限位件，四个所述安装座底面靠近安装板中点的位置有用于卡设安装板的空间，所述安装座底面侧边开设有一个指向正方形中心的固定槽，所述固定槽的槽深与安装板的厚度一致，所述限位件固定架设在固定槽上方，所述限位条限位滑动设置在固定槽内部。本实用新型方便了对数字转换模块的拆卸和安装，方便了对模块的转移。
一种高精度数字转换模块

[实用新型]一种内绕线机导针摆角机构-CN202120328222.1有效
发明人： 蒋兴桥 -专利权人： 蒋兴桥
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01F41/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种内绕线机导针摆角机构，包括安装板，所述安装板上至少设有一个绕线机构，所述绕线机构包括支撑座、气缸、针杆、连接臂、加力臂和过线针座，所述支撑座固定设置在所述安装板上，所述气缸固定设置在所述支撑座的顶端且与所述支撑座垂直，所述针杆垂直设置在所述支撑座顶端且与所述气缸的气缸杆平行，所述连接臂固定连接所述气缸的气缸杆且滑动设置在所述针杆上，所述过线针座转动设置在所述针杆端部且通过所述加力臂连接所述连接臂。本实用新型通过设置连接臂在针杆上滑动，设置加力臂连接过线针座和连接臂，使得整体连接臂的行程变短且拉力更大，结构简单，效果好。
一种内绕线机导针摆角机构

[实用新型]用于划片机θ转轴调平装置-CN202022564268.1有效
发明人：李超;蒋兴桥;韩华超;赵陨;马岩;刘荒;李东旭;尹宁;曹正第;袁悦 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： B24B19/22 文献下载
摘要：本实用新型属晶圆划片机调平领域，尤其涉及一种用于划片机θ转轴调平装置，包括滑板（1）；在所述滑板（1）四周分别垂直固定设有4个θ转轴调平部件（2、3）；所述θ转轴调平部件（2、3）上部设有θ转轴基准板（4）；所述θ转轴基准板（4）通过穿过调整地脚锚栓螺栓间隙孔（23）的内六角圆柱头螺柱（5）与滑板（1）固定相接；所述θ转轴基准板（4）之上固定设有DD马达（6）；在所述DD马达（6）动力输出端固定设有转动平台（7）；在所述转动平台（7）之上设有负压吸盘。本实用新型可实现调节负压吸盘的水平度，显著提升晶圆片的成品率和切割质量。
用于划片转轴平装

[实用新型]高精密切割设备用自动上下料系统-CN202020668110.6有效
发明人：曹正第;蒋兴桥;韩华超;刘荒;陈立新;马岩;张志勇;李东旭;李超;尹宁;王建新 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型属切割设备领域，尤其涉及一种高精密切割设备用自动上下料系统，在所述支架（1）上固定设有旋转模块（2）、上料位模块（4）、下料位模块（5）及废料位模块（6）；所述上料位模块（4）、下料位模块（5）、废料位模块（6）与划片机切割台（23）分布在圆周半径为R1的同一圆周上；所述旋转模块（2）包括电机模块（8）及转臂（9）；非接触吸盘组件包括气缸（10）、转接板（22）、非接触吸盘（12）及位置传感器（11）。本实用新型加工效率高，废品率低，具有较高可靠性，通过将各料位设置在同一圆周上，上下料过程都能在一个圆周维度内完成，简化了结构，提升了晶圆的搬运效率。
精密切割备用自动上下系统

[实用新型]一种用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置-CN202020758818.0有效
发明人： 蒋兴桥;曹正第;马岩;刘荒;李东旭;陈立新;张志勇;韩华超;尹宁;李超;王建新 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型属激光划切晶圆技术领域，尤其涉及一种用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，包括折射腔体（1）、反射镜架（2）、聚焦镜筒（4）、显微镜筒（10）、工业相机（11）及激光器装配机构（17）；反射镜架（2）中心与激光器装配机构（17）的激光束入射中心共线；显微镜筒（10）固定设于折射腔体（1）顶部之上；工业相机（11）固定设于显微镜筒（10）之上；可见光光束经反射镜架（2）中心，经显微镜筒（10）放大，进入工业相机（11）靶面；聚焦镜筒（3）固定设于折射腔体（1）底部。本实用新型结构稳定，翘曲晶圆上料吸附率高，加工效率高，废品率低，具有较高可靠性可解决设备振动对视觉激光焦点偏移影响。
一种用于翘曲晶圆加工同轴视觉激光输出装置

[发明专利]精密切割设备用辅助系统-CN202010342155.9在审
发明人：曹正第;蒋兴桥;韩华超;刘荒;陈立新;马岩;张志勇;李东旭;李超;尹宁;王建新 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明属切割设备领域，尤其涉及一种精密切割设备用辅助系统，在所述支架（1）上固定设有旋转模块（2）、上料位模块（4）、下料位模块（5）及废料位模块（6）；所述上料位模块（4）、下料位模块（5）、废料位模块（6）与划片机切割台（23）分布在圆周半径为R1的同一圆周上；所述旋转模块（2）包括电机模块（8）及转臂（9）；非接触吸盘组件包括气缸（10）、转接板（22）、非接触吸盘（12）及位置传感器（11）。本发明加工效率高，废品率低，具有较高可靠性，通过将各料位设置在同一圆周上，上下料过程都能在一个圆周维度内完成，简化了结构，提升了晶圆的搬运效率。
精密切割备用辅助系统

[发明专利]用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置-CN202010386017.0在审
发明人： 蒋兴桥;曹正第;马岩;刘荒;李东旭;陈立新;张志勇;韩华超;尹宁;李超;王建新 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明属激光划切晶圆技术领域，尤其涉及一种用于翘曲晶圆加工的同轴视觉激光输出装置，包括折射腔体（1）、反射镜架（2）、聚焦镜筒（4）、显微镜筒（10）、工业相机（11）及激光器装配机构（17）；反射镜架（2）中心与激光器装配机构（17）的激光束入射中心共线；显微镜筒（10）固定设于折射腔体（1）顶部之上；工业相机（11）固定设于显微镜筒（10）之上；可见光光束经反射镜架（2）中心，经显微镜筒（10）放大，进入工业相机（11）靶面；聚焦镜筒（3）固定设于折射腔体（1）底部。本发明结构稳定，翘曲晶圆上料吸附率高，加工效率高，废品率低，具有较高可靠性可解决设备振动对视觉激光焦点偏移影响。
用于翘曲晶圆加工同轴视觉激光输出装置

[实用新型]用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置-CN201822032479.3有效
发明人： 蒋兴桥;马岩;荣宇;李东旭;陈立新 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： B23K26/146 文献下载
摘要：本实用新型属微细射流水束与高能激光束耦合加工晶圆的技术领域，特别涉及一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。本实用新型加工效率高，加工质量理想，可满足微水束与激光束耦合加工工艺需求，有效提升晶圆加工工艺水平。
微水二维微调本实用新型安装支架激光耦合射流腔体射流装置耦合晶圆加工工艺高能激光束固定相接加工效率射流水束中心通孔微细激光束晶圆加工

[实用新型]一种划片机-CN201822152173.1有效
发明人：马岩;杨欣;张志勇;李东旭;蒋兴桥;荣宇;陈立新;王鹏;尹宁;曹正弟;白晓雷;龚毅 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： B24B27/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种划片机，主要由：基座(1)、X轴驱动组件(2)、承载芯片工作台(3)、Y轴驱动组件(4)、Z轴驱动组件(5)、切割装置(6)以及控制台构成，其中，X轴驱动组件(2)安装于基座(1)上，承载芯片工作台(3)固定安装于X轴溜板(26)上，Y轴驱动组件(4)固定安装于基座(1)上，Z轴驱动组件(5)安装于Y轴驱动组件(4)上，切割装置(6)安装于Z轴驱动组件(5)上，且X轴驱动组件(2)、承载芯片工作台(3)、Y轴驱动组件(4)、Z轴驱动组件(5)以及切割装置(6)均由控制台控制；该划片机，具有结构简单，设计合理，易于操作，而且切割质量好，加工效率高等优点。
驱动组件芯片工作台切割装置划片机承载控制台本实用新型控制台控制加工效率切割

[发明专利]一种晶圆芯片的切割方法及其划片机-CN201811568006.3在审
发明人：马岩;蒋兴桥;荣宇;杨欣;张志勇;李东旭;陈立新;王鹏;尹宁;曹正弟;白晓雷;龚毅 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： B24B27/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆芯片的切割方法及其划片机，该切割方法具体为，采用红外激光器沿着晶圆芯片的切割预定线进行照射，在所述晶圆芯片表面形成向下凹陷的切割轨道；将砂轮片沿着所述切割轨道进行切割，所述划片机可实现上述切割过程，本发明提供的晶圆芯片的切割方法，具有方法简单，易于操作，而且切割质量好，加工效率高等优点。
切割晶圆芯片划片机切割轨道种晶芯片红外激光器切割预定线表面形成加工效率切割过程向下凹陷砂轮片照射

[发明专利]管道内电涡流非接触多通道通径检测器-CN201310557394.6有效
发明人：宋华东;杨路;蒋兴桥;郭晓婷 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司
申请日： 2013-11-12 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： G01B7/13 文献下载
摘要：一种管道内电涡流非接触多通道通径检测器，它包括有均为管状的前置器仓、计算机仓和电池仓，其技术要点是所述前置器仓、计算机仓和电池仓依次设置，相邻仓体之间通过联轴器连接，在各仓的外侧沿圆周方向均匀分布有支撑轮；在前置器仓的轴向前端设置动力皮碗、后端设置电涡流检测环，该电涡流检测环内至少设置有3个通道的电涡流传感器；在计算机仓内设单片机数据处理单元，还附带一个数据存储器及USB插口；电涡流检测信号通过电涡流检测电路获得；在电池仓内设置锂电池和定位器，电池仓的后端设置有里程轮。本发明适合于所有管道；最大限度解决在大变径管道中通径时易卡堵的问题；每次使用时不需要校准。
管道涡流接触通道检测器

[发明专利]管道内壁漏磁腐蚀径检测器-CN201510162159.8在审
发明人：宋华东;王晓凡;赵晓利;汪刚;蒋兴桥;杨路;郭晓婷;马洪发;张振洲;韩乃波;马岩 -专利权人：沈阳仪表科学研究院有限公司;海南方瑞环境工程有限公司
申请日： 2015-04-08 - 公布日： 2015-07-08 - 主分类号： G01N27/90 文献下载
摘要：一种管道内壁漏磁腐蚀径检测器，它包括电池节、计算机节、漏磁检测探头节、定位节、里程轮节，技术要点是：所述漏磁检测探头节包括有一沿轴向设置且两端带安装法兰的漏磁节骨架，在两端法兰之间沿周向均布有探头支架，在探头支架内设置有一体式探头；该一体式探头结构包括：两个并列设置的探头，该探头为在一条形轭铁的上部两侧分别设置有一对极性相反的磁铁，该磁铁向上依次设有衬铁、耐磨体及不锈钢基体喷焊碳化钨硬质涂层，在条形轭铁中间上部位置上设有传感器盒，传感器浇灌在传感器盒内；里程轮节为自耦摆臂式里程轮结构，里程轮的周向均匀分布有通孔，电感传感器安装在转臂上，该电感传感器的感应端直对着里程轮的周向通孔。该结构特别适合安装在DN219小口径管道的漏磁检测器上。
管道内壁腐蚀检测器

[实用新型]高压水清洗系统清洗架移动执行机构-CN201020663918.1无效
发明人：杨松山;韩乃波;张振洲;曾艳丽;刘光恒;孙震;蒋兴桥;袁克峰;张雯淘;马洪发;周勇;刘峰;金卓;焦洪军;唐贵富;杨璐 -专利权人：沈阳仪表科学研究院
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： B66F11/00 文献下载
摘要：一种高压水清洗系统清洗架移动执行机构，它解决了现有清洗架的行走机构存在的结构复杂、使用寿命低等问题，它包括移动爬梯架和组装其上的清洗架以及驱动机构，其技术要点是：移动爬梯架的爬梯主梁的底面和扶手梁的顶面分别作为清洗架的行走轮的导轨，固定在移动爬梯架底部的驱动机构包括电机减速机及其驱动的传动轴，对称组装在同一传动轴上的左、右卷筒，下降牵引索盘绕在左卷筒上，并由左卷筒上的导绳器引出连接在清洗架的下端，上升牵引索盘绕在右卷筒上，并由右卷筒上的导绳器引出，再向上穿过固定在移动爬梯架顶部的定滑轮连接在清洗架的上端。该机构具有结构紧凑，受力分布合理，运行稳定，安全可靠，降低成本，显著提高使用寿命的优点。
高压清洗系统移动执行机构

[实用新型]分体式电子清管器-CN201020663917.7有效
发明人：金卓;刘光恒;张振洲;韩乃波;曾艳丽;蒋兴桥;孙震;刘峰;杨路;张雯淘;宋华东;吕军;张彦发;贾复春;李伟;马洪发;袁克锋;周勇;杨松山;焦红军;马东升;王殿久;朱程浩 -专利权人：沈阳仪表科学研究院
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-08-24 - 主分类号： B08B9/055 文献下载
摘要：一种分体式电子清管器，它解决了现有一体式清管器存在的易卡堵、发射信号弱等缺陷，包括带有密封皮碗的清管装置和内置信号发射机的信号发射装置，其技术特点是：清管装置的连接筒的前端设置提手，后端设置连接卡，密封皮碗利用压板固定组装在连接筒的两端，信号发射机利用密封盖封装在信号发射装置的防护筒内，并使设置在防护筒前端的连接体与清管装置的连接筒后端的连接卡铰接在一起。除保留清管器的清垢效果好，作业效率高的优点外，还具有结构简单，设计合理，装卸操作方便，确保运行顺畅、安全可靠，有效防止断节卡堵，显著提高信号发射装置的使用性能和延长使用寿命的特点，而且能够实现清管装置既能与信号发射装置组合使用，也可单独使用。
体式电子清管器

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