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[发明专利]一种用于碳化硅长晶废料的回收装置-CN202111582018.3有效
发明人：沈晓宇;郁思烨;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;叶彬;韩江山;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B02C4/02 文献下载
摘要：本发明属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅长晶废料的回收装置。本发明通过用于储存、研磨和筛选碳化硅废料的箱体单元，设置在箱体单元上并用于向石英舟上投放碳化硅废料的漏斗单元，以及设置在箱体单元上并用于调整漏斗单元位置的转盘单元起到了回收碳化硅长晶废料的技术效果。本发明具有结构简单、安装方便，通过一步转动转盘的动作即可实现研磨和投放碳化硅废料，并且转盘在不使用时具有脱离锁定功能避免意外转动导致碳化硅废料掉落造成污染，同时设计了转盘推动即可回归锁定使得使用时仅需操作转盘一个部件操作方式操作简便，以及额外设置筛网和投料板等结构实现了对研磨后废料进行筛选的优点。
一种用于碳化硅废料回收装置

[实用新型]一种用于籽晶表面的刮胶装置-CN202220474168.6有效
发明人：沈晓宇;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;薛彦鹏;韩江山 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司;湖州东尼半导体科技有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B05C11/02 文献下载
摘要：本实用新型属于晶体生长技术领域，尤其涉及一种用于籽晶表面的刮胶装置。本实用新型通过悬挂臂连接的固定板，设置在所述固定板侧面上的支架单元，设置在所述支架单元上并用于刮涂籽晶表面的粘接胶的刮板单元，以及设置在所述支架单元上并用于旋转调节刮板单元倾斜角度的旋转块单元。起到了在碳化硅制备过程中调整刮板对粘接胶角度的技术效果。本实用新型可在刮胶过程进行之前对刮板角度进行调节，同时通过旋转块的调节作用来改变刮板的角度，设置了限位块机构使得刮板的角度一旦调节完成后即实现固定，并且当调整刮板角度时朝方柱方向推动旋转块即可实现对限位块的解锁效果，调整好刮板角度后松开旋转块即可使得刮板重新恢复锁定效果。
一种用于籽晶表面装置

[发明专利]一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置-CN202210214852.5在审
发明人：沈晓宇;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;薛彦鹏;韩江山 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明属于碳化硅晶体技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置。本发明通过坩埚主体，加热板，底座单元，放置板，旋转柱单元，以及夹持板单元起到了快速在加热装置和非加热装置之间移动制备碳化硅晶体坩埚的技术效果。本发明具有下列优点：通过夹持作用在加热和非加热装置之间移动坩埚，减少对设备的损坏以及方便在损坏后替换相应部件；通过一步按压操作对夹持用弹簧的解锁即可实现对坩埚的夹持作用；通过夹持装置与旋转柱配合，仅需一步旋转操作即可将坩埚移动到指定地点，快速且精准；旋转柱中设置了回弹机构使得在自然状态下夹持装置始终位于非加热装置上方，避免在坩埚加热过程中因操作不当而损坏夹持装置。
一种用于碳化硅制备过程坩埚装置

[发明专利]一种用于碳化硅PVT生长过程的坩埚散热装置-CN202210214853.X在审
发明人：沈晓宇;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;薛彦鹏;韩江山 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本发明属于碳化硅单晶技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅PVT生长过程的坩埚散热装置。本发明通过用于承载和运输坩埚的输送带单元，设置在输送带单元上散热筒单元，以及设置在散热筒单元上，并用于对坩埚进行散热的风机，以及设置在散热筒单元上，并用于打开或者关闭散热筒单元入口的滑动门单元起到了快速为坩埚降温并在散热筒单元的包覆作用下有效利用了风机制造的气流为坩埚进行全方位散热的技术效果。本发明具有下列优势，坩埚进入散热筒后通过导流板的作用使得风机吹出的风经过坩埚各个表面，通过触发开关使得滑动门自动关闭，并且导流板自动打开的同时开启风机，以及导流板设有可伸缩的滑动板便于调节长度。
一种用于碳化硅 pvt 生长过程坩埚散热装置

[发明专利]一种碳化硅单晶生长装置-CN202111580680.5在审
发明人：沈晓宇;叶国伟;刘博浩;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;唐旭东;韩江山;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明属于碳化硅技术领域，尤其涉及一种碳化硅单晶生长装置。本发明通过用于盛放碳化硅单晶生长原料的坩埚，以及加热筒，还包括设置在坩埚上的升降杆单元，设置在升降杆单元上的箱体单元，以及设置在箱体单元上并用于调整升降杆单元位置的转盘单元起到了灵活调整加热温度的技术效果。本发明具有结构简单，安装方便，通过升降杆调整坩埚与加热筒的相对位置以实现温度控制，并且设置挤压杆部使得坩埚上升到一定高度便实现自锁功能停止上升避免与加热筒脱离导致温度过低，以及设置伸缩柱部使得坩埚下降到一定高度亦可实现自锁功能避免与加热筒接触导致温度过高，同时设置了弹簧、传动杆、传动绳等传动结构用于实现自动锁定和自动解锁的优点。
一种碳化硅生长装置

[发明专利]一种晶圆定中心装置-CN202111580687.7在审
发明人：沈晓宇;吴汪程;叶国伟;肯尼斯·奥佐门纳;彼得·辛格;张忠杰;冯纪慧;连旗锋;李嘉炜 -专利权人：浙江东尼电子股份有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： B23K26/362 文献下载
摘要：本发明属于镭射打标机技术领域，尤其涉及一种晶圆定中心装置。本发明通过用于支撑晶圆的底板单元，设置在底板单元上并用于夹持晶圆侧面的侧板单元，设置在侧板单元上并用于夹持晶圆顶面的升降板单元，以及设置在侧板单元上并用于调整升降板单元高度的转盘单元起到了为晶圆确定中心位置的技术效果。本发明具有结构简单，安装方便，通过一步卡合作用即可实现晶圆的中心确定，并且可通过旋转调节升降板的方式进一步卡合固定晶圆避免轻微晃动导致打标过程不准，同时转盘具有自限位功能使得在不工作的情况下不会随意旋转导致装置运行不稳定，以及通过一步简单推动的动作即可实现对转盘柱的解锁使用方便的优点。
一种晶圆定中心装置