专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种气体分配器平面度检验工装及组合检验工装-CN202122171500.X有效
  • 翟子健;游利;管明月 - 靖江先锋半导体科技有限公司
  • 2021-09-09 - 2022-04-19 - G01B21/30
  • 本实用新型提供了一种气体分配器平面度检验工装,包括工装本体(1),所述工装本体(1)包括用于对气体分配器(4)进行定位的定位块(1‑1)、使气体分配器(4)直立的挡块(1‑2),所述挡块(1‑2)的高度大于定位块(1‑1)的最大高度,所述挡块(1‑2)上设置有固定孔(1‑21),所述工装本体(1)的四周对称设有定位板(1‑3)。本实用新型提供还提供一种组合检验工装,包括多个所述的气体分配器平面度检验工装、连接板(2)。本实用新型的气体分配器平面度检验工装,结构简单实用,无需翻面即可实现气体分配器的双面检测,本实用新型的组合检验工装能够实现气体分配器的批量检测。
  • 一种气体分配器平面检验工装组合
  • [发明专利]一种气体分配器孔径检验工装-CN201711204105.9在审
  • 游利;翟子健 - 靖江先锋半导体科技有限公司
  • 2017-11-27 - 2018-04-27 - G01B5/12
  • 本发明公开了一种气体分配器孔径检验工装,包括定位底板,以及连接在定位底板上的检验上板;所述的定位底板中间部位设置有开口;所述的检验上板上设置有若干个用于放置气体分配器的通孔;所述的开口的面积大于通孔的面积;通过定位底板连接检测设备,进一步将检验上板通过定位销定位在定位底板,再通过螺栓连接紧固,进一步在通孔上安装气体分配器,进行检测,不但保证了检测的精度,而且能够多个气体分配器同时进行检测,操作方便,检测效率高。
  • 一种气体分配器孔径检验工装

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