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[发明专利]一种污染物隔离装置以及真空度监测设备-CN201811217881.7有效
发明人： 胡启琼 -专利权人：苏州能讯高能半导体有限公司
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B01J3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种污染物隔离装置以及真空度监测设备，涉及真空设备技术领域，该污染物隔离装置包括真空管壳、第一隔离板、第二隔离板以及连接件，第一隔离板和第二隔离板间隔设置在真空管壳内，且第一隔离板和第二隔离板之间具有隔离腔，连接件设置在隔离腔内并分别与第一隔离板和第二隔离板连接，第一隔离板上开设有第一流通孔，第二隔离板上开设有第二流通孔，第一流通孔的孔径大于或等于第二流通孔的孔径。相较于现有技术，本发明提供一种污染物隔离装置，可以有效防止产物对真空规等仪器的影响，避免设备的副产物对真空规等仪器进行污染，确保真空规等仪器测试值的准确性，延长真空规等仪器的使用寿命。
一种污染物隔离装置以及真空监测设备

[发明专利]一种散热托盘装置以及圆片刻蚀设备-CN201711057047.1有效
发明人： 胡启琼 -专利权人：苏州能讯高能半导体有限公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种散热托盘装置以及圆片刻蚀设备，涉及微电子技术领域，该圆片刻蚀设备包括设备壳体、载物台和散热托盘装置，该散热托盘装置包括盖板和托盘，盖板可拆卸地盖设在托盘上。托盘上开设有通气凹槽和至少一个装片凹槽，装片凹槽用于容置圆片，通气凹槽的底部具有冷却气体通孔，用于通入冷却气体，装片凹槽的底部具有进气通道，通气凹槽与进气通道连通，以使冷却气体进入装片凹槽。设备壳体罩设在载物台外，托盘可拆卸地连接于载物台，载物台内具有冷却气体通道，冷却气体通孔与冷却气体通道连通。相较于现有技术，本发明提供的一种散热托盘装置，使得冷却气体均匀进入装片凹槽并对装片凹槽进行冷却，散热效果十分显著。
一种散热托盘装置以及刻蚀设备