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[发明专利]一种透明材料的激光加工方法-CN202111668584.6在审
发明人：蒋仁彬;杜姗 -专利权人：杭州银湖激光科技有限公司;苏州图森激光有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-02-25 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明材料的激光加工方法，包括以下步骤：(1)在待加工工件的下表面覆膜，所述待加工工件具有透明材料；(2)使用纳秒脉冲激光器对待加工工件进行加工，所述加工为切割或钻孔，激光束先聚焦到待加工工件的下表面，按设定轨迹进行加工并逐步升高聚焦点，由下至上实现对待加工工件的加工；(3)去除待加工工件下表面的膜，完成加工。本发明能够实现对光滑表面的透明材料的加工，加工效果好，并能维持工件表面原本较高的光洁度。
一种透明材料激光加工方法

[实用新型]一种透明材料的超快激光切割装置-CN202021201211.9有效
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2020-06-26 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种透明材料的超快激光切割装置，包括激光发生装置、光转向组件、光学头、工作平台，光学头和工作平台间设有三维运动机构，特征是：激光发生装置为超快脉冲串激光器，主要由半导体激光器、光纤放大器和准直器构成，半导体激光器提供一波长在1020纳米～1090纳米之间的脉冲串种子激光；光学头为贝塞尔切割头；脉冲串种子激光经光纤放大器放大后，进入准直器，输出超快脉冲串激光，由光转向组件导入贝塞尔切割头，在工作平台上的被加工材料内部形成三个以上的聚焦点。本实用新型保证了切割光束的可靠性，有效利用前一脉冲的余热，保证了切割加工的质量，实现对材料的直线和各种异形外形切割。
一种透明材料激光切割装置

[实用新型]一种透明材料超快激光切割装置-CN202021201206.8有效
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2020-06-26 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种透明材料超快激光切割装置，包括激光发生装置、光转向组件、光学头、工作平台，光学头和工作平台间设有三维运动机构，特征是：激光发生装置为超快脉冲串激光器，主要由半导体激光器、光纤放大器、准直器和三倍频晶体构成，半导体激光器提供一波长在1020纳米～1090纳米之间的脉冲串种子激光；光学头为贝塞尔切割头；脉冲串种子激光经光纤放大器放大后，进入准直器，再经三倍频晶体转换成紫外光，由光转向组件导入贝塞尔切割头，在工作平台上的被加工材料内部形成三个以上的聚焦点。本实用新型保证了切割光束的可靠性，有效利用前一脉冲的余热，保证了切割加工的质量，实现对材料的直线和各种异形外形切割。
一种透明材料激光切割装置

[实用新型]用于透明材料的超快激光切割装置-CN202021201207.2有效
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2020-06-26 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于透明材料的超快激光切割装置，包括激光发生装置、光转向组件、光学头、工作平台，光学头和工作平台间设有三维运动机构，特征是：激光发生装置为超快脉冲串激光器，主要由半导体激光器、光纤放大器、准直器和倍频晶体构成，半导体激光器提供一波长在1020纳米～1090纳米之间的脉冲串种子激光；光学头为贝塞尔切割头；脉冲串种子激光经光纤放大器放大后，进入准直器，再进行倍频，输出超快脉冲串激光，由光转向组件导入贝塞尔切割头，在工作平台上的被加工材料内部形成三个以上的聚焦点。本实用新型保证了切割光束的可靠性，有效利用前一脉冲的余热，保证了切割加工的质量，实现对材料的直线和各种异形外形切割。
用于透明材料激光切割装置

[发明专利]一种透明材料超快激光切割方法及装置-CN202010593312.3在审
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2020-06-26 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明材料的超快激光切割方法及装置，由半导体激光器调制提供脉冲串种子激光，经光纤放大器放大后再进行三倍频，将激光脉冲串经贝塞尔切割头聚焦到透明材料的待加工位置，在被加工材料内部形成三个以上的聚焦点，通过移动聚焦位置，实现对透明材料的切割；每一激光脉冲串里包括至少四个激光脉冲，脉冲宽度小于60ps，峰值功率大于1MW，相邻激光脉冲间的时间小于30ns；相邻脉冲串间的间隔时间大于100ns；激光脉冲宽度展宽量和压缩量都不超过种子激光脉宽的40%。本发明保证了切割光束的可靠性，有效利用前一脉冲的余热，保证了切割加工的质量，实现对材料的直线和各种异形外形切割。
一种透明材料激光切割方法装置

[发明专利]用于透明材料的超快激光切割方法及装置-CN202010593316.1在审
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2020-06-26 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于透明材料的超快激光切割方法及装置，由半导体激光器调制提供脉冲串种子激光，经光纤放大器放大后用倍频晶体转换成绿光，将激光脉冲串经贝塞尔切割头聚焦到透明材料的待加工位置，在被加工材料内部形成三个以上的聚焦点，通过移动聚焦位置，实现对透明材料的切割；每一激光脉冲串里包括至少四个激光脉冲，脉冲宽度在50～60ps之间，峰值功率大于1MW，相邻激光脉冲间的时间为10～20ns；相邻脉冲串间的间隔时间大于100ns；激光脉冲宽度展宽量和压缩量都不超过种子激光脉宽的20%。本发明保证了切割光束的可靠性，有效利用前一脉冲的余热，保证了切割加工的质量，实现对材料的直线和各种异形外形切割。
用于透明材料激光切割方法装置

[发明专利]一种透明材料的超快激光切割方法及装置-CN202010593317.6在审
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2020-06-26 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明材料的超快激光切割方法及装置，由半导体激光器调制提供脉冲串种子激光，经光纤放大器放大后，将激光脉冲串经贝塞尔切割头聚焦到透明材料的待加工位置，在被加工材料内部形成三个以上的聚焦点，通过移动聚焦位置，实现对透明材料的切割；每一激光脉冲串里包括至少四个激光脉冲，脉冲宽度小于60ps，峰值功率大于1MW，相邻激光脉冲间的时间小于30ns；相邻脉冲串间的间隔时间大于100ns；激光脉冲宽度展宽量和压缩量都不超过种子激光脉宽的20%。本发明保证了切割光束的可靠性，有效利用前一脉冲的余热，保证了切割加工的质量，实现对材料的直线和各种异形外形切割。
一种透明材料激光切割方法装置

[发明专利]一种硬脆材料的激光加工方法-CN201810162883.4有效
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明公开了一种硬脆材料的激光加工方法，包括以下步骤：(1)提供一脉冲宽度可调谐的激光光源，调整激光焦点使之聚焦在待加工材料的第一表面；(2)调整激光脉冲宽度在0.02～2ns之间，获得短脉冲激光，采用短脉冲激光加工表层材料，在第一表面划开切割道，切割道的深度D1≤0.2mm；(3)调节脉冲宽度在4～10ns之间，获得长脉冲激光，采用长脉冲激光沿切割道继续加工，直至加工到距离第二表面的厚度D3≤0.2mm；(4)调节激光脉冲宽度，获得短脉冲激光，采用短脉冲激光加工剩余厚度D3，完成激光加工。本发明加工形成的崩边少，加工时间短，优化了整体加工效率。
短脉冲激光激光加工加工切割道长脉冲激光第一表面激光脉冲硬脆材料脉冲整体加工效率待加工材料表层材料第二表面激光光源激光焦点可调谐崩边聚焦优化

[发明专利]一种非平滑表面透明硬脆材料的激光加工方法-CN201810165133.2在审
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2018-08-10 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种非平滑表面透明硬脆材料的激光加工方法，包括以下步骤：(1)在待加工材料的上表面施加一层透明液体；(2)将一透明平板覆盖在透明液体层上；(3)排除透明平板与待加工材料之间的气泡，形成的待加工组件自下而上依次为待加工材料层、透明液体层、透明平板；(4)将待加工组件放置在激光加工工作台上进行加工，激光束透过透明平板和透明液体层，聚焦至待加工材料层的下表面，按设定轨迹进行加工并逐步升高聚焦点，由下至上实现对待加工材料的打孔或切割。本发明实现了非平滑表面透明硬脆材料由下而上的激光加工方式，可以降低加工材料的温度，抑制激光加工中产生的粉尘向工件上方的扩散，明显减少对周边环境的空气污染。
待加工材料激光加工透明平板透明液体透明硬脆材料非平滑表面待加工组件加工材料激光加工方式激光束透过周边环境聚焦点上表面下表面打孔空气污染粉尘加工切割升高聚焦施加扩散覆盖

[实用新型]一种石英玻璃盖的激光加工装置-CN201720734399.5有效
发明人：蒋羽;蒋振伟 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： C03B33/09 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英玻璃盖的激光加工装置，包括底座，设置于所述底座上的工作平台，所述工作平台与所述底座为弹性连接，所述工作平台上设置有三维运动系统，所述三维运动系统连接有工控机，所述工控机连接有显示屏；所述工作平台的两侧还设置有立柱，所述立柱的顶部固定连接有光学平台，所述光学平台的顶面与所述工作平台平行，所述光学平台的顶面设置有所述转折镜组件和激光发生器；所述三维运动系统设置有用于吸附石英玻璃盖的真空吸附平台，所述真空吸附平台上方设置有金刚石刀轮、所述振镜、所述流体冷却系统的喷嘴，所述振镜底部安装有透镜；其使得加工后的石英玻璃盖能够提供更好的密封性能。
工作平台石英玻璃盖三维运动系统光学平台底座激光加工装置真空吸附平台工控机顶面立柱振镜透镜流体冷却系统本实用新型激光发生器弹性连接金刚石刀密封性能喷嘴转折镜吸附显示屏平行加工

[实用新型]一种透明玻璃的加工装置-CN201520806597.9有效
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2015-10-19 - 公布日： 2016-02-17 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种透明玻璃的加工装置，由绿光激光器、聚焦透镜和焦点调整机构组成，其特征在于：所述绿光激光器主要由输出波长在1020纳米～1090纳米之间的脉冲种子光纤激光器、多级或单级光纤放大器、准直器和倍频器件构成，脉冲种子光纤激光器的输出光经光纤放大器放大后，由准直器准直后经倍频器件倍频输出绿光；所述绿光经聚焦透镜聚焦在透明玻璃的待加工位置。本实用新型激光输出非常稳定，保证了玻璃加工的精度，可以用于加工各种复杂图案，同时提高了加工速度。
一种透明玻璃加工装置

[发明专利]一种透明玻璃的加工方法及装置-CN201510675139.0在审
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2015-10-19 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： B23K26/064 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明玻璃的加工方法及装置，提供一波长在1020纳米～1090纳米之间的光纤激光器，将光纤激光器输出的激光束采用光纤放大器进行能量放大后，进行光学倍频，获得绿光输出，输出的绿光的脉冲重复频率大于100KHz，脉冲宽度小于10ns，脉冲的峰值功率大于15KW；其中，光纤激光器输出的激光束只采用光纤放大器进行能量放大；将上述绿光聚焦到透明玻璃的待加工位置，通过移动聚焦位置，实现对透明玻璃的加工。本发明激光输出非常稳定，保证了玻璃加工的精度，可以用于加工各种复杂图案，同时提高了加工速度。
一种透明玻璃加工方法装置

[发明专利]一种透明导电薄膜的激光刻蚀方法-CN201410600730.5有效
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2014-10-31 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明公开了一种透明导电薄膜的激光刻蚀方法，包括如下步骤：(1)采用短波长红外脉冲激光器输出波长在1.4μm～3.0μm之间的脉冲激光，脉冲宽度为0.1ns～800ns,并进行准直处理，所述短波长红外脉冲激光器为光纤激光器, 单脉冲激光能量为1～2000微焦, 脉冲频率为1千赫兹到1兆赫兹；(2)使所述脉冲激光束照射到放在二维平移台上的薄膜基板上，控制激光束与二维平移台相对运动，使激光束聚焦点在透明导电薄膜上按设定路径移动，进行刻蚀，控制激光和透明导电薄膜相对运动速度为50mm/s～9000mm/s, 光斑交叠程度为10～90%。本发明能够克服现有技术中激光聚焦精度要求高，实现复杂的问题。
一种透明导电薄膜激光刻蚀方法

[实用新型]一种CIGS太阳能薄膜的激光划线系统-CN201420461763.1有效
发明人：蒋仕彬;朱晓农 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2014-08-15 - 公布日： 2015-01-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种CIGS太阳能薄膜的激光划线系统，包括计算机(9)、激光器(1)、光束准直器(2)、激光头和二维平移台(7)，激光器(1)发出的激光束经光束准直器(2)由激光头聚焦在二维平移台上，所述激光器(1)连接控制所述二维平移台(7)，其特征在于：在光束准直器(2)和激光头之间设置有将激光束整形为在聚焦平面上构成平顶光束的光束整形器(3)、所述激光器(1)为输出光波长在1.4μm～3μm之间的短波长红外脉冲激光器，所述计算机(9)连接控制激光器(1)的脉冲控制装置。本实用新型能够取代现有的机械划线方法，改善激光完成P2、P3划线的质量，提高由激光划线的CIGS薄膜光伏电池组件的性能。
一种 cigs 太阳能薄膜激光划线系统

[实用新型]一种激光钻孔机-CN201320702331.0有效
发明人：蒋仕彬 -专利权人： 苏州图森激光有限公司
申请日： 2013-11-08 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种激光钻孔机，包括激光器、激光准直和扩束光学系统、聚焦光学系统、加工平台和激光钻孔机控制系统，所述激光钻孔机控制系统控制聚焦激光束与加工平台的相对位置，其特征在于：所述激光器为波长1.8微米到2.2微米的光纤激光器，所述激光器输出的激光经激光准直和扩束光学系统、聚焦光学系统后聚焦在加工平台上的加工件的待钻孔处。本实用新型的钻孔机具有系统设计简单，造价低廉，可靠性高、波长独特等优点，是一种具有实用价值的激光钻孔系统。
一种激光钻孔机

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