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[实用新型]用于套叠加工误差读取的对准图形-CN202222352543.2有效
发明人：何冰晓;胡臻懿;汪杰;陈远 -专利权人：宁波舜宇奥来技术有限公司
申请日： 2022-09-05 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于套叠加工误差读取的对准图形。用于套叠加工误差读取的对准图形，包括一组或多组对准结构，当对准结构为多组时，多组对准结构分别位于套叠加工工具的套叠操作的多个间隔的成像区域，一组对准结构包括第一部分和第二部分，第一部分为几何图形，第二部分为误差测量图形，第二部分为多个，多个第二部分绕第一部分的周向间隔设置，通过第一部分和第二部分实现套叠加工误差的快速读取。本实用新型解决了现有技术中的套叠加工误差读取存在实现困难的问题。
用于叠加误差读取对准图形

[实用新型]光扩散器和光学装置-CN202122660177.2有效
发明人：贾敏;明玉生;王聪;胡臻懿;孙理斌;汪杰;陈远 -专利权人：宁波舜宇奥来技术有限公司
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光扩散器和光学装置。光扩散器包括：基底层；微透镜阵列层，微透镜阵列层设置在基底层的一侧表面上，微透镜阵列层包括多个微透镜，微透镜呈条状；菲涅尔层，菲涅尔层设置在基底层的另一侧表面上，菲涅尔层至少包括齿状结构和隆起结构，隆起结构的两侧均设置有齿状结构。本实用新型解决了现有技术中的光扩散器存在难以实现小型化的问题。
扩散器光学装置